单晶炉的冷却装置制造方法及图纸

技术编号:38022827 阅读:19 留言:0更新日期:2023-06-30 10:49
本公开属于单晶炉的冷却技术领域,具体涉及一种单晶炉的冷却装置,冷却装置包括设于炉盖上的升降驱动组件、自升降驱动组件贯穿炉盖后伸入炉筒内的提升杆以及氩气冷却组件;升降驱动组件通过提升杆提起炉筒内的热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。氩气冷却组件包括延伸至散热间隙处的氩气供给管道,氩气供给管道通过散热间隙向热场组件内侧供给氩气。在单晶炉的冷却过程中,升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,氩气冷却组件通过氩气供给管道向热场组件内侧供给氩气,使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部,利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。热速度。热速度。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉的冷却装置


[0001]本公开属于单晶炉的冷却
,具体涉及一种单晶炉的冷却装置。

技术介绍

[0002]单晶炉拉晶完毕后,需要停炉冷却后才能进行拆炉。由于单晶炉在拉晶过程的温度高,其炉内的保温效较好,若让拉晶炉自然冷却,则会导致停炉的时间过长,严重影响生产效率。
[0003]为此现有技术在单晶炉上设置提升装置以加快散热,提升装置的升降驱动组件设置炉盖上,提升装置的提升杆伸入到炉筒内部与热场组件连接。在单晶炉冷却过程中,利用升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,热场组件中的热量能够通过该散热间隙向外散热,以加快热场组件的冷却速度,进而缩短停炉时间。
[0004]但是仅仅在单晶炉设置提升装置来加快散热的手段较为单一,单晶炉的散热速度依旧较慢。

