一种多路转换电路及划片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多路转换电路及划片机，可应用于信号处理技术领域，包括：多路转换器和控制器；多路转换器包括：第一信号输入接口、第二信号输入接口、信号输出接口以及控制信号输入接口；第一信号输入接口与接触测高电路的输出端连接，用于接收接触测高模拟信号；第二信号输入接口与刀具高度检测电路的输出端连接，用于接收非接触测高模拟信号；控制信号输入接口与控制器的输出端连接，用于接收控制器发出的控制信号，信号输出接口与控制器的输入端连接，用于向控制器发送模拟信号。由此，通过控制信号对多路转换器进行控制，实现接触测高和非接触测高两种功能的自动切换，提高了采集电路的灵活性降低了采集电路的复杂度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种多路转换电路及划片机


[0001]本技术涉及信号处理
，特别是涉及一种多路转换电路及划片机。

技术介绍

[0002]采集电路一般由模拟信号输入、控制信号输入和模拟信号输出构成，其作用是在某个规定的时刻接收输入电压，并在输出端保持该电压直至下次采样开始为止。
[0003]在晶圆切割时，为了精确测量刀片与晶圆的高度，需要进行接触测高(CS)。接触测高的精度相对较高，但是在接触测高时，旋转刀片会去接触加工平台，这种测高的过程对刀具有磨损的风险，所以一般只会在新换刀或者设备开机后做。在机台工作切割过程中，使用非接触测高(NCS)来测量刀片与晶圆的高度。传统的采集电路一般将接触测高与非接触测高分开进行，接触测高用比较器的实现，非接触测高用模拟数字转换器(ADC)进行，手动切换使得采集电路复杂且不灵活。
[0004]因此，如何在提高采集电路灵活性的同时降低采集电路的复杂度，是本领域技术人员急需解决的问题。

