一种轻质化的硅片批量吸取装置制造方法及图纸

本申请涉及太阳能硅片加工设备技术领域，尤其是一种轻质化的硅片批量吸取装置。一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座和若干连接于紧固基座的硅片吸盘片，所述硅片吸盘片包括吸盘底座和可拆卸连接于吸盘底座的硅片吸盘单元件，所述吸盘底座为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件为碳纤维材质；所述紧固基座可拆卸连接有若干固定杆件；所述固定杆件连接有总气管；单个所述硅片吸盘片均与总气管相连通。本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种轻质化的硅片批量吸取装置


[0001]本申请涉及太阳能硅片加工设备
，尤其是涉及一种轻质化的硅片批量吸取装置。

技术介绍

[0002]在太阳能硅片的生产加工过程中，会涉及到PECVD镀膜工段，PECVD镀膜工段对太阳能硅片电池有着较大的影响，经过PECVD镀膜工段处理后太阳能硅片电池的太阳能转化率有所提高改善。
[0003]在PECVD镀膜工序加工过程中，需要用到石墨舟。石墨舟作为硅片加工载体可把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于其石墨舟中对转运的硅片进行高温烧结成型。具体工作原理如下：将未镀膜的硅片通过硅片批量吸取装置放在石墨舟片的卡点上，每个石墨舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，通过硅片批量吸取装置将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0004]目前，现有的石墨舟硅片批量吸取装置中包括紧固基座和若干硅片吸盘片，正常来说根据每个石墨舟片上可放固定数量硅片的不同，连接于紧固基座的硅片吸盘片数量在16
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32片。硅片吸盘片通常是采用模具钢或者铝合金加工而成，因而会存以下问题，硅片批量吸取装置整体质量偏重，与硅片批量吸取装置连接的机器人负重较大，不仅影响整体操作的精度，进而影响硅片电池的质量，而且整体的生产能耗偏大。

