检流计扫描器以及使用该检流计扫描器的激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术的扫描激光的检流计扫描器包括：具有反射镜和反射镜驱动机构的检流计单元(110)；搭载有该检流计单元(110)的基座部件(120)；被配置为围绕检流计单元(110)的外周部件(130)；以及安装有基座部件(120)和外周部件(130)的框架部件(140)，上述基座部件(120)和外周部件(130)构成为经由密封部件(150)安装于框架部件(140)。于框架部件(140)。于框架部件(140)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检流计扫描器以及使用该检流计扫描器的激光加工装置


[0001]本专利技术涉及激光加工装置中的扫描激光的检流计扫描器单元。

技术介绍

[0002]激光切割机、激光焊接机或激光打标装置等激光加工装置传送从激光振荡器输出的激光并照射于工件，使该激光与工件相对移动，由此能够进行规定的加工。作为这样的激光加工装置中的激光与工件的相对移动的一例，已知有使用在激光加工装置的射出部(例如加工头等)具备检流计反射镜和使该检流计反射镜绕规定的轴旋转的驱动装置的检流计反射镜，对工件扫描激光的激光加工装置。
[0003]作为使用了这样的检流计扫描器的激光加工装置的一例，例如在专利文献1中公开了如下结构：在使镜子绕轴旋转，使入射到所述镜子的激光束向预先确定的方向反射的激光加工机中，将所述镜子的旋转角度检测单元设为静电电容型的旋转角传感器，设置气密地收纳该旋转角传感器和所述镜子的容器，所述容器的所述激光束透过的部分由所述激光束能够透过的材料形成。根据这样的激光加工机，在扫描激光的构造中，即使容器外部的湿度变化，也能够确保气密性并且将内部的湿度保持为恒定，从而能够进行加工精度优异的加工。
[0004]另外，作为使用了检流计扫描器的激光加工装置的另一例，例如在专利文献2中公开了一种激光标记装置，其具备：射出激光的激光光源；检流计反射镜，其配置在来自该激光光源的激光的光路中途，改变所述激光的方向；检流计驱动单元，其具有使该检流计反射镜转动并控制其转动角度的电动机、和驱动该电动机的驱动电路；以及会聚透镜，其将来自所述检流计反射镜的激光会聚而照射到被标记对象物上，在所述被标记对象物上标记文字、记号、图形等，其中，该激光标记装置具备：主体单元，其具有所述激光光源；头单元，其具备所述会聚透镜、所述检流计反射镜和所述检流计驱动单元；以及结合单元，其将这些主体单元与头单元以能够装卸的方式结合，能够相对于所述主体单元分别更换与多种会聚率不同的会聚透镜对应的头单元。根据这样的激光标记装置，在随着变更打印区域、焦距而更换会聚透镜的情况下，不需要分解激光标记装置的扫描部(扫描部分)，能够按每个头单元进行更换。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2001
‑
179479号公报
[0008]专利文献2：日本特开2004
‑
136351号公报

