调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机制造技术

本申请涉及一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，调速阀门结构包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；阀门腔体上设有抽气口，其中，抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；上连接件用于与真空腔室密封连接，下连接件用于与分子泵密封连接；驱动机构连接间接传动装置，间接传动装置与真空阀板通过非接触方式连接；驱动机构驱动间接传动装置进行运动，间接传动装置以非接触方式驱动真空阀板进行移动，调整抽气口的开度大小；该技术方案具有更高的真空度调整速度，减少了需要真空密封的部件，降低了整体设备的成本，并提升了真空腔室的真空密封效果。并提升了真空腔室的真空密封效果。并提升了真空腔室的真空密封效果。

【技术实现步骤摘要】
调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机


[0001]本申请涉及真空镀膜机
，特别是一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]在真空镀膜机中，真空腔室连接泵腔室，通过泵腔室所安装的抽气泵对真空腔室进行抽真空，从而使得真空腔室达到镀膜所需的真空度。
[0003]目前，目前真空镀膜领域已经大规模地运用分子泵进行高真空抽真空。分子泵具有启动迅速、关闭快速、无油污染真空腔室等特点。由于分子泵是高速运转的，在抽气过程是需要保持稳定的高速状态，当需要调整抽气速率时，如果要调整分子泵转速，则控制过程相对缓慢，所以一般不会去调节分子泵的转速，而当需要调整，腔室内真空度时，往往是采用调整抽气口开度大小来实现调整真空度，或者向真空腔室注入一定量惰性气体，以实现腔室内稳定的真空度环境。
[0004]在真空镀膜工作过程中，通常需要一特定的真空度环境，该环境下不需要分子泵全抽速抽气，所以经常需要调整真空腔室内的真空度，在一些敏感度较高的真空工艺时，如果采用向真空腔室注入气体方式，气体会对成膜造成较大影响，因此只能采用常用的调速阀门结构来调整抽气口开度大小，由于需要严格密封原因，常用的调速阀门结构的密封结构设计复杂，调整速度难以符合需求，而且在真空腔室内使用的真空设备，整体设备成本较高，对真空腔室的密封要求也较高；调整速度慢和真空密封效果不足均会影响真空镀膜机的镀膜质量。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，以提升真空度调整速度，提升真空腔室密封效果。
[0006]一种调速阀门结构，应用于真空腔室，包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于所述阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；
[0007]所述阀门腔体上设有抽气口，其中，所述抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；所述上连接件用于与真空腔室密封连接，所述下连接件用于与分子泵密封连接；
[0008]所述驱动机构连接所述间接传动装置，所述间接传动装置与所述真空阀板通过非接触方式连接；
[0009]所述驱动机构驱动间接传动装置进行运动，所述间接传动装置以非接触方式驱动所述真空阀板进行移动，调整所述抽气口的开度大小。
[0010]在一个实施例中，所述间接传动装置一端上设有第一磁力装置，所述真空阀板上设有第二磁力装置；
[0011]其中，所述第一磁力装置与第二磁力装置之间由所述阀门腔体的外壳相隔，并相互产生磁吸作用。
[0012]在一个实施例中，所述驱动机构包括设于阀门腔体外部的线性模组；
[0013]其中，所述线性模组的运动方向与所述真空阀板的移动方向平行，所述间接传动装置连接在所述线性模组的滑块上。
[0014]在一个实施例中，所述间接传动装置包括连接在所述滑块上且垂直于线性模组的运动方向的横杆；
[0015]其中，所述横杆的两端上分别设有一个所述第一磁力装置，所述真空阀板上与所述第一磁力装置相对应的位置上分别设有一个第二磁力装置。
[0016]在一个实施例中，所述阀门腔体的外壳在与所述第一磁力装置相对应的位置处设有限位槽，所述第一磁力装置卡入所述限位槽内进行运动。
[0017]在一个实施例中，所述限位槽的底部为透明材料外壳，在所述限位槽的边上还设有刻度尺，用于指示真空阀板在阀门腔体内的移动位置。
[0018]在一个实施例中，所述真空阀板内置有磁力模块，所述阀门腔体的外壳在与所述磁力模块运动轨迹上相对应的位置设有磁感应开关阵列，在所述磁力模块经过磁感应开关下方时，磁感应开关接通指示灯，通过指示灯亮灯来指示真空阀板的移动位置。
