静电式振动能量采集器构件以及制造方法技术

本发明专利技术所公开的至少是静电式能量采集器一部分的构件能使含有此构件的能量采集器采集和转化更多的环境振动能和或能从多个不同特征振动频率或振动范围采集环境振动能而输出电能。在某个或某些实施例中，能量采集器构件中的可动电极中包含有比其基体材料质量密度更高的材料和或其一个或两个面上连接有质量块。在某个或某些实施例中，能量采集器构件中包含由多个单层可变电容构件层连接而形成的多层可变电容构件层。在某个或某些实施例中，在能量采集器构件所包含的多层可变电容构件层中，至少在两个相邻的可动电极之间连接有至少一个质量块。还是在某个或某些实施例中，能量采集器构件中包含有至少两个独立的互不连接的可变电容构件层。对于本发明专利技术中的硅基能量采集器构件，本发明专利技术也提供了一种制造方法。此方法通过制造并连接多个独立硅结构层而形成所需的构件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种至少是静电式能量采集器一部分的构件，包含有至少一个可变电容构件层，其中，每个可变电容构件层包含有至少一个固定电极、一个可动电极、至少一个连接于可动电极并支承此可动电极的支撑梁，其中，所述的至少一个固定电极和可动电极形成至少一个可变电容器；并且至少有一个可动电极包含有至少一个孔或开口，其中，至少在一个孔或开口中，含有至少一种比可动电极基体材料质量密度更高的材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张刚，
申请(专利权)人：张刚，
类型：发明
国别省市：81[中国|广州]