一种零件清洗设备制造技术

本发明专利技术涉及半导体制造领域，公开了一种零件清洗设备，包括承托底座、架设于承托底座上的承托顶板和设于承托底座上的碾磨结构和除尘结构，除尘结构包括安装于承托底座上的除尘气缸、转动安装于除尘气缸输出轴的除尘管柱、固定于承托顶板底部的空心盘、若干根安装于空心盘底部的圆周边缘的除尘管体，空心盘和除尘管体周侧设有若干个喷口，空心盘和除尘管体上的若干个喷口均朝向待磨腔体。本申请具有改善手动用水枪对腔体冲洗而导致工作效率低下的效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种零件清洗设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，尤其是涉及一种零件清洗设备。

技术介绍

[0002]面板和半导体制造工艺过程中，制造设备均朝向成本节约和使用效率最大化的方向发展。目前国内广泛采用PVD溅射工艺，通过导入工作气体产生等离子体碰撞溅射靶材，这样子使得作为被加工物衬底上及腔体内壁上形成薄膜。
[0003]PVD溅射工艺长期使用下来，腔体内的颗粒附着物会大量超标而使得产品良率下降。为了改善腔体内部洁净度问题，现目前采用物理碾磨清洁法的方式进行改善，步骤如下：1、碾磨清洁前的腔体内外壁进行粗糙度Ra测量；2、采用碾磨机对整个腔体进行粗磨；3、粗磨后产生的颗粒粉尘进行清洗；4、采用强光手电筒照射法对整个腔室进行精磨；5、精磨后对整个腔体角落进行吹吸尘；6、采用十级API无尘布无死角清洁至无尘布看不到印记为止。
[0004]针对上述的相关技术，专利技术人认为现目前采用碾磨机对腔体粗磨之后的清洗步骤都是操作工自己手动用水枪进行冲洗，使得工作效率低下。