[0019]在一个实施例中，所述第一磁力装置包括强磁铁吸盘和第一磁铁，所述第二磁力装置包括第二磁铁；其中，
[0020]所述第一磁铁与第二磁铁在静态下相互产生磁吸作用；
[0021]所述强磁铁吸盘连接直流电源，在真空阀板移动时接通直流电源产生磁场，并与所述第二磁铁相互产生磁吸作用。
[0022]在一个实施例中，所述真空阀板包括第一真空阀板和第二真空阀板；
[0023]所述驱动机构包括分别设于抽气口两侧的第一驱动机构和第二驱动机构；其中，所述抽气口位于阀门腔体的中部位置；
[0024]所述间接传动装置包括第一间接传动装置和第二间接传动装置；
[0025]所述第一驱动机构连接所述第一间接传动装置，所述第一间接传动装置与所述第一真空阀板通过非接触方式连接；其中，所述第一驱动机构驱动第一间接传动装置进行运动，所述第一间接传动装置以非接触方式驱动所述第一真空阀板进行移动；
[0026]所述第二驱动机构连接所述第二间接传动装置，所述第二间接传动装置与所述第二真空阀板通过非接触方式连接；其中，所述第二驱动机构驱动第二间接传动装置进行运动，所述第二间接传动装置以非接触方式驱动所述第二真空阀板进行移动。
[0027]一种真空腔室，其特征在于，包括：腔室本体、分子泵以及调速阀门结构；其中，所述调速阀门结构的上连接件与腔室本体的抽气口连接，所述调速阀门结构的下连接件连接分子泵。
[0028]一种真空镀膜机，包括：工控机，以及真空腔室，其中，所述工控机用于控制所述调速阀门结构。
[0029]在一个实施例中，所述工控机用于接收真空计检测的真空度参数，根据所述真空度参数计算所述调速阀门结构的抽气口的开度参数，根据所述开度参数控制所述驱动机构，通过所述间接传动装置驱动所述真空阀板进行移动，以调整所述抽气口的开度大小。
[0030]上述调速阀门结构、真空腔室及真空镀膜机，由阀门腔体构成真空密封空间，整个调速阀门结构只有上连接件和下连接件需要进行密封设计，而真空阀板完全内置于真空密
封的阀门腔体内，间接传动装置与真空阀板通过非接触方式连接，避免了与周围部件的连接，驱动机构设于真空环境之外，在驱动真空阀板移动时，该技术方案具有更高的真空度调整速度，减少了需要真空密封的部件，降低了整体设备的成本，并提升了真空腔室的真空密封效果。
附图说明
[0031]图1是一个实施例的调速阀门结构示意图；
[0032]图2是一个示例的真空阀板移动示意图；
[0033]图3是一个示例的真空阀板运动位置检测结构示意图；
[0034]图4是一个示例的磁力装置示意图；
[0035]图5是另一个实施例的调速阀门结构示意图；
[0036]图6是一个示例的调速阀门结构安装示意图；
[0037]图7是一个示例的真空腔室结构示意图；
[0038]图8是一个示例的真空镀膜机的电气结构图。
具体实施方式
[0039]为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0040]参考图1所示，图1是一个实施例的调速阀门结构示意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调速阀门结构，应用于真空腔室，其特征在于，包括：真空密封的阀门腔体，设于阀门腔体内的真空阀板，以及设于所述阀门腔体外部的驱动机构和间接传动装置；所述阀门腔体上设有抽气口，其中，所述抽气口两侧面上设有上连接件和下连接件；所述上连接件用于与真空腔室密封连接，所述下连接件用于与分子泵密封连接；所述驱动机构连接所述间接传动装置，所述间接传动装置与所述真空阀板通过非接触方式连接；所述驱动机构驱动间接传动装置进行运动，所述间接传动装置以非接触方式驱动所述真空阀板进行移动，调整所述抽气口的开度大小。2.根据权利要求1所述的调速阀门结构，其特征在于，所述间接传动装置一端上设有第一磁力装置，所述真空阀板上设有第二磁力装置；其中，所述第一磁力装置与第二磁力装置之间由所述阀门腔体的外壳相隔，并相互产生磁吸作用。3.根据权利要求2所述的调速阀门结构，其特征在于，所述驱动机构包括设于阀门腔体外部的线性模组；其中，所述线性模组的运动方向与所述真空阀板的移动方向平行，所述间接传动装置连接在所述线性模组的滑块上。4.根据权利要求3所述的调速阀门结构，其特征在于，所述间接传动装置包括连接在所述滑块上且垂直于线性模组的运动方向的横杆；其中，所述横杆的两端上分别设有一个所述第一磁力装置，所述真空阀板上与所述第一磁力装置相对应的位置上分别设有一个第二磁力装置。5.根据权利要求4所述的调速阀门结构，其特征在于，所述阀门腔体的外壳在与所述第一磁力装置相对应的位置处设有限位槽，所述第一磁力装置卡入...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋毅，刘伟基，冀鸣，易洪波，陆其彬，赵刚，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：