技术实现思路

[0005]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种轻质化的硅片批量吸取装置。
[0006]本申请提供的一种轻质化的硅片批量吸取装置，是通过以下技术方案得以实现的：一种轻质化的硅片批量吸取装置，包括紧固基座和若干连接于紧固基座的硅片吸盘片，所述硅片吸盘片包括吸盘底座和可拆卸连接于吸盘底座的硅片吸盘单元件，所述吸盘底座为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件为碳纤维材质；所述紧固基座可拆卸连接有若干固定杆件；所述固定杆件连接有总气管；单个所述硅片吸盘片均与总气管相连通。
[0007]通过采用上述技术方案，本申请整体的质量相对较轻盈，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
[0008]优选的，所述吸盘底座长度方向的一侧面形成有嵌合槽；所述吸盘底座背向嵌合槽的侧面贯穿开设有若干第一紧固孔位；所述硅片吸盘单元件一体成型有若干第二紧固孔位；当所述硅片吸盘单元件嵌合于吸盘底座的嵌合槽，所述第一紧固孔位与第二紧固孔位重合，通过螺栓将吸盘底座和硅片吸盘单元件可拆卸且固定连接在一起形成硅片吸盘片。
[0009]通过采用上述技术方案，便于碳纤维材质的硅片吸盘单元件可拆卸且固定连接于吸盘底座形成硅片吸盘片整体，降低了硅片吸盘片整体的整体质量，进而降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
[0010]优选的，所述吸盘底座宽度方向的侧面开设有调整空槽；所述吸盘底座底部宽度方向两侧形成有调整块；所述调整块沿自身长度方向贯穿开设有形变空间；所述吸盘底座贯穿开设有与调整空槽、形变空间连通的微调孔位；所述微调孔位螺纹连接有模具钢材质的调节螺栓；所述调整块的底面开设有与形变空间连通的第一螺纹通孔；所述形变空间内垫衬有钢制垫片，所述钢制垫片位于调节螺栓的锥头的正下方；所述调整块的底面开设有与形变空间连通的第二螺纹通孔；所述第二螺纹通孔竖直向上的投影不与钢制垫片竖直向上的投影重合；所述吸盘底座底面开设有第三螺纹通孔；所述第三螺纹通孔和第二螺纹通孔同轴且直径相等，紧固基座底部通过螺栓螺纹连接吸盘底座的第三螺纹通孔和第二螺纹通孔，将紧固基座和硅片吸盘片可拆卸且固定连接在一起。
[0011]本申请可通过模具钢材质的调节螺栓较为快速校准调整硅片吸盘片整体与紧固基座的垂直度，进而保证硅片吸取质量，降低破片概率。
[0012]优选的，所述吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；所述气道A与总气管相连通；所述吸盘底座上表面形成有与气道A连通的气道B；所述硅片吸盘单元件包括硅片吸盘单元主体、陶瓷吸嘴、吸管组件，所述陶瓷吸嘴连接于硅片吸盘单元主体；所述吸管组件与陶瓷吸嘴、气道B相连通。
[0013]通过采用上述技术方案，可保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
[0014]优选的，所述硅片吸盘单元件沿自身长度方向一体成型有两个吸嘴容纳槽，且两个所述吸嘴容纳槽分别位于硅片吸盘单元件长度方向的两端侧；所述硅片吸盘单元件一体成型有四个吸嘴安装槽；单个所述吸嘴容纳槽与两个所述吸嘴安装槽相连通；所述陶瓷吸嘴设置于吸嘴容纳槽内；所述陶瓷吸嘴周侧铰接有四根平衡弹簧；四根所述平衡弹簧均布于陶瓷吸嘴周侧形成“X”字型；单个所述平衡弹簧一端铰接于陶瓷吸嘴周侧，另一端铰接于硅片吸盘单元主体的吸嘴安装槽周侧形成的铰接孔。
[0015]通过采用上述技术方案，便于陶瓷吸嘴安装于硅片吸盘单元主体，保证陶瓷吸嘴安装稳定性，进而保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
[0016]优选的，所述吸管组件包括第一吸管组件和第二吸管组件，所述第一吸管组件连通于设置于同一吸嘴容纳槽中的两个陶瓷吸嘴；所述第二吸管组件一端连通于吸盘底座的气道B，且另一端连通于与吸盘底座相邻的陶瓷吸嘴。
[0017]通过采用上述技术方案，可保证硅片吸盘片的硅片吸取质量。
[0018]优选的，所述第一吸管组件和第二吸管组件结构相同；以第一吸管组件为例，包括气管和气管接头，所述气管接头分别固定连通于气管的两端；第一吸管组件中的所述气管接头胶接连通于陶瓷吸嘴；第二吸管组件中的气管一端的气管接头胶接连通于陶瓷吸嘴，另一端的气管接头胶接连通于吸盘底座的气道B。
[0019]通过采用上述技术方案，所制备的硅片吸盘单元件成本相对较低且也便于批量化加工生产。
[0020]优选的，所述硅片吸盘单元件主要是由上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、0
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树脂浸渍碳纤维布、90
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树脂浸渍碳纤维布热压成型制备；所述0
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树脂浸渍碳纤维布一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布之间；所述90
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树脂浸渍碳纤维布一体形成于上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布之间。
[0021]通过采用上述技术方案，硅片吸盘单元件为碳纤维材质，降低了硅片吸盘片整体的整体质量，进而降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