技术实现思路

[0005]为了改善手动用水枪对腔体进行冲洗而导致工作效率低下的问题，本申请提供一种零件清洗设备。
[0006]本申请提供的一种零件清洗设备，采用如下的技术方案：一种零件清洗设备，包括承托底座、架设于所述承托底座上的承托顶板、设于承托底座上的碾磨结构和除尘结构，除尘结构包括安装于所述承托底座上的除尘气缸、转动安装于除尘气缸输出轴的除尘管柱、固定于所述承托顶板底部的空心盘、若干根安装于所述空心盘底部的圆周边缘的除尘管体，所述空心盘和所述除尘管体周侧设有若干个喷口，所述空心盘和所述除尘管体上的若干个喷口均朝向待磨腔体。
[0007]通过采用上述技术方案，空心盘、除尘管体和除尘管柱通过注液设备灌注清洗液，达到空心盘、除尘管体和除尘管柱通过清洗液对待磨腔体内外表面进行全面冲洗清洁的效果。
[0008]可选的，承托底座上设有用于使得待磨腔体可旋转的旋转组件，所述旋转组件包括转动安装于所述除尘管柱周侧的承托环、若干根固定于承托环周侧的承托板、固定于承托板远离承托环的端部用于承托待磨腔体的弧形槽板；所述承托顶板上设有用于驱动待磨腔体旋转的驱动组件。
[0009]通过采用上述技术方案，弧形槽板通过承托环使得待磨腔体可转动于输送管道周侧，使得空心盘、除尘管体和除尘管柱能对待磨腔体内外表面的各个角落进行清洗。
[0010]可选的，所述驱动组件包括穿设于承托顶板的驱动杆、若干根固定于所述驱动杆端部的除尘顶针、安装于所述承托顶板顶面的除尘电机、同轴固定于所述驱动杆顶端的锥
齿轮一、同轴固定于所述除尘电机输出轴的锥齿轮二；所述除尘顶针尖端抵接于待磨腔体外表面，所述锥齿轮一和锥齿轮二相啮合。
[0011]通过采用上述技术方案，除尘电机通电启动并通过锥齿轮一和锥齿轮二带动驱动杆转动，驱动杆通过横杆带动横杆两端的除尘顶针转动，以此达到除尘顶针带动待磨腔体旋转的效果。
[0012]可选的，所述碾磨结构包括固定于所述承托底座上的升降气缸、通过传动轴转动于所述升降气缸输出轴的碾磨柱、转动安装于所述承托顶板底部的碾磨筒；所述待磨腔体设于所述碾磨柱外表面和所述碾磨筒内表面之间，所述碾磨柱外表面和所述碾磨筒内表面均为粗糙磨砂面，所述承托底座上设有用于驱动所述碾磨筒旋转的动力组件。
[0013]通过采用上述技术方案，动力组件启动并带动碾磨筒旋转，以此达到碾磨筒能够待磨腔体外表面的各个角落进行打磨的效果，从而降低磨腔体外壁的附着物。
[0014]可选的，所述碾磨柱下设有用于承托所述待磨腔体的承托组件，所述承托组件包括抵接于所述待磨腔体的承托圆箍、转动安装于所述传动轴周侧的驱动圆环、若干根固定于驱动圆环与承托圆箍之间的弧形板、架设于所述碾磨筒上方的碾磨气缸、固定于碾磨气缸输出轴的碾磨顶针，所述碾磨顶针抵接于所述待磨腔体外表面。
[0015]通过采用上述技术方案，将待磨腔体套设于碾磨柱外围，直至待磨腔体底端与承托圆箍顶面相抵接，碾磨气缸启动并驱动碾磨顶针抵接至待磨腔体外表面，此时待磨腔体固定于承托圆箍和碾磨顶针之间，待磨腔体不易随着碾磨筒和碾磨柱的旋转而旋转，从而达到碾磨筒和碾磨柱打磨效果更佳的效果。
[0016]可选的，所述承托圆箍靠近所述待磨腔体的表面为粗糙磨砂面，所述碾磨气缸外设有用于驱动承托圆箍和碾磨柱旋转的传动组件，所述传动组件包括安装于所述升降气缸输出轴的承托面板、转动于所述承托面板上的第一齿轮和第二齿轮、安装于所述承托面板上的驱动电机，所述驱动圆环和传动轴分别与第一齿轮和第二齿轮相啮合，所述驱动电机输出轴穿过第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮和第二齿轮内均设有驱动自身单向旋转的单向结构。
[0017]通过采用上述技术方案，驱动电机通过单向结构使得第一齿轮转动而第二齿轮不转动，此时驱动电机通过第一齿轮带动承托圆箍旋转，以此实现承托圆箍的粗糙磨砂面打磨待磨腔体底端的圆周边缘的效果。驱动电机通过单向结构使得第二齿轮转动而第一齿轮不转动，此时驱动电机通过第二齿轮带动碾磨柱旋转，以此实现碾磨柱分别将待磨腔体内表面进行打磨的效果。
[0018]可选的，所述单向结构包括设于所述第一齿轮和所述第二齿轮的内周面一圈的棘齿、安装于所述驱动电机输出轴的限位筒、穿设于所述限位筒内的限位块、固定于所述限位块与所述限位筒之间的弹簧；所述第一齿轮和第二齿轮内的棘齿斜面的倾斜方向相反，所述限位块的斜面与棘齿的斜面相贴合。
