一种气密性好的双气缸炉管设备制造技术

本发明专利技术公开了一种气密性好的双气缸炉管设备，涉及炉管技术领域，包括壳体，所述壳体的一端固定连接有底座，所述底座的一端固定连接有支柱，所述底座的内部固定连接有压力板，所述压力板的底部固定连接有弹力板，所述底座的将内部开设有凹槽，所述凹槽的中部固定连接有缓冲弹簧。本发明专利技术通过采用隔热层、卡扣、固定块、吸附层、吸附元件、分离层和分离孔的配合，分离层通过中部开设的分离孔，可以将颗粒灰尘吸附至吸附层中的吸附元件上，解决了炉管设备在工作时容易进入颗粒灰尘，使炉管设备堵塞和效率降低，影响炉管设备使用寿命的问题，达到此设备具有可以吸附炉管内部颗粒灰尘的效果。此设备具有可以吸附炉管内部颗粒灰尘的效果。此设备具有可以吸附炉管内部颗粒灰尘的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种气密性好的双气缸炉管设备


[0001]本专利技术涉及一种气密性好的双气缸炉管设备，涉及炉管
，具体涉及一种气密性好的双气缸炉管设备。

技术介绍

[0002]扩散工艺是半导体芯片制造中最主要的掺杂工艺，它是在高温条件下将元素磷、硼扩散入晶圆，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。现在的扩散工艺绝大部分都是以批次型处理方式进行的，即将多个批次的上百片晶圆同时放入扩散炉中进行扩散处理，这样能够极大提高生产效率。当然潜在的风险是，一旦设备出现故障或工艺出现异常，受到影响的晶圆数量也是成倍增加，因而对炉管设备的管理需格外严格，要尽力将潜在的易引起工艺不良的风险都排除。现有的炉管设备一般采用单个气缸，由此造成炉门关闭时存在漏气现象。而改造成双气缸推动后，炉门关闭气密性更好。针对现有技术存在以下问题：
[0003]1、现有的炉管设备一般采用单个气缸，由此造成炉门关闭时容易存在漏气的现象，影响炉管设备的密封性，导致效率降低。
[0004]2、现有的炉管设备在工作的同时容易内部进入细小颗粒灰尘，容易使炉管设备的堵塞和效率降低，影响炉管设备的使用寿命。
[0005]3、现有的炉管设备在垂直或水平放置地面时，炉管设备工作产生的震动，容易导致炉管设备的位置发生偏移或倾斜倒塌，影响周边环境的安全。

