本申请提供一种可微调镜头的调节装置，包括：基座本体，所述基座本体设有第一安装面；第一夹持组件，所述第一夹持组件的一端设于所述基座本体，所述第一夹持组件远离所述基座本体侧夹持有观察组件，所述观察组件底部设有所述镜头；第一调向组件，所述第一调向组件设于所述第一安装面上，所述第一调向组件用于驱动所述第一夹持组件带动所述观察组件沿第一方向移动；本方案实现了所述观察组件在第一方向的精准移动，减少调节镜头的时间，提高了观察效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
一种可微调镜头的调节装置
[0001]本申请涉及半导体测试
，具体涉及一种可微调镜头的调节装置。
技术介绍
[0002]随着集成电路工艺的迅猛发展，也促使集成电路测试技术不断更新，以提高半导体行业的生产效益，其中晶圆测试对整个集成电路生产过程的良品率及成本控制起着重要作用，在晶圆测试时，需要观察镜头对晶圆扎针、测试情况进行观察，由于检测头上的探针细如毛发，为清楚观察晶圆的测试情况，需要镜头具有微调功能以便于观察。
[0003]现有技术中公开了一种镜头与成像芯片之间垂直度和间距的调节装置，申请号是CN201220722600.5，可调节镜头与芯片之间的距离，但只能对高度进行调节，无法对其他方向进行调节，无法精准定位。
技术实现思路
[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种可微调镜头的调节装置，包括：
[0005]基座本体，所述基座本体设有第一安装面；
[0006]第一夹持组件，所述第一夹持组件的一端设于所述基座本体，所述第一夹持组件远离所述基座本体侧夹持有观察组件，所述观察组件底部设有所述镜头；
[0007]第一调向组件，所述第一调向组件设于所述第一安装面上，所述第一调向组件用于驱动所述第一夹持组件带动所述观察组件沿第一方向移动。
[0008]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一安装面上方设有第一平台，所述第一平台远离所述镜头端与所述第一夹持组件连接，所述第一平台和所述基座本体之间形成第一空间，所述第一安装面上设有第一凸起部，所述第一凸起部的延伸方向为所述第一方向，所述第一平台靠近所述第一安装面侧设有第一凹槽，所述第一凸起部可嵌入所述第一凹槽内，并沿所述第一凹槽沿所述第一方向移动，所述第一平台远离所述第一安装面侧与所述第一夹持组件连接。
[0009]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一平台上设有第一通孔，所述第一通孔的轴线为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一调向组件包括贯穿所述第一通孔的第一调节杆，所述第一空间内设有套设于所述第一调节杆外的第一齿轮，且所述第一空间内还设有与所述第一齿轮啮合的第一齿条，所述第一齿条的延伸方向为所述第一方向，所述第一齿条的底部与所述基座本体连接；当所述第一调节杆转动时可带动所述第一平台沿所述第一方向移动。
[0010]根据本申请实施例提供的技术方案，还包括，所述第二调向组件可使镜头沿第三方向移动；所述第一平台上设有第二调向组件，所述第一夹持组件远离所述镜头端与所述第二调向组件连接，所述第二调向组件用于驱动所述第一夹持组件带动所述镜头沿第三方向移动；所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。
[0011]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一平台上方设有第二平台，所述第二平台和所述第一平台之间形成第二空间，所述第一平台靠近所述第二平台侧设有第二凸起部，所述第二凸起部的延伸方向为第三方向，所述第二平台靠近所述第一平台侧设有第二凹槽，所述第二凸起部可嵌入所述第二凹槽内，并沿所述第二凹槽沿所述第三方向移动，所述第二平台远离所述第一平台侧与所述第一夹持组件连接。
[0012]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第二调向组件包括套设于所述第一调节杆外部的第二调节杆，所述第一调节杆外套设有第二齿轮，所述第二空间内设有与所述第二齿轮啮合的第二齿条，所述第二齿条的延伸方向为第三方向，所述第二齿条的侧壁与所述第二平台连接；当所述第二调节杆转动时可带动所述第二平台沿所述第三方向移动。
[0013]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一夹持组件远离所述基座本体端连接有第三调向组件，所述第三调向组件远离所述第一夹持组件端与所述观察组件连接；所述第三调向组件用于驱动所述观察组件带动所述镜头沿所述第二方向移动。
[0014]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第三调向组件包括第一支撑部，所述第一支撑部靠近所述基座本体端与所述第一夹持组件连接，所述第一支撑部远离所述第一夹持组件端设有第一开口，贯穿所述第一开口设有第三调节杆，所述第三调节杆的延伸方向为所述第三方向，所述第三调节杆外套设有第三齿轮，所述齿轮远离所述基座本体端啮合有第三齿条，所述第三齿条的延伸方向为所述第二方向，所述第三齿条远离所述基座本体侧与所述观察组件连接，当所述第三调节杆转动时可带动所述第一支撑部沿所述第二方向移动。
