【技术实现步骤摘要】
一种钛钨合金靶板及其制备方法和应用
[0001]本申请是申请日为2021年12月24日、申请号为202111594983.2、专利技术名称为《钛钨合金靶板的加工工艺》的分案申请。
[0002]本专利技术涉及合金靶板加工领域,特别是一种钛钨合金靶板及其制备方法和应用。
技术介绍
[0003]随着溅射技术的日益完善,真空溅射镀膜技术得到了很大的发展。相应的阴极靶材也得到了较大的发展,不断涌现各种纯金属靶板及各种不同配比的合金靶板。真空镀膜行业主要有两种用途:分别为功能镀及装饰镀。钛钨做为一种难熔金属,既可以做为装饰镀,如不同的颜色又可以做为功能镀,如高的反射率。手机、显示屏、半导体等。Ti
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20W钛钨合金靶板做为一种具有特殊功能的阴极靶,广泛应用于LED氧化铝基板的打底镀膜中。它具有高的附着率和高的镀率。钛钨熔点相差很大(钛1668℃,钨3400℃)给合金的制作带来了极大的难度。粉末冶金方法,其烧结温度不容易掌握往往出现钨夹生、偏析等缺陷,使镀膜过程不稳定,膜的良率差。Ti
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20W钛钨合金靶材的制作在国内属于空白。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的是为了解决上述问题,设计了一种钛钨合金靶板及其制备方法和应用。
[0005]实现上述目的本专利技术的技术方案为,一种钛钨合金靶板的制备方法。
[0006]一种钛钨合金靶板的制备方法,包含以下步骤:
[0007]S1:Ti
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20W钛钨合金靶板采用真空电弧熔炼制作铸 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钛钨合金靶板的制备方法,包含以下步骤:S1:Ti
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20W钛钨合金靶板采用真空电弧熔炼制作铸锭;S2:选取一定厚度的纯度为99.7%的纯钛板,超薄纯钨片,按照81:19的比例分多层配制电极棒;所述电极棒的层数大于30层;所述电极棒的电极尺寸对角线小于280mm;所述超薄纯钨片为纯度为99.95%的超薄纯钨片;S3:组焊好电极,采用高真空度,高电流密度的大功率3吨真空自耗电弧炉熔炼;S4:钨含量为19~21%,且三处分析钛钨合金板中钨含量相差不超过5%;S5:对铸锭锻造开坯,制成80~100mm厚板坯,刨面后的板坯进行热轧,所用轧机轧制力大于1000吨;S6:靶板轧制后的板退火矫直处理;S7:轧制后的靶板下料中断,进...
【专利技术属性】
技术研发人员:李玉儒,李丽雯,马小红,汪洋,李文儒,
申请(专利权)人:宝鸡市亨信稀有金属有限公司,
类型:发明
国别省市:
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