技术实现思路

[0005]基于上述问题，本技术提供了一种多路转换电路及划片机，根据控制器发出的控制信号，控制多路转换器进行接触测高模拟信号与非接触测高模拟信号的切换输入，并送到控制器做数据处理，实现了在提高采集电路灵活性的同时降低采集电路的复杂度。
[0006]第一方面，本技术实施例提供了一种多路转换电路，包括：多路转换器和控制器；
[0007]所述多路转换器包括：第一信号输入接口、第二信号输入接口、信号输出接口以及控制信号输入接口；
[0008]所述第一信号输入接口与接触测高电路的输出端连接，用于接收接触测高模拟信号；
[0009]所述第二信号输入接口与刀具高度检测电路的输出端连接，用于接收非接触测高模拟信号；
[0010]所述控制信号输入接口与所述控制器的输出端连接，用于接收所述控制器发出的控制信号，所述信号输出接口与所述控制器的输入端连接，用于向所述控制器发送模拟信号；
[0011]所述多路转换器在所述控制信号的控制下经由所述信号输出接口向所述控制器输出所述接触测高模拟信号或所述非接触测高模拟信号。
[0012]可选的，所述第一信号输入接口，包括：第一接触测高模拟信号接口以及第二接触测高模拟信号接口；
[0013]所述第一接触测高模拟信号接口，用于接收第一主轴上的第一接触测高模拟信号；
[0014]所述第二接触测高模拟信号接口，用于接收第二主轴上的第二接触测高模拟信号。
[0015]可选的，所述第二信号输入接口，包括：第一非接触测高模拟信号接口以及第二非接触测高模拟信号接口；
[0016]所述第一非接触测高模拟信号接口，用于接收第一主轴上的第一非接触测高模拟信号；
[0017]所述第一非接触测高模拟信号接口，用于接收第二主轴上的第二非接触测高模拟信号。
[0018]可选的，所述信号输出接口，包括：第一信号输出接口以及第二信号输出接口；所述控制信号输入接口包括：第一控制信号输入接口和第二控制信号输入接口；
[0019]所述第一控制信号输入接口用于接收第一控制信号，所述多路转换器在所述第一控制信号的控制下，经由所述第一信号输出接口向所述控制器发送所述第一接触测高模拟信号或所述第一非接触测高模拟信号；
[0020]所述第二控制信号输入接口用于接收第二控制信号，所述多路转换器在所述第二控制信号的控制下，经由所述第二信号输出接口向所述控制器发送所述第二接触测高模拟信号或所述第二非接触测高模拟信号。
[0021]可选的，所述多路转换电路，还包括：电路保护模块；
[0022]所述电路保护模块包括：第一开关二极管模块以及第二开关二极管模块；
[0023]所述第一开关二极管模块与所述第一非接触测高模拟信号接口连接，用于防止所述多路转换电路出现过压损坏；
[0024]所述第二开关二极管模块与所述第二非接触测高模拟信号接口连接，用于防止所述多路转换电路出现过压损坏。
[0025]可选的，所述控制器为FPGA。
[0026]可选的，所述多路转换电路，还包括：电源模块；
[0027]所述电源模块与所述多路转换器连接，用于为所述多路转换电路供电。
[0028]可选的，所述多路转换电路，还包括：稳压单元；
[0029]所述稳压单元一端与所述多路转换器连接，另一端与所述电源模块连接。
[0030]可选的，所述多路转换电路，还包括第一电阻模块；
[0031]所述第一电阻模块一端与所述控制器的输出端连接，另一端接地。
[0032]第二方面，本技术提供了一种划片机，包括如上述任一项所述的多路转换电路、主轴、刀具、接触测高电路、载台、光电传感器，其中，所述刀具安装在主轴上并在主轴的驱动下旋转，所述接触测高电路用于检测所述刀具与所述载台是否接触并输出接触测高模拟信号，在所述刀具与所述载台接触时，所述刀具、碳刷、所述主轴与所述载台形成闭环回路；所述光电传感器用于进行非接触测高并输出非接触测高模拟信号。
[0033]从以上技术方案可以看出，相较于现有技术，本技术具有以下优点：
[0034]综上所述，本技术公开了一种多路转换电路，包括：多路转换器和控制器；所述多路转换器包括：第一信号输入接口、第二信号输入接口、信号输出接口以及控制信号输入接口；所述第一信号输入接口与接触测高电路的输出端连接，用于接收接触测高模拟信号；所述第二信号输入接口与刀具高度检测电路的输出端连接，用于接收非接触测高模拟
信号；所述控制信号输入接口与所述控制器的输出端连接，用于接收所述控制器发出的控制信号，所述信号输出接口与所述控制器的输入端连接，用于向所述控制器发送模拟信号。所述多路转换器在所述控制信号的控制下经由所述信号输出接口向所述控制器输出所述接触测高模拟信号或所述非接触测高模拟信号。由此，通过控制信号对多路转换器进行控制，从而在同一条硬件模数转换链路上实现接触测高和非接触测高两种功能的切换，提高了采集电路灵活性的同时降低了采集电路的复杂度。
附图说明
[0035]图1为本技术提供的一种多路转换电路的结构框图；
[0036]图2为本技术提供的一种基于两路测高通道的多路转换电路信号传输流程图；
[0037]图3为本技术提供的一种多路转换器的内部结构示意图；
[0038]图4为本技术提供的一种基于两路测高通道的多路转换电路结构图。
具体实施方式
[0039]正如前文所述，传统的采集电路一般将接触测高与非接触测高分开进行，从而无法保证采集电路的灵活性以及采集电路的简单性。具体来说，传统的采集电路，接触测高和非接触测高是分开做的，其中接触测高用比较器的实现，当刀片接触平台时电平值发生变化，通过比较器输出变化来实现状态改变，而非接触测高是利用模拟数字转换器去采集光通量的变化从而实现状态改变的。两种测高方式相互独立，就需要通过两条模数处理电路进行模拟信号传输，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多路转换电路，其特征在于，包括：多路转换器和控制器；所述多路转换器包括：第一信号输入接口、第二信号输入接口、信号输出接口以及控制信号输入接口；所述第一信号输入接口与接触测高电路的输出端连接，用于接收接触测高模拟信号；所述第二信号输入接口与刀具高度检测电路的输出端连接，用于接收非接触测高模拟信号；所述控制信号输入接口与所述控制器的输出端连接，用于接收所述控制器发出的控制信号，所述信号输出接口与所述控制器的输入端连接，用于向所述控制器发送模拟信号；所述多路转换器在所述控制信号的控制下经由所述信号输出接口向所述控制器输出所述接触测高模拟信号或所述非接触测高模拟信号。2.根据权利要求1所述的一种多路转换电路，其特征在于，所述第一信号输入接口，包括：第一接触测高模拟信号接口以及第二接触测高模拟信号接口；所述第一接触测高模拟信号接口，用于接收第一主轴上的第一接触测高模拟信号；所述第二接触测高模拟信号接口，用于接收第二主轴上的第二接触测高模拟信号。3.根据权利要求2所述的一种多路转换电路，其特征在于，所述第二信号输入接口，包括：第一非接触测高模拟信号接口以及第二非接触测高模拟信号接口；所述第一非接触测高模拟信号接口，用于接收第一主轴上的第一非接触测高模拟信号；所述第一非接触测高模拟信号接口，用于接收第二主轴上的第二非接触测高模拟信号。4.根据权利要求3所述的一种多路转换电路，其特征在于，所述信号输出接口，包括：第一信号输出接口以及第二信号输出接口；所述控制信号输入接口包括：第一控制信号输入接口和第二控制信号输入接口；所述第一控制信号输入接口用于接收第一控制信号，所述多路转换器在所述第一控制信号的控制下，经由所述第一信号输出接口向所述控制器发送所述第一接触测高模拟信号或所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔乐乐，徐旭，朱时成，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：