本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种微光照度传感器调节装置，包括支撑底座，以及设于支撑底座端部的安装座，支撑底座上开设有导轨槽，支撑底座的两侧对称设有用于位置锁定的定位组件；定位组件包括固定销、滑座、弹性件和堵头，支撑底座的两侧对称开设有贯穿导轨槽的定位通孔，固定销穿设在滑座上，且滑座固定连接于定位通孔的一端，堵头固定连接于定位通孔的另一端，弹性件设于定位通孔内且套设在固定销上，弹性件的两端分别与堵头和固定销抵接，固定销的一端探出至导轨槽内，固定销的另一端与堵头抵接或保持有一定距离。本申请提高了微光照度传感器活动调节座的可靠性和稳定性。性。性。
【技术实现步骤摘要】
一种微光照度传感器调节装置
[0001]本申请涉及半导体设备
，具体涉及一种微光照度传感器调节装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺中，涂胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的半导体设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，而在上述工艺中，光照度是显影机正常工作中的一个重要参与要素。现有技术中应用在涂胶显影机上的微光照度传感器(WEE Lamp Illumination Sensor)的活动调节座只是单颗螺丝固定，即由活动调节座承载微光照度传感器在涂胶显影机的功能单元上活动，到达目标位置后，通过锁紧螺丝来固定活动调节座及微光照度传感器，而随着使用次数的增加，螺丝磨损后不易发挥固定效果，亦存在螺丝无法拧入螺孔的现象，导致设备稳固程度和可靠性不足，进而致使真实照度数据的不准确，这种情况需要改变。
技术实现思路
[0003]本申请提供一种微光照度传感器调节装置，以保证微光照度传感器活动调节座的可靠性和稳定性。
[0004]为实现以上技术目的，采用的技术方案为：
[0005]一种微光照度传感器调节装置，包括支撑底座，以及设于所述支撑底座端部的安装座，所述安装座用于装载微光照度传感器，所述支撑底座上开设有至少一个用于滑动位移的导轨槽，所述支撑底座的两侧对称设有用于位置锁定的定位组件；所述定位组件包括固定销、滑座、弹性件和堵头，所述支撑底座的两侧对称开设有贯穿所述导轨槽的定位通孔，所述固定销穿设在所述滑座上，且所述滑座固定连接于所述定位通孔的一端，所述堵头固定连接于所述定位通孔的另一端，所述弹性件设于所述定位通孔内且套设在所述固定销上，所述弹性件的两端分别与所述堵头和所述固定销抵接，所述固定销的一端探出至所述导轨槽内，所述固定销的另一端与所述堵头抵接或保持有一定距离。
[0006]本申请进一步设置为：所述固定销探出至所述导轨槽内的一端呈圆头设置。
[0007]本申请进一步设置为：所述固定销上一体连接有挡片，所述弹性件背离所述堵头的一端与所述弹性件抵接，所述挡片与所述滑座抵接或保持有一定距离。
[0008]本申请进一步设置为：所述滑座与所述定位通孔螺纹连接固定或粘接固定，所述堵头通过螺钉固定连接在所述支撑底座上。
[0009]本申请进一步设置为：所述导轨槽为T形槽、倒梯形槽或燕尾槽。
[0010]本申请进一步设置为：所述安装座与所述支撑底座一体成形，所述安装座背离所述支撑底座的一端开设有便于安装微光照度传感器的装配孔。
[0011]本申请进一步设置为：所述导轨槽延展至所述支撑底座的两端。
[0012]本申请进一步设置为：所述支撑底座由铝合金材料制成。
[0013]本申请进一步设置为：所述支撑底座的长度为500mm，所述支撑底座的宽度为
125mm。
[0014]本申请进一步设置为：所述导轨槽为楔形槽，所述导轨槽的槽底与槽壁的夹角为30
°
，所述导轨槽的槽底宽度为62.5mm，所述导轨槽的槽口宽度为40mm。
[0015]综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种微光照度传感器调节装置，支撑底座通过安装座承载微光照度传感器，通过导轨槽执行滑动位移，并通过定位组件实现精准固定，其中，定位通孔贯穿导轨槽，定位组件包括设在定位通孔上的固定销、滑座、弹性件和堵头，由弹性件驱动，限制固定销沿着滑座在定位通孔内伸缩滑动，以此发挥其自动固定功能，提高微光照度传感器活动调节座的可靠性和稳定性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本实施例的第一种微光照度传感器调节装置的结构示意图；
[0018]图2是本实施例的第二种微光照度传感器调节装置的结构示意图；
[0019]图3是本实施例的微光照度传感器调节装置的内部结构剖视图；
[0020]图4是图3的A处放大图。
[0021]1、支撑底座；2、安装座；21、装配孔；3、导轨槽；4、定位组件；41、固定销；411、挡片；42、滑座；43、弹性件；44、堵头；5、定位通孔；6、固定底座。
具体实施方式
[0022]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0023]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
[0024]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0025]在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
[0026]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描
述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。
[0028]一种微光照度传感器调节装置，请参考图1
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图4，该微光照度传感器调节装置包括支撑底座1、安装座2、导轨槽3和定位组件4，其中安装座2设于支撑底座1端部并与支撑底座1一体成形，用于装载微光照度传感器，导轨槽3至少一个并开设于支撑底座1上，用于引导调节装置滑动位移，定位组件4对称设于支撑底座1的两侧，用于精准固定调节装置，其中支撑底座1即视为微光照度传感器的活动调节座。
[0029]在具体实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微光照度传感器调节装置，其特征在于：包括支撑底座，以及设于所述支撑底座端部的安装座，所述安装座用于装载微光照度传感器，所述支撑底座上开设有至少一个用于滑动位移的导轨槽，所述支撑底座的两侧对称设有用于位置锁定的定位组件；所述定位组件包括固定销、滑座、弹性件和堵头，所述支撑底座的两侧对称开设有贯穿所述导轨槽的定位通孔，所述固定销穿设在所述滑座上，且所述滑座固定连接于所述定位通孔的一端，所述堵头固定连接于所述定位通孔的另一端，所述弹性件设于所述定位通孔内且套设在所述固定销上，所述弹性件的两端分别与所述堵头和所述固定销抵接，所述固定销的一端探出至所述导轨槽内，所述固定销的另一端与所述堵头抵接或保持有一定距离。2.如权利要求1所述的微光照度传感器调节装置，其特征在于，所述固定销探出至所述导轨槽内的一端呈圆头设置。3.如权利要求1所述的微光照度传感器调节装置，其特征在于，所述固定销上一体连接有挡片，所述弹性件背离所述堵头的一端与所述弹性件抵接，所述挡片与所述滑座抵接或保持有一定距离。4.如权利要求1所述的微光照度传感器调节装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐越晨，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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