技术实现思路

[0006]本专利技术提供一种气密性好的双气缸炉管设备，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是：
[0008]一种气密性好的双气缸炉管设备，包括壳体，所述壳体的一端固定连接有底座，所述壳体的一侧固定连接有支架，所述支架的外部转动连接有螺帽，所述壳体的另一端固定连接有炉门，所述壳体的外部固定连接有进气管，所述壳体的外部固定连接有出气管，所述进气管的顶部活动连接有阀门。
[0009]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述阀门的顶部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的顶部转动连接有转动阀，所述阀门的底部固定连接有气垫块，所述阀门的一侧固定连接有密封套。
[0010]采用上述技术方案，该方案中的转动阀通过旋转带动螺纹杆转动，从而带动阀门底部的气垫块和一侧的密封套下压堵住进气管和出气管，可以实现控制进出气的速率的效果。
[0011]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述壳体的内部固定连接有气缸，所述气缸的一端固定连接有炉管。
[0012]采用上述技术方案，该方案中的壳体内部的气缸设置为两个，可以在推动过程中，炉门机构有两个平行的受力点，相比单气缸多了一个受力点，使得炉门关闭的更加可靠，增加了炉管整体的气密性，提高了炉管在工艺制程中的可靠性，减少了不良品的产出，提高了整体良品率，同时气缸一端的炉管可以同时工作。
[0013]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述气缸的一端固定连接有磁铁，所述磁铁呈圆弧状，所述炉管的一端固定连接有铁块，所述气缸的一侧固定连接有弹性连接杆，所述弹性连接杆的内部固定连接有减震弹簧。
[0014]采用上述技术方案，该方案中的磁铁和铁块通过磁吸的性质，可以紧密贴合在一起，加强了密封性，在气缸一侧的弹性连接杆和减震弹簧保证两个气缸在连接工作时，可以减少工作时产生的震动，增强了实用性。
[0015]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述炉管的内壁固定连接有隔热层，所述隔热层的一侧固定连接有吸附层，所述吸附层的内部设置有吸附元件，所述吸附层的一端固定连接有固定块，所述隔热层的一端固定连接有卡扣，所述吸附层的一侧固定连接有分离层，所述分离层的中部开设有分离孔。
[0016]采用上述技术方案，该方案中的分离层通过中部开设的分离孔，可以将颗粒灰尘吸附至吸附层中的吸附元件上，同时吸附层一端的固定块可通过旋转卡在隔热层一端的卡扣上，通过抽出吸附层达到其清理的效果，同时隔热层阻隔炉管内部高温，避免外界接触烫伤。
[0017]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述螺帽的一侧转动连接有转动杆，所述支架的底部固定连接有吸盘，所述吸盘的底部呈凹圆弧状。
[0018]采用上述技术方案，该方案中的螺帽通过旋转带动转动杆转动卡进壳体内部，底部的呈凹圆弧状的吸盘可以通过按压在地面，挤出凹进去部分的空气，实现压缩空气，从而吸附地面牢固的效果。
[0019]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述支架的一侧卡接有支撑杆，所述支撑杆的外部固定连接有卡纹，所述支架的一侧开设有卡槽，所述卡槽的外部开设有纹槽。
[0020]采用上述技术方案，该方案中的支架一侧的支撑杆通过支撑杆外部的卡纹可以通过卡进支架内部的卡槽和纹槽中，达到此炉管设备可以水平放置固定牢固的效果。
[0021]本专利技术技术方案的进一步改进在于：所述底座的一端固定连接有支柱，所述底座的内部固定连接有压力板，所述压力板的底部固定连接有弹力板，所述底座的将内部开设有凹槽，所述凹槽的中部固定连接有缓冲弹簧。
[0022]采用上述技术方案，该方案中的底座一端的支柱可以使此炉管设备垂直放置时可以固定，底座内部的压力板通过底部的弹力板和凹槽中部的缓冲弹簧自身受力反弹复原的性质，可以使此炉管设备在垂直放置时，具有减震固定的效果。
[0023]由于采用了上述技术方案，本专利技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
[0024]1、本专利技术提供一种气密性好的双气缸炉管设备，采用气缸、炉管、磁铁、铁块、弹性连接杆和减震弹簧的配合，壳体内部的气缸设置为两个，可以在推动过程中，炉门有两个平行的受力点，相比单气缸多了一个受力点，使得炉门关闭的更加可靠，增加了炉管整体的气密性，提高了炉管在工艺制程中的可靠性，减少了不良品的产出，提高了整体良品率，同时气缸一端的炉管可以同时工作，磁铁和铁块通过磁吸的性质，可以紧密贴合在一起，加强了
密封性，在气缸一侧的弹性连接杆和减震弹簧保证两个气缸在连接工作时，可以减少工作时产生的震动，增强了实用性，解决了现有的炉管设备一般采用单个气缸，由此造成炉门关闭时容易存在漏气的现象，影响炉管设备的密封性，导致效率降低的问题，达到此设备具有密封性更好的效果。
[0025]2、本专利技术提供一种气密性好的双气缸炉管设备，采用隔热层、卡扣、固定块、吸附层、吸附元件、分离层和分离孔的配合，分离层通过中部开设的分离孔，可以将颗粒灰尘吸附至吸附层中的吸附元件上，同时吸附层一端的固定块可通过旋转卡在隔热层一端的卡扣上，通过抽出吸附层达到其清理的效果，同时隔热层阻隔炉管内部高温，避免外界接触烫伤，解决了现有的炉管设备在工作的同时容易内部进入细小颗粒灰尘，容易使炉管设备的堵塞和效率降低，影响炉管设备使用寿命的问题，达到此设备具有可以吸附炉管内部颗粒灰尘的效果。
[0026]3、本专利技术提供一种气密性好的双气缸炉管设备，采用转动杆、吸盘、支撑杆、卡纹、卡槽、纹槽、支柱、压力板、弹力板、凹槽和缓冲弹簧的配合，螺帽通过旋转带动转动杆转动卡进壳体内部，之间底部的呈凹圆弧状的吸盘可以通过按压在地面，挤出凹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气密性好的双气缸炉管设备，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的一端固定连接有底座(2)，所述壳体(1)的一侧固定连接有支架(3)，所述支架(3)的外部转动连接有螺帽(4)，所述壳体(1)的另一端固定连接有炉门(5)，所述壳体(1)的外部固定连接有进气管(6)，所述壳体(1)的外部固定连接有出气管(7)，所述进气管(6)的顶部活动连接有阀门(8)。2.根据权利要求1所述的一种气密性好的双气缸炉管设备，其特征在于：所述阀门(8)的顶部转动连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)的顶部转动连接有转动阀(10)，所述阀门(8)的底部固定连接有气垫块(11)，所述阀门(8)的一侧固定连接有密封套(12)。3.根据权利要求1所述的一种气密性好的双气缸炉管设备，其特征在于：所述壳体(1)的内部固定连接有气缸(13)，所述气缸(13)的一端固定连接有炉管(14)。4.根据权利要求3所述的一种气密性好的双气缸炉管设备，其特征在于：所述气缸(13)的一端固定连接有磁铁(15)，所述磁铁(15)呈圆弧状，所述炉管(14)的一端固定连接有铁块(16)，所述气缸(13)的一侧固定连接有弹性连接杆(17)，所述弹性连接杆(17)的内部固定连接有减震弹簧(18)。5.根据权利要求3所述的一种气密性好的双气...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋健君，
申请(专利权)人：天合光能宿迁光电有限公司，
类型：发明
国别省市：