技术实现思路

[0005]为提高单晶炉的散热速度,本公开提供了一种单晶炉的冷却装置,该冷却装置设有氩气冷却组件配合散热间隙对热场组件降温,改善了单晶炉的散热速度慢的问题。
[0006]本公开的实施例提供了一种单晶炉的冷却装置,包括设于炉盖上的升降驱动组件,以及自所述升降驱动组件贯穿所述炉盖后伸入炉筒内的提升杆;
[0007]所述升降驱动组件通过所述提升杆提起所述炉筒内的热场组件,使得所述热场组件在竖直方向上形成散热间隙;
[0008]还包括氩气冷却组件;所述氩气冷却组件包括延伸至所述散热间隙处的氩气供给管道,所述氩气供给管道通过所述散热间隙向所述热场组件内侧供给氩气。
[0009]在一些实施例中,所述氩气冷却组件还包括冷却开关,所述冷却开关设于所述氩气供给管道的进气端,所述冷却开关在所述提升杆提升起所述热场组件后开启。
[0010]在一些实施例中,所述热场组件包括保温筒以及包裹在所述保温筒外侧的保温软毡,所述保温软毡包括上下设置的至少两层软毡层;
[0011]所述提升杆提升起位于上部的一所述软毡层。
[0012]在一些实施例中,所述氩气供给管道的出气端贯穿所述保温筒的侧壁。
[0013]在一些实施例中,所述氩气供给管道从所述散热间隙的底部贯穿所述保温筒。
[0014]在一些实施例中,所述炉筒的侧壁上设有加料筒,所述加料筒的进料端设有加料盖板将其密封;所述氩气供给管道的进气端设于所述加料盖板上。
[0015]在一些实施例中,所述升降驱动组件包括可升降的滑块以及驱动滑块移动的电机;所述滑块通过支架连接所述提升杆的顶部,以驱动所述提升杆在竖直方向上移动。
[0016]在一些实施例中,所述炉盖上开设有通孔,所述提升杆可竖直移动的穿设于所述
通孔中;
[0017]所述提升杆位于所述炉盖上方的部分套设有波纹管,所述波纹管的上端连接所述支架,所述波纹管的下端连接所述炉盖;所述通孔位于所述波纹管内侧。
[0018]在一些实施例中,所述提升杆的底部设有挂钩,所述挂钩自所述软毡层的底部托起所述软毡层。
[0019]在一些实施例中,所述提升杆为中空状,用以引入冷却液。
[0020]在单晶炉的冷却过程中,升降驱动组件驱动提升杆提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,热场组件中的热量能够通过该散热间隙向外散热,以加快热场组件的冷却速度。在升降驱动组件提升起热场组件后,氩气冷却组件通过氩气供给管道向热场组件内侧供给氩气,使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部,利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。
附图说明
[0021]图1为本实施例的冷却装置装配在单晶炉上的剖面结构示意图;
[0022]图2为本实施例的冷却装置与炉盖的装配结构示意图。
[0023]图中,炉筒10;炉盖11;升降驱动组件20;电机21;滑块22;支架23;波纹管24;提升杆30;挂钩31;氩气供给管道40;冷却开关41;保温筒50;保温软毡51;软毡层52;加料筒60;加料盖板61。
具体实施方式
[0024]为了使本公开的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本公开进行进一步详细说明。应当理解,此处描述的具体实施例仅仅用以解释本公开,并不用于限定本公开。
[0025]需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想。
[0026]本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本技术可实施的限定条件,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0027]本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”、“纵向”、“横向”、“水平”、“内”、“外”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,亦仅为了便于简化叙述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]如图1所示,本公开提供了一种单晶炉的冷却装置,包括设于炉盖11上的升降驱动组件20、自升降驱动组件20贯穿炉盖11后伸入炉筒10内的提升杆30以及氩气冷却组件;升降驱动组件20通过提升杆30提起炉筒10内的热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。氩气冷却组件包括延伸至散热间隙处的氩气供给管道40,氩气供给管道40通过散热间隙向热场组件内侧供给氩气。
[0029]在单晶炉的冷却过程中,升降驱动组件20驱动提升杆30提升起热场组件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙,热场组件中的热量能够通过该散热间隙向外散热,以加快热场组件的冷却速度。在升降驱动组件20提升起热场组件后,氩气冷却组件通过氩气供给管道40向热场组件内侧供给氩气,使得氩气能够经散热间隙进入热场组件内部,利用氩气冷却组件配合散热间隙使用能够加快热场组件的散热速度。
[0030]本实施例的热场组件包括保温筒50以及包裹在保温筒50外侧的保温软毡51,保温软毡51包括上下设置的至少两层软毡层52。本实施例的提升杆30提升起位于上部的一层软毡层52,使得保温软毡51形成散热间隙。需要说明的是,本实施例的保温筒50优选用石墨保温筒50,本实施例的热场组件不限于本实施例描述的结构,提升杆30不限于提升热场组件中的保温软毡51,也可以选择提升保温筒50或其他热场组件的零部件,使得热场组件在竖直方向上形成散热间隙。
[0031]由于本实施例的提升杆30用于提升软毡层52,而氩气供给管道40无法直接朝向热场组件的内侧供给氩气,因此本实施例的氩气供给管道40的出气端贯穿保温筒50的侧壁,使得氩气能够直接通入到保温筒50内部。具体的,氩气供给管道40优选从散热间隙的底部贯穿保温筒50,以避免氩气冷却管道干涉本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的冷却装置,包括设于炉盖(11)上的升降驱动组件(20),以及自所述升降驱动组件(20)贯穿所述炉盖(11)后伸入炉筒(10)内的提升杆(30);所述升降驱动组件(20)通过所述提升杆(30)提起所述炉筒(10)内的热场组件,使得所述热场组件在竖直方向上形成散热间隙;其特征在于:还包括氩气冷却组件;所述氩气冷却组件包括延伸至所述散热间隙处的氩气供给管道(40),所述氩气供给管道(40)通过所述散热间隙向所述热场组件内侧供给氩气。2.根据权利要求1所述的单晶炉的冷却装置,其特征在于:所述氩气冷却组件还包括冷却开关(41),所述冷却开关(41)设于所述氩气供给管道(40)的进气端,所述冷却开关(41)在所述提升杆(30)提升起所述热场组件后开启。3.根据权利要求1或2所述的单晶炉的冷却装置,其特征在于:所述热场组件包括保温筒(50)以及包裹在所述保温筒(50)外侧的保温软毡(51),所述保温软毡(51)包括上下设置的至少两层软毡层(52);所述提升杆(30)提升起位于上部的一所述软毡层(52)。4.根据权利要求3所述的单晶炉的冷却装置,其特征在于:所述氩气供给管道(40)的出气端贯穿所述保温筒(50)的侧壁。5.根据权利要求4所述的单晶炉的冷却装置,其特征在于:所述氩气供给管道(40...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾世涛李永哲李维琛
申请(专利权)人:晶澳无锡光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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