防横杆热变形的基片架制造技术

本实用新型专利技术涉及一种防横杆热变形的基片架，具体用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持。它具有基片架竖框和横杆以及带螺纹孔的横杆固定块和配套的螺栓，横杆两端分别设有长腰形孔，横杆固定块可活动地安装在长腰形孔内，横杆两端通过横杆固定块和配套的螺栓固定在基片架竖框上。该基片架的横杆固定后，横杆固定块与长腰形孔之间留有最少７ｍｍ的空间，加热后横杆可伸长至少１４ｍｍ左右，镀膜时玻璃基片运行速度均匀，合格率提升５％左右，废损率下降０．３５％左右，产能提高９．３５％。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种防横杆热变形的基片架，具体用于导电玻璃进行表 面镀膜时对玻璃基片的夹持。
技术介绍
导电玻璃通过磁控溅射镀膜仪镀膜时，尤其是镀IT0陶瓷耙时，真空室必须加热到40(TC左右，横杆等用铝合金或钛制成，在加热后会发生热膨胀，经计算，长1500mm左右的横杆在400"C左右温度下，长度方向将伸长约12mm。在生产过程中，横杆两端由于紧固后，横杆加热时长度方向无法自由伸长，伸长的横杆必然造成横杆中间向外侧弓曲变形。由于横杆弓曲变形，基片架在传输过程中，横杆与真空室内的加热器、隔热屏，隔离门阀框等发生刮擦，造成镀膜时基片速度不均匀，薄膜膜厚与ITO方块电阻值发生微量不均匀，合格率受到较大影响。严重时基片架还会卡在真空室内，造成全线停产停机处理，并造成大量的废品。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了解决由于在真空室加热时横 杆容易弓曲变形，导致导电玻璃镀膜时基片速度不均匀，合格率受到较大影 响，甚至造成大量废品的问题，本技术提供了一种防横杆热变形的基片架。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是 一种防横杆热变 形的基片架，用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基 片架竖框和横杆，其特征是还具有带螺纹孔的横杆固定块和配套的螺 栓，横杆两端分别设有长腰形孔，横杆固定块可活动地安装在长腰形孔内，横杆两端通过横杆固定块和配套的螺栓固定在基片架竖框上。进一步地，横杆固定块具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰形孔内，小端宽度为7mm，长腰形孔的长度最小为14mm。即横杆固定块 与长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后可保证横杆总伸长最少 14mm。本技术的有益效果是；该基片架的横杆固定后，横杆固定块与长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后横杆可伸长至少14mm左右，镀膜时玻璃基片运行速度均匀，合格率提升5%左右，废损率下降0.35%左右，产能提高9. 35%。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。 附图说明图1是本技术的结构示意图； 图2是图1的俯视图。其中l.基片架竖框，2.横杆，3.横杆固定块，4.螺栓，5.长腰形孔。具体实施方式如图1、 2所示， 一种防横杆热变形的基片架，用于导电玻璃进行表 面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基片架竖框1和横杆2，还具有带螺 纹孔的横杆固定块3和配套的螺栓4，横杆2两端分别设有长腰形孔5， 横杆固定块3具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰形孔5内，横 杆2两端通过横杆固定块3和配套的螺栓4固定在基片架竖框1上，固 定后，横杆固定块3的大端盖在横杆2的长腰形孔5上，比横杆2高出 lmm，同时，小端宽度为7mm，长腰形孔5的宽度为8mm，长腰形孔5的 长度最小为14mm，即横杆固定块3与长腰形孔5之间留有最少7mm的空间，加热后可保证横杆2总伸长最少14mm。经过这样的改进后，导电玻 璃基片镀膜时运行速度均匀，均匀性得到保证，合格率提高了5%左右， 废损率下降0. 35%左右，产能提高9. 35%。权利要求1.一种防横杆热变形的基片架，用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基片架竖框(1)和横杆(2)，其特征是还具有带螺纹孔的横杆固定块(3)和配套的螺栓(4)，横杆(2)两端分别设有长腰形孔(5)，横杆固定块(3)可活动地安装在长腰形孔(5)内，横杆(2)两端通过横杆固定块(3)和配套的螺栓(4)固定在基片架竖框(1)上。2. 根据权利要求1所述的防横杆热变形的基片架，其特征是所述的 横杆固定块(3)具有大端和小端，小端可活动地安装在长腰形孔(5)内， 小端宽度为7mm，长腰形孔(5)的长度最小为14mm。专利摘要本技术涉及一种防横杆热变形的基片架，具体用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持。它具有基片架竖框和横杆以及带螺纹孔的横杆固定块和配套的螺栓，横杆两端分别设有长腰形孔，横杆固定块可活动地安装在长腰形孔内，横杆两端通过横杆固定块和配套的螺栓固定在基片架竖框上。该基片架的横杆固定后，横杆固定块与长腰形孔之间留有最少7mm的空间，加热后横杆可伸长至少14mm左右，镀膜时玻璃基片运行速度均匀，合格率提升5％左右，废损率下降0.35％左右，产能提高9.35％。文档编号C23C14/34GK201343498SQ200920037428公开日2009年11月11日 申请日期2009年2月13日 优先权日2009年2月13日专利技术者冯新伟 申请人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防横杆热变形的基片架，用于导电玻璃进行表面镀膜时对玻璃基片的夹持，具有基片架竖框（１）和横杆（２），其特征是：还具有带螺纹孔的横杆固定块（３）和配套的螺栓（４），横杆（２）两端分别设有长腰形孔（５），横杆固定块（３）可活动地安装在长腰形孔（５）内，横杆（２）两端通过横杆固定块（３）和配套的螺栓（４）固定在基片架竖框（１）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯新伟，
申请(专利权)人：江苏津通先锋光电显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]