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]近年来，正在进行通过使用具备上述那样的扫描激光的扫描部的激光加工装置，例如在远离工件的位置配置扫描部，将激光聚光于工件而进行加工的“远程加工”。特别是，
能够如YAG激光等那样通过光纤将激光传输至射出部，另外，以使检流计反射镜、驱动机构小型化为背景，将包含检流计反射镜的单元安装于机器人手臂等移动机构的前端，能够进行向以往难以接近加工的部位的激光加工。
[0011]在这样的在移动机构的前端安装了包含检流计扫描器的单元的远程加工中，为了保护单元内部的检流计扫描器免受周围环境或加工时产生的尘埃等的影响，要求高防尘性能。另一方面，由于利用移动机构使单元移动，因此要求轻量化并且要求能够承受碰撞时、紧急停止时施加的外力(冲击力)的高刚性。
[0012]根据这样的经过，要求能够确保刚性并且提高其内部空间的气密性的检流计扫描器以及使用了该检流计扫描器的激光加工装置。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]本专利技术的一个方式的扫描激光的检流计扫描器构成为包括：检流计单元，其具有反射镜和反射镜驱动机构；基座部件，其搭载有该检流计单元；外周部件，其被配置为围绕检流计单元；框架部件，其安装有基座部件和外周部件，基座部件和外周部件经由密封部件安装于框架部件。
[0015]本专利技术的另一方式的激光加工装置具备：激光振荡器，其使激光振荡；加工头，其内置有扫描激光的检流计扫描器；多关节机器人，其将该加工头安装于机器人手臂的一端，其中，上述检流计扫描器构成为包括：检流计单元，其具有反射镜和反射镜驱动机构；基座部件，其搭载有该检流计单元；外周部件，其被配置为围绕检流计单元；框架部件，其安装有基座部件和外周部件，基座部件和外周部件经由密封部件安装于框架部件。
[0016]专利技术效果
[0017]根据本专利技术的一个方式，通过设为将搭载有检流计单元的基座部件和围绕检流计单元的外周部件经由密封部件安装于框架部件的构造，能够实现确保检流计扫描器整体的刚性并且提高其内部空间的气密性的检流计扫描器以及使用了该检流计扫描器的激光加工装置。
附图说明
[0018]图1是表示应用了第一实施方式的检流计扫描器的激光加工装置的结构的概要图。
[0019]图2是表示第一实施方式的检流计扫描器的具体结构的主视图。
[0020]图3是表示构成第一实施方式的检流计扫描器的结构要素的概略的立体图。
[0021]图4是表示构成第一实施方式的检流计扫描器的结构要素的概略的立体图。
[0022]图5是表示组装第一实施方式的检流计扫描器时的步骤的一例的主视图。
[0023]图6是表示第二实施方式的检流计扫描器的具体结构的主视图。
具体实施方式
[0024]以下，对本专利技术的代表性的一例的扫描激光的检流计扫描器以及使用该检流计扫描器的激光加工装置的实施方式和附图一起进行说明。
[0025]＜第一实施方式＞
[0026]图1是表示本专利技术的代表性的一例的、应用了第一实施方式的检流计扫描器的激
光加工装置的结构的概要图。另外，图2～图4是表示第一实施方式的检流计扫描器的具体结构和各结构要素的概略的主视图或立体图。并且，图5是表示组装第一实施方式的检流计扫描器时的步骤的一例的主视图。
[0027]如图1所示，作为其一例，第一实施方式的激光加工装置1具有：激光振荡器10，其使激光LB振荡；加工头20，其内置有使激光LB朝向工件W进行扫描的检流计扫描器100；以及多关节机器人30，其将该加工头20安装于机器人手臂32的一端。而且，激光加工装置1使激光LB聚光于保持在加工台40上的工件W的加工点P并进行扫描，由此实施例如焊接、切断或开孔等规定的加工(远程加工)。
[0028]激光振荡器10使对工件W进行加工的激光LB振荡，例如经由光纤等传送路径12将激光LB输出至加工头20。另外，激光振荡器10考虑工件W的吸收率等来决定波长、输出。作为这样的激光振荡器10，能够例示YAG激光器、YVO4激光器、光纤激光器、盘激光器等能够进行光纤传输的装置。
[0029]加工头20中内置有后述的本专利技术的检流计扫描器100，并且具备聚光透镜(未图示)等，使从激光振荡器10输出的激光LB一边扫描一边聚光于工件W。另外，加工头20也可以具备对内置的检流计扫描器100、其他光学系统进行冷却的冷却机构等公知的结构。
[0030]作为其一例，多关节机器人30构成为至少在前端具备机器人手臂32的6轴或7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种扫描激光的检流计扫描器，其特征在于，包括：检流计单元，其具有反射镜和反射镜驱动机构；基座部件，其搭载有所述检流计单元；外周部件，其被配置为围绕所述检流计单元；框架部件，其安装有所述基座部件和所述外周部件，所述基座部件和所述外周部件经由密封部件安装于所述框架部件。2.根据权利要求1所述的检流计扫描器，其特征在于，所述基座部件和所述外周部件装卸自如地安装于所述框架部件。3.根据权利要求1或2所述的检流计扫描器，其特征在于，所述框架部件构成为没有结合部的一体成型体。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检流计扫描器，其特征在于，在所述密封部件与所述外周部件之间还包括相对于所述激光透明的透过部件。5.一种激光加工装置，其具备：激光振荡器，其使激光振荡；加工头，其内置有扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上贵视，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：