[0019]通过采用上述技术方案，驱动电机带动第一齿轮和第二齿轮内的限位块顺时针旋转，第一齿轮内的限位块和棘齿的直角面相贴合，第二齿轮内的限位块和棘齿的斜面相贴合，达到第一齿轮内的限位块能带动第一齿轮旋转而第二齿轮内的限位块不带动第二齿轮旋转的效果。驱动电机通电带动第一齿轮和第二齿轮内的限位块逆时针旋转，第一齿轮内的限位块和棘齿的斜面相贴合，第二齿轮内的限位块和棘齿的直角面相贴合，达到第一齿
轮内的限位块不带动第一齿轮旋转而第二齿轮内的限位块能带动第二齿轮旋转的效果。
[0020]可选的，所述动力组件包括安装于所述承托顶板的碾磨电机、固定于所述碾磨电机输出轴的碾磨齿轮、固定于碾磨筒周侧的斜面齿圈，所述斜面齿圈与所述碾磨齿轮相啮合。
[0021]通过采用上述技术方案，碾磨电机通过碾磨齿轮能够带动斜面齿圈进行旋转，斜面齿圈能够带动碾磨筒进行旋转，以此实现旋转的碾磨筒将待磨腔体外表面进行打磨的效果。
[0022]可选的，所述碾磨筒周侧设有若干个让位通槽,所述碾磨筒周侧设有用于夹紧待磨腔体的夹紧组件，所述夹紧组件包括通过让位通槽铰接于碾磨筒周侧的限位板、固定于所述限位板远离自身铰接点的限位球，承托顶板底部设有用于驱动若干个所述限位板同步移动的同步组件。
[0023]通过采用上述技术方案，同步组件驱动若干根限位板旋转，限位板带动限位球抵接于待磨腔体外表面，使得待磨腔体固定于碾磨筒内侧，以此实现承托圆箍承托圆箍的粗糙磨砂面打磨待磨腔体底端的圆周边缘的效果更本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种零件清洗设备，包括承托底座(12)、架设于所述承托底座(12)上的承托顶板(13)、设于所述承托底座(12)上的碾磨结构(15)和除尘结构(16)，其特征在于：所述除尘结构(16)包括安装于所述承托底座(12)上的除尘气缸(48)、转动安装于所述除尘气缸(48)输出轴的除尘管柱(50)、固定于所述承托顶板(13)底部的空心盘(55)、若干根安装于所述空心盘(55)底部的圆周边缘的除尘管体(56)，所述空心盘(55)和所述除尘管体(56)周侧设有若干个喷口(57)，所述空心盘(55)和所述除尘管体(56)上的若干个喷口(57)均朝向待磨腔体(64)。2.根据权利要求1所述的一种零件清洗设备，其特征在于：所述承托底座(12)上设有用于使得待磨腔体(64)可旋转的旋转组件，所述旋转组件包括转动安装于所述除尘管柱(50)周侧的承托环(51)、若干根固定于承托环(51)周侧的承托板(52)、固定于承托板(52)远离承托环(51)的端部用于承托待磨腔体(64)的弧形槽板(53)；所述承托顶板(13)上设有用于驱动待磨腔体(64)旋转的驱动组件。3.根据权利要求2所述的一种零件清洗设备，其特征在于：所述驱动组件包括穿设于所述承托顶板(13)的驱动杆(58)、若干根固定于所述驱动杆(58)端部的除尘顶针(60)、安装于所述承托顶板(13)顶面的除尘电机(62)、同轴固定于所述驱动杆(58)顶端的锥齿轮一(61)、同轴固定于所述除尘电机(62)输出轴的锥齿轮二(63)；所述除尘顶针(60)尖端抵接于待磨腔体(64)外表面，所述锥齿轮一(61)和锥齿轮二(63)相啮合。4.根据权利要求1所述的一种零件清洗设备，其特征在于：所述碾磨结构(15)包括固定安装于所述承托底座(12)上的升降气缸(17)、通过传动轴(18)转动于所述升降气缸(17)输出轴的碾磨柱(19)、转动安装于所述承托顶板(13)底部的碾磨筒(35)；所述待磨腔体(64)设于所述碾磨柱(19)外表面和所述碾磨筒(35)内表面之间，所述碾磨柱(19)外表面和所述碾磨筒(35)内表面均为粗糙磨砂面，所述承托底座(12)上设有用于驱动所述碾磨筒(35)旋转的动力组件。5.根据权利要求4所述的一种零件清洗设备，其特征在于：所述碾磨柱(19)下设有用于承托所述待磨腔体(64)的承托组件，所述承托组件包括抵接于所述待磨腔体(64)的承托圆箍(20)、转动安装于所述传动轴(18)周侧的驱动圆环(21)、若干根固定于驱动圆环(21)与承托圆箍(20)之间的弧...

【专利技术属性】
技术研发人员：金巨万，辛长林，阚云峰，王贝，
申请(专利权)人：苏州高芯众科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：