【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面声波传感器组件
[0001]本公开内容的一些实施方式一般涉及具有表面声波(surface acoustic wave;SAW)传感器组件以测量环境的环境状况的传感器装置。
技术介绍
[0002]表面声波(SAW)是平行于弹性材料的表面行进的声波。SAW的一般数学论述首先由Lord Rayleigh在1855年报道,但在电子装置中的应用直到1965年才被White和Voltmer利用压电材料(piezoelectric material)上的叉指换能器开发。SAW在电子装置中使用,特别地RF/IF滤波器。从电能到机械能(以SAW的形式)的转换经由使用压电材料来实现。压电材料是具有从机械应力产生内部电荷以及回应于所施加的电场在内部产生机械应变的能力的材料。SAW换能器经常用于压电材料的表面上以将电能转换为机械能(例如,SAW)以及将SAW转换为电能。SAW装置可使用电子部件中的SAW以提供多种不同功能,包括延迟线、滤波器、谐振器、相关器、转换器、传感器和类似者。SAW装置可以在晶片上设置以执行SAW装置的相应功能。
技术实现思路
[0003]本文描述的一些实施方式涵盖一种包括整合传感器组件的传感器装置,该整合传感器组件具有在具有至少一层压电材料的基板上设置的表面声波(SAW)传感器。SAW传感器可适用于基于响应于接收入射射频(radio frequency;RF)信号检测SAW性质来测量环境状况。SAW传感器可包括在压电材料上形成的叉指换能器(interdigitated transducer;IDT ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种传感器组件,包含:第一表面声波(SAW)传感器,适用于响应于接收第一RF信号来测量第一环境状况,所述第一SAW传感器包含:第一基板,所述第一基板包含至少一层压电材料;和第一叉指换能器(IDT),所述第一IDT在所述压电材料上形成,所述第一IDT包含两个梳形电极,所述两个梳形电极电极包含以第一布置的互锁导电叉指,其中以所述第一布置的所述互锁导电叉指产生借由所述第一IDT接收的所述第一RF信号的第一信号调变,其中所述第一信号调变识别所述第一SAW传感器。2.如权利要求1所述的传感器组件,进一步包含:第二SAW传感器,所述第二SAW传感器适用于响应于接收所述第一RF信号或第二RF信号来测量所述第一环境状况,所述第二SAW传感器包含:第二IDT,所述第二IDT在所述第一基板的所述压电材料上或在第二基板上形成,所述第二IDT包含两个梳形电极,所述两个梳形电极包含以第二布置的互锁导电叉指,其中以所述第二布置的所述互锁导电叉指产生借由所述第二IDT接收的所述第一RF信号或所述第二RF信号的第二信号调变,其中所述第二信号调变识别所述第二SAW传感器。3.如权利要求2所述的传感器组件,其中所述第二IDT的所述第二布置包含来自邻近彼此布置的所述两个梳形电极的所述相同梳形电极的至少两个叉指。4.如权利要求1所述的传感器组件,其中所述第一SAW传感器进一步包含通信地耦合到所述第一IDT并且在所述压电材料上形成的第一多个SAW反射器,其中所述第一多个SAW反射器具有第一空间布置,所述第一空间布置导致从所述第一多个SAW反射器反射并且回到所述第一IDT的所述第一SAW具有第二信号调变,当所述第二信号调变与所述第一信号调变组合时,所述第二信号调变识别所述第一SAW传感器。5.如权利要求4所述的传感器组件,进一步包含:第二SAW传感器,所述第二SAW传感器适用于响应于接收所述第一RF信号或第二RF信号来测量所述第一环境状况,所述第二SAW传感器包含:第二IDT,所述第二IDT在所述第一基板的所述压电材料上或在第二基板上形成;和第二多个SAW反射器,所述第二多个SAW反射器通信地耦合到所述第二IDT并且在所述压电材料上形成,其中所述第二多个SAW反射器具有第二空间布置,所述第二空间布置导致从所述第二多个SAW反射器反射并且回到所述第二IDT的所述第二SAW具有识别所述第二SAW传感器的第二信号调变。6.如权利要求1所述的传感器组件,其中所述第一布置借由相位偏移所述第一RF信号的至少一部分来产生所述第一信号调变。7.如权利要求1所述的传感器组件,其中所述第一布置借由频率偏移所述第一RF信号的至少一部分来产生所述第一信号调变。8.如权利要求1所述的传感器组件,其中所述第一SAW传感器进一步包含:在所述第一IDT上设置的第一厚度或第一材料的至少一者的第一介电涂层,其中:所述第一IDT包含第一基本谐振频率;所述第一厚度或所述第一材料的至少一者与所述第一基本谐振频率中的第一偏移相关联;和
具有所述第一介电涂层的所述第一IDT具有第一经调节的谐振频率。9.如权利要求8所述的传感器组件,进一步包含:第二SAW传感器,所述第二SAW传感器适用于响应于接收所述第一RF信号或第二RF信号来测量所述第一环境状况,所述第二SAW传感器包含在所述第一基板的所述压电材料上或在第二基板上形成的第二IDT;和在所述第二IDT上设置的第二厚度或第二材料的至少一者的第二介电涂层,其中:所述第二IDT包含所述第一基本谐振频率或第二基本谐振频率;所述第二厚度或所述第二材料的至少一者与所述第二基本谐振频率中的第二偏移相关联;和具有所述第二介电涂层的所述第二IDT具有第二经调节的谐振频率。10.一种传感器组件,包含:第一表面声波(SAW)传感器,所述第一SAW传感器在包含至少一层压电材料的基板上设置,其中所述第一SAW传感器适用于响应于接收第一RF信号来测量环境的环境状况,所述第一SAW传感器包含:第一叉指换能器(IDT),所述第一IDT在所述压电材料的第一区域上形成,所述第一IDT回应于接收所述第一RF信号来基于所述环境状况产生第一SAW;和第一多个SAW反射器,通信地耦合到所述第一IDT并且在所述压电基板的第二区域上形成;其中所述第一多个SAW反射器具有第一空间布置,所述第一空间布置导致从所述第一多个SAW反射器反射并且返回到所述第一IDT的所述第一SAW具有识别所述第一SAW传感器的第一信号调变。11.如权利要求10所述的传感器组件,进一步包含:第二SAW传感器,所述第二SAW传感器在所述压电材料上设置,其中所述第二SAW传感器适用于响应于接收所述第一RF信号或第二RF信号来测量所述环境的所述环境状况,所述第二SAW传感器包含:第二IDT,所述...
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