[0015]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一支撑部靠近所述基座本体侧设有第二通孔，所述第二通孔的轴线方向为所述第二方向，贯穿所述第二通孔设有第一支撑柱，所述第一支撑柱顶端与所述第一夹持组件连接。
[0016]根据本申请实施例提供的技术方案，所述第一支撑部靠近所述基座本体端设有与所述第二通孔连通的第二开口，穿过所述第二开口设有第一固定件，所述第一固定件用于固定所述第一支撑部。
[0017]综上所述，本申请提出一种可微调镜头的调节装置，通过在基座本体设置有用于安装第一调向组件的第一安装面，所述基座本体设有第一夹持组件，所述第一夹持组件远离所述基座本体一端设有观察组件；使用时，调节所述第一观察组件，驱动所述第一夹持组件带动所述观察组件沿第一方向移动；本方案实现了所述观察组件在第一方向的移动，减少调节镜头的时间，提高了观察效率。
附图说明
[0018]图1为本申请实施例提供的一种可微调镜头的调节装置的结构示意图；
[0019]图2为本申请实施例提供的第一调向组件与第二调向组件的局部示意图
[0020]图3为本申请实施例提供的一种可微调镜头的调节装置的主视图；
[0021]图4为本申请实施例提供的一种可微调镜头的调节装置的侧视图；
[0022]图中所述文字标注表示为：
[0023]1、基座本体；11、第一平台；111、第一凸起部；1111、第一导轨；1112、第二导轨；112、第二固定件；113、第一立板；12、第二平台；121、第二凸起部；1211、第三导轨；1212、第
四导轨122、第三固定件；2、第一夹持组件；3、第一调向组件；31、第一齿轮；32、第一齿条；33、第一调整轮；4、第二调向组件；41、第二调节杆；42、第二齿条；43、第二齿轮；44、第二调整轮；5、第三调向组件；6、观察组件；61、镜头；62；相机；7、第一支撑部；71、第一支撑柱；72、第一固定件；73、第四固定件。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0025]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0026]诚如
技术介绍
中提到的，针对现有技术中的问题，本申请提出了一种可微调镜头的调节装置：
[0027]基座本体1，所述基座本体1设有第一安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可微调镜头的调节装置，用于观察晶圆的测试情况，其特征在于，包括：基座本体(1)，所述基座本体(1)设有第一安装面；第一夹持组件(2)，所述第一夹持组件(2)的一端设于所述基座本体(1)，所述第一夹持组件(2)远离所述基座本体(1)侧夹持有观察组件(6)，所述观察组件(6)底部设有所述镜头(61)；第一调向组件(3)，所述第一调向组件(3)设于所述第一安装面上，所述第一调向组件(3)用于驱动所述第一夹持组件(2)带动所述观察组件(6)沿第一方向移动。2.根据权利要求1所述的一种可微调镜头的调节装置，其特征在于：所述第一安装面上方设有第一平台(11)，所述第一平台(11)远离所述镜头(61)端与所述第一夹持组件(2)连接，所述第一平台(11)和所述基座本体(1)之间形成第一空间，所述第一安装面上设有第一凸起部(111)，所述第一凸起部(111)的延伸方向为所述第一方向，所述第一平台(11)靠近所述第一安装面侧设有第一凹槽，所述第一凸起部(111)可嵌入所述第一凹槽内，并沿所述第一凹槽沿所述第一方向移动，所述第一平台(11)远离所述第一安装面侧与所述第一夹持组件(2)连接。3.根据权利要求2所述的一种可微调镜头的调节装置，其特征在于：所述第一平台(11)上设有第一通孔，所述第一通孔的轴线为第二方向，所述第二方向与所述第一方向垂直，所述第一调向组件(3)包括贯穿所述第一通孔的第一调节杆，所述第一空间内设有套设于所述第一调节杆外的第一齿轮(31)，且所述第一空间内还设有与所述第一齿轮(31)啮合的第一齿条(32)，所述第一齿条(32)的延伸方向为所述第一方向，所述第一齿条(32)的底部与所述基座本体(1)连接；当所述第一调节杆转动时可带动所述第一平台(11)沿所述第一方向移动。4.根据权利要求3所述的一种可微调镜头的调节装置，其特征在于：还包括第二调向组件(4)，所述第二调向组件(4)可使镜头沿第三方向移动；所述第一平台(11)上设有第二调向组件(4)，所述第一夹持组件(2)远离所述镜头(61)端与所述第二调向组件(4)连接，所述第二调向组件(4)用于驱动所述第一夹持组件(2)带动所述镜头(61)沿第三方向移动；所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。5.根据权利要求4所述的一种可微调镜头的调节装置，其特征在于：所述第一平台(11)上方设有第二平台(12)，所述第二平台(12)和所述第一平台(11)之间形成第二空间，所述第一平台(11)靠近所述第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，
申请(专利权)人：北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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