[0022]优选的，所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布和下层经纬编树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和经纬编碳纤维布制成；所述0
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树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和0
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碳纤维制成；所述90
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树脂浸渍碳纤维布是由环氧浸渍树脂和90
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碳纤维制成；所述上层经纬编树脂浸渍碳纤维布、下层经纬编树脂浸渍碳纤维布、0
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树脂浸渍碳纤维布、90本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：包括紧固基座（1）和若干连接于紧固基座（1）的硅片吸盘片（2），所述硅片吸盘片（2）包括吸盘底座（21）和可拆卸连接于吸盘底座（21）的硅片吸盘单元件（22），所述吸盘底座（21）为铝制或者铝合金材质；所述硅片吸盘单元件（22）为碳纤维材质；所述紧固基座（1）可拆卸连接有若干固定杆件（3）；所述固定杆件（3）连接有总气管（4）；单个所述硅片吸盘片（2）均与总气管（4）相连通。2.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）长度方向的一侧面形成有嵌合槽（210）；所述吸盘底座（21）背向嵌合槽（210）的侧面贯穿开设有若干第一紧固孔位（213）；所述硅片吸盘单元件（22）一体成型有若干第二紧固孔位（224）；当所述硅片吸盘单元件（22）嵌合于吸盘底座（21）的嵌合槽（210），所述第一紧固孔位（213）与第二紧固孔位（224）重合，通过螺栓将吸盘底座（21）和硅片吸盘单元件（22）可拆卸且固定连接在一起形成硅片吸盘片（2）。3.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）宽度方向的侧面开设有调整空槽（214）；所述吸盘底座（21）底部宽度方向两侧形成有调整块（215）；所述调整块（215）沿自身长度方向贯穿开设有形变空间（216）；所述吸盘底座（21）贯穿开设有与调整空槽（214）、形变空间（216）连通的微调孔位（217）；所述微调孔位（217）螺纹连接有模具钢材质的调节螺栓（218）；所述调整块（215）的底面开设有与形变空间（216）连通的第一螺纹通孔（2151）；所述形变空间（216）内垫衬有钢制垫片（2152），所述钢制垫片（2152）位于调节螺栓（218）的锥头的正下方；所述调整块（215）的底面开设有与形变空间（216）连通的第二螺纹通孔（2153）；所述第二螺纹通孔（2153）竖直向上的投影不与钢制垫片（2152）竖直向上的投影重合；所述吸盘底座（21）底面开设有第三螺纹通孔（219）；所述第三螺纹通孔（219）和第二螺纹通孔（2153）同轴且直径相等，紧固基座（1）底部通过螺栓螺纹连接吸盘底座（21）的第三螺纹通孔（219）和第二螺纹通孔（2153），将紧固基座（1）和硅片吸盘片（2）可拆卸且固定连接在一起。4.根据权利要求1所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸盘底座（21）内部沿自身长度方向形成有气道A（211）；所述气道A（211）与总气管（4）相连通；所述吸盘底座（21）上表面形成有与气道A（211）连通的气道B（212）；所述硅片吸盘单元件（22）包括硅片吸盘单元主体（220）、陶瓷吸嘴（221）、吸管组件（222），所述陶瓷吸嘴（221）连接于硅片吸盘单元主体（220）；所述吸管组件（222）与陶瓷吸嘴（221）、气道B（212）相连通。5.根据权利要求4所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述硅片吸盘单元件（22）沿自身长度方向一体成型有两个吸嘴容纳槽（225），且两个所述吸嘴容纳槽（225）分别位于硅片吸盘单元件（22）长度方向的两端侧；所述硅片吸盘单元件（22）一体成型有四个吸嘴安装槽（23）；单个所述吸嘴容纳槽（225）与两个所述吸嘴安装槽（23）相连通；所述陶瓷吸嘴（221）设置于吸嘴容纳槽（221）内；所述陶瓷吸嘴（221）周侧铰接有四根平衡弹簧（223）；四根所述平衡弹簧（223）均布于陶瓷吸嘴（221）周侧形成“X”字型；单个所述平衡弹簧（223）一端铰接于陶瓷吸嘴（221）周侧，另一端铰接于硅片吸盘单元主体（220）的吸嘴安装槽（23）周侧形成的铰接孔（226）。6.根据权利要求4或5所述的一种轻质化的硅片批量吸取装置，其特征在于：所述吸管组件（222）包括第一吸管组件（2221）和第二吸管组件（2222），所述第一吸管组件（2221）连通于设置于同一吸嘴容纳槽（221）中的两个陶瓷吸嘴（221）；所述第二吸管组件（2222）一端
连通于吸盘底座（21）的气道B（212），且另一端连通于与吸盘底座（21）相邻的陶瓷吸嘴（221）。7.根据权利要求6所述的一种轻质...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔剑雷，吕群锋，施鲁鸣，胡丹辉，
申请(专利权)人：嘉兴市耐思威精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：