一种悬臂件的钻孔方法技术

本发明专利技术公开了一种悬臂件的钻孔方法，包括：在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林；将掩模覆盖在悬臂件的表面，其中，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应；对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，其中，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林。采用本发明专利技术的技术方案能够有效避免在钻孔过程中产生金属毛刺，并且有效防止悬臂件发生型变。并且有效防止悬臂件发生型变。并且有效防止悬臂件发生型变。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂件的钻孔方法


[0001]本专利技术涉及计算机磁头制造
，尤其涉及一种悬臂件的钻孔方法。

技术介绍

[0002]悬臂件是计算机硬盘中的重要零部件，它具备前端的舌片用以承载磁头，并且具备后端的铆合部，使多个悬臂件相互连接，形成悬臂件组合，因而其表面需要形成多个用来焊接的通孔。该通孔在实际加工过程中，通常是采用钻孔冲压的方法形成，导致其截面会形成金属毛刺，如果在硬盘工作中掉落金属残渣，将会直接划伤硬盘，而且在钻孔冲压的过程中，由于金属受到力的影响，往往其表面会造成型变，影响磁头的工作效果。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种悬臂件的钻孔方法，能够有效避免在钻孔过程中产生金属毛刺，并且有效防止悬臂件发生型变。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种悬臂件的钻孔方法，包括：
[0005]在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林；
[0006]将掩模覆盖在悬臂件的表面，其中，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应；
[0007]对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；
[0008]将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，其中，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；
[0009]去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林。
[0010]进一步地，显影时使用的显影液为质量比为0.8％～1.2％的碳酸钠溶液。
[0011]进一步地，刻蚀时使用的气体为由CF4和O2以4:1的比例组成的混合气体，所述混合气体的流量为2000sccm～2500sccm。
[0012]进一步地，刻蚀时的源功率为1500W～2000W，偏置功率为100W～120W。
[0013]进一步地，刻蚀时间为40min～60min。
[0014]进一步地，所述去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林，具体包括：
[0015]将刻蚀后的悬臂件放置在6％～10％的氢氧化钠溶液中浸泡20min；
[0016]使用去离子水对浸泡后的悬臂件进行清洗，以去除悬臂件表面的菲林。
[0017]与现有技术相比，本专利技术实施例提供了一种悬臂件的钻孔方法，首先，在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林，并将掩模覆盖在悬臂件的表面，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应，接着，对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；然后，将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；最后，去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林；本专利技术实施例能够有效避免在钻孔过程中产生金属毛刺，并且有效防止悬臂件发生型
变。
附图说明
[0018]图1是本专利技术提供的一种悬臂件的钻孔方法的一个优选实施例的流程图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本
普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]本专利技术实施例提供了一种悬臂件的钻孔方法，参见图1所示，是本专利技术提供的一种悬臂件的钻孔方法的一个优选实施例的流程图，所述方法包括步骤S11至步骤S15：
[0021]步骤S11、在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林；
[0022]步骤S12、将掩模覆盖在悬臂件的表面，其中，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应；
[0023]步骤S13、对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；
[0024]步骤S14、将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，其中，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；
[0025]步骤S15、去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林。
[0026]在具体实施时，首先，在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林，并准备和悬臂件相匹配的掩模(MASK)，将掩模覆盖在涂覆菲林后的悬臂件的表面，该掩模上预先设置了镂空的图形区域，图形区域的大小与悬臂件表面上的待钻孔的通孔区域的大小相同，并且将掩模覆盖在悬臂件表面时，保证掩模上的图形区域的位置与悬臂件表面上的通孔区域的位置相对应；接着，使用紫外灯照射悬臂件的表面，对悬臂件表面上的通孔区域进行曝光和显影，使得通孔区域内对应的菲林可以被显影液冲洗干净，露出悬臂件的不锈钢表面，即经过曝光显影后，露出悬臂件表面上的通孔区域，而悬臂件表面的非通孔区域内的菲林被保留下来，非通孔区域被菲林覆盖，保护起来；然后，将曝光显影后的悬臂件放置在真空室内，将真空室内的压强控制在20mtorr～25mtorr范围内，温度控制在20℃～25℃范围内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，从而在悬臂件表面上的通孔区域处形成相应的通孔；最后，将离子刻蚀后的悬臂件表面上残余的菲林去除。
[0027]需要说明的是，在对悬臂件的表面进行离子刻蚀时，可以是对整个悬臂件的表面进行离子刻蚀，此时，由于悬臂件表面上的通孔区域被露出，属于重点刻蚀区域，直至形成通孔，而悬臂件表面上的非通孔区域由于被保护膜(即菲林)覆盖，刻蚀较少；也可以是专门针对悬臂件表面上的通孔区域进行离子刻蚀，直至形成通孔。
[0028]作为上述方案的改进，显影时使用的显影液为质量比为0.8％～1.2％的碳酸钠溶液。
[0029]具体的，结合上述实施例，在对悬臂件表面上的通孔区域进行曝光和显影时，所使用的显影液为质量比为0.8％～1.2％的碳酸钠溶液，该碳酸钠溶液可以将悬臂件表面上的通孔区域内对应的菲林冲洗干净。
[0030]作为上述方案的改进，刻蚀时使用的气体为由CF4和O2以4:1的比例组成的混合气体，所述混合气体的流量为2000sccm～2500sccm。
[0031]具体的，结合上述实施例，在对悬臂件的表面进行离子刻蚀时，所使用的气体为由CF4和O2以4:1的比例组成的混合气体，并且在实际离子刻蚀过程中，向真空室内通入的该混合气体的流量在2000sccm～2500sccm范围内。
[0032]作为上述方案的改进，刻蚀时的源功率为1500W～2000W，偏置功率为100W～120W。
[0033]具体的，结合上述实施例，在对悬臂件的表面进行离子刻蚀时，机器本身提供的源功率在1500W～2000W范围内，向悬臂件施加的偏置功率在100W～120W范围内。
[0034]作为上述方案的改进，刻蚀时间为40min～6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂件的钻孔方法，其特征在于，包括：在待钻孔的悬臂件的表面上涂覆菲林；将掩模覆盖在悬臂件的表面，其中，所述掩模上的图形区域的大小与悬臂件表面上的通孔区域的大小相同，所述图形区域的位置与所述通孔区域的位置相对应；对所述通孔区域进行曝光和显影，以去除所述通孔区域内的菲林；将悬臂件放置在真空室内，对悬臂件的表面进行离子刻蚀，以在所述通孔区域形成通孔，其中，所述真空室内的压强为20mtorr～25mtorr，温度为20℃～25℃；去除刻蚀后的悬臂件表面的菲林。2.如权利要求1所述的悬臂件的钻孔方法，其特征在于，显影时使用的显影液为质量比为0.8％～1.2％的碳酸钠溶液。3.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊群，
申请(专利权)人：东莞新科技术研究开发有限公司，
类型：发明
国别省市：