一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺制造技术

本发明专利技术涉及机械加工技术领域，公开了一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，包括以下加工步骤：S1、对机械加工成型铰刀的刀具进行设计；S2、对加工过程中不同DOE参数，同时对不同的出刀方式进行设计；S3、对零件进行初步线切割，并对切割面的粗糙度进行测量，确定加工余量；S4、确认合格的机加工参数及刀具设计；通过立式机床保证加工后深孔交叉孔内表面的粗糙度为Ra<0.4，同时保证所有深孔交叉孔的直径保持一致性。通过专用刀具选择，实现零件超高粗糙度要求，保证产品一致性；通过实验确立的加工尺寸参数，确定了刀具的设计，加工参数及刀具寿实现稳定量产。刀具寿实现稳定量产。

【技术实现步骤摘要】
一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺


[0001]本专利技术涉及机械加工
，尤其涉及一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺。

技术介绍

[0002]随着半导体领域的快速发展，关键零部件Manifold里面的结构越来越复杂，其中交叉孔的技术要求越来越高，在刻蚀和沉积等工艺中，对孔内粗糙度，尺寸等有着严格的要求，常规的加工方式都是使用机床加工保证粗糙度在RA1.6左右，然后使用手工抛修，达到粗糙度要求，但是对于一些孔教深切孔径小的交叉孔，手工操作难度很大，且很难达到理想的效果，因此，我们提出了一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺来解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的难以保证交叉孔尺寸及功能性流量测试的要求的缺点，而提出的一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：本专利技术提出的一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，包括以下加工步骤：S1、对机械加工成型铰刀的刀具进行设计；S2、对加工过程中不同DOE参数，同时对不同的出刀方式进行设计；S3、对零件进行初步线切割，并对切割面的粗糙度进行测量，确定加工余量；S4、确认合格的机加工参数及刀具设计；通过立式机床保证加工后深孔交叉孔内表面的粗糙度为Ra<0.4，同时保证所有深孔交叉孔的直径保持一致性。
[0005]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述S1中的刀具选择，设计专用的加工交叉孔的刀具，并在设计后通过试验来确认成型刀具的设计及寿命是否满足使用要求。
[0006]作为本专利技术的一种优选技术方案，确认所述S2步骤中DOE参数，根据图纸要求设计六组实验，设计不同的主轴转速及进给量：S4000，F120；S7000,F200；S10000,F200；S11000，F500；S13000，F800；S16000,F1000；S18000，F1200。
[0007]作为本专利技术的一种优选技术方案，根据上述进给量的设计，旋转的出刀方式为慢进快出或慢进慢出。
[0008]作为本专利技术的一种优选技术方案，所述S3步骤中零件线切割切开，根据产品的最终要求，进行粗糙度测量，确认表面粗糙度的结果。
[0009]作为本专利技术的一种优选技术方案，确定所述S4步骤中合格的参数，确认最终刀具设计，及加工参数。
[0010]本专利技术的有益效果是：1.通过专用刀具选择，实现零件超高粗糙度要求，保证产品一致性。
[0011]2.设计不同DOE加工参数，得出最优的零件加工参数S16000，F1000。
[0012]3.通过实验确立的加工尺寸参数，确定了刀具的设计，加工参数及刀具寿实现稳定量产。
具体实施方式
[0013]下面结合具体实施例对本专利技术作进一步解说，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0014]一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，包括以下加工步骤：S1、对机械加工成型铰刀的刀具进行设计；S2、对加工过程中不同DOE参数，同时对不同的出刀方式进行设计；S3、对零件进行初步线切割，并对切割面的粗糙度进行测量，确定加工余量；S4、确认合格的机加工参数及刀具设计；通过立式机床保证加工后深孔交叉孔内表面的粗糙度为Ra<0.4，同时保证所有深孔交叉孔的直径保持一致性。
[0015]进一步的，所述S1中的刀具选择，设计专用的加工交叉孔的刀具，并在设计后通过试验来确认成型刀具的设计及寿命是否满足使用要求。
[0016]进一步的，确认所述S2步骤中DOE参数，根据图纸要求设计六组实验，设计不同的主轴转速及进给量：S4000，F120；S7000,F200；S10000,F200；S11000，F500；S13000，F800；S16000,F1000；S18000，F1200，根据上述进给量的设计，旋转的出刀方式为慢进快出或慢进慢出。
[0017]进一步的，所述S3步骤中零件线切割切开，根据产品的最终要求，进行粗糙度测量，确认表面粗糙度的结果。
[0018]进一步的，确定所述S4步骤中合格的参数，确认最终刀具设计，及加工参数。
[0019]本实施例中，通过专用刀具选择，实现零件超高粗糙度要求，保证产品一致性设计不同DOE加工参数，得出最优的零件加工参数S16000，F1000，通过实验确立的加工尺寸参数，确定了刀具的设计，加工参数及刀具寿实现稳定量产，以提高深孔交叉口孔内粗糙度。
[0020]以上所述，仅为本专利技术较佳的具体实施方式，但本专利技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内，根据本专利技术的技术方案及其专利技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，其特征在于，包括以下加工步骤：S1、对机械加工成型铰刀的刀具进行设计；S2、对加工过程中不同DOE参数，同时对不同的出刀方式进行设计；S3、对零件进行初步线切割，并对切割面的粗糙度进行测量，确定加工余量；S4、确认合格的机加工参数及刀具设计；通过立式机床保证加工后深孔交叉孔内表面的粗糙度为Ra<0.4，同时保证所有深孔交叉孔的直径保持一致性。2.根据权利要求1所述的一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，其特征在于，所述S1中的刀具选择，设计专用的加工交叉孔的刀具，并在设计后通过试验来确认成型刀具的设计及寿命是否满足使用要求。3.根据权利要求1所述的一种改善深孔交叉口孔内粗糙度加工工艺，其特征在于，确认所述S2步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：许国庆，张艳娟，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：