本发明专利技术提供一种废气处理设备、方法、装置和电子设备，属于废气处理技术领域。该设备包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；总进气管、左进气管和切换管的第一端分别与左三通阀连接；右进气管的第一端、厂务排放管的第一端和切换管的第二端分别与右三通阀连接；左进气管上连通有左负压侦测管，右进气管上连通有右负压侦测管，左负压侦测管的自由端、右负压侦测管的自由端和总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接；左进气管的第二端与左反应腔连通，右进气管的第二端与右反应腔连通，总侦测管的第二端与负压侦测装置连通。该设备可以降低双宕机事故发生率。该设备可以降低双宕机事故发生率。该设备可以降低双宕机事故发生率。
【技术实现步骤摘要】
一种废气处理设备、方法、装置和电子设备
[0001]本专利技术涉及废气处理
，尤其涉及一种废气处理设备、方法、装置和电子设备。
技术介绍
[0002]半导体行业生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理系统及设备是生产工艺中不可分割的组成部分。
[0003]相关技术中，双腔废气处理设备有两个腔体，但是两个腔体共用一个负压侦测管，半导体制程过程中的粉尘和水珠湿气容易造成负压侦测管堵塞，这种情况在半导体特殊制程工艺中十分容易发生，如对于金属等制程气体，在温度较低的情况下生成粉尘较多，负压侦测管堵塞就会变得比较频繁，往往每天都会发生负压升高的情况。而当负压侦测管发生堵塞时，会造成双腔废气处理设备的双宕事故，双宕事故后生产进程立即停止会对芯片造成损害，从而造成巨大的损失；双宕事故后生产进程延时停止则需要将有害气体进行厂务排放，这会严重污染环境、影响人员身体健康。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种废气处理设备、方法、装置和电子设备，用以解决现有技术中两个反应腔公用一个负压侦测管，负压侦测管堵塞时，两个反应腔会同时宕机的问题，实现设置两个负压侦测管来切换侦测进入不同反应腔的废气的负压数据，从而在一个负压侦测管堵塞时，可以切换另一个反应腔进行废气处理，极大的降低了双宕机事故的发生率。
[0005]本专利技术提供一种废气处理设备，包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；
[0006]所述总进气管、所述左进气管和所述切换管的第一端分别与左三通阀连接，以通过所述左三通阀的切换使得所述总进气管与所述左进气管直通或与所述切换管直通；
[0007]所述右进气管的第一端、所述厂务排放管的第一端和所述切换管的第二端分别与右三通阀连接，以通过所述右三通阀的切换使得所述切换管与所述右进气管直通或与所述厂务排放管直通；
[0008]所述左进气管上连通有左负压侦测管，所述右进气管上连通有右负压侦测管，所述左负压侦测管的自由端、所述右负压侦测管的自由端和所述总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接，以通过所述侦测三通阀的切换使得所述总侦测管与所述左负压侦测管直通或与所述右负压侦测管直通；
[0009]所述左进气管的第二端与所述左反应腔连通，所述右进气管的第二端与所述右反应腔连通，所述总侦测管的第二端与所述负压侦测装置连通。
[0010]根据本专利技术提供的一种废气处理设备，所述左进气管上与所述左负压侦测管连接的连通口处，靠近所述左腔三通阀的一侧设置有左阻挡件；
[0011]和/或，所述右进气管上与所述右负压侦测管连接的连通口处，靠近所述右腔三通阀的一侧设置有右阻挡件。
[0012]根据本专利技术提供的一种废气处理设备，所述左阻挡件和/或所述右阻挡件为弧形片状，所述左阻挡件的内弧面朝向所述左反应腔安装，所述右阻挡件的内弧面朝向所述右反应腔安装。
[0013]本专利技术还提供一种废气处理方法，应用于上述任一种所述废气处理设备，所述方法包括：
[0014]确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；
[0015]当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；
[0016]确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。
[0017]根据本专利技术提供的一种废气处理方法，还包括：
[0018]当所述左三通阀的当前状态使得所述总进气管与所述左进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述左负压数据无效；
[0019]预设时长后进行所述左三通阀的阀位报警，并使所述左反应腔停止运行；
[0020]切换所述侦测三通阀的当前状态，使得所述总侦测管与所述右负压侦测管直通。
[0021]根据本专利技术提供的一种废气处理方法，还包括：
[0022]当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与所述右进气管非直通时，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据无效；
[0023]预设时长后进行所述右三通阀的阀位报警，并使所述右反应腔停止运行；
[0024]切换所述右三通阀的当前状态，使得所述切换管与厂务排放管直通，进行厂务排放。
[0025]根据本专利技术提供的一种废气处理方法，还包括：
[0026]确定所述左进气管和/或所述左负压侦测管的维护状态，当所述左进气管和/或所述左负压侦测管维护完成为通畅状态时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与所述左进气管直通，切换所述侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与左负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述左负压数据。
[0027]本专利技术还提供一种废气处理装置，包括：
[0028]第一确定模块，用于确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；
[0029]第一切换模块，用于当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；
[0030]第二确定模块，用于确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得
所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。
[0031]本专利技术还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述废气处理方法。
[0032]本专利技术还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。
[0033]本专利技术还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理方法。
[0034]本专利技术提供的废气处理设备、方法、装置和电子设备，通过在左进气管和右进气管上分别设置左负压侦测管和右负压侦测管的方式，使得一个负压侦测管堵塞的情况下，另一个负压侦测管还可以使用，从而可以切换另一个反应腔进行废气处理工作，且在不停止废气处理的情况下能够对堵塞的部位进行清理，极大的降低了双腔宕机事故的发生率。进一步的，该左/右负压侦测管分别通过三通阀与负压侦测装置连接，无需额外增加负压侦测装置以及进行负压数据采集的模拟量采集组件，对废气处理设备的改造较小，使得在改造难度低本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种废气处理设备，其特征在于，包括：左反应腔、右反应腔、总进气管、左进气管、右进气管、厂务排放管、切换管、总侦测管和负压侦测装置；所述总进气管、所述左进气管和所述切换管的第一端分别与左三通阀连接，以通过所述左三通阀的切换使得所述总进气管与所述左进气管直通或与所述切换管直通；所述右进气管的第一端、所述厂务排放管的第一端和所述切换管的第二端分别与右三通阀连接，以通过所述右三通阀的切换使得所述切换管与所述右进气管直通或与所述厂务排放管直通；所述左进气管上连通有左负压侦测管，所述右进气管上连通有右负压侦测管，所述左负压侦测管的自由端、所述右负压侦测管的自由端和所述总侦测管的第一端分别与侦测三通阀连接，以通过所述侦测三通阀的切换使得所述总侦测管与所述左负压侦测管直通或与所述右负压侦测管直通；所述左进气管的第二端与所述左反应腔连通，所述右进气管的第二端与所述右反应腔连通，所述总侦测管的第二端与所述负压侦测装置连通。2.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，所述左进气管上与所述左负压侦测管连接的连通口处，靠近所述左腔三通阀的一侧设置有左阻挡件；和/或，所述右进气管上与所述右负压侦测管连接的连通口处，靠近所述右腔三通阀的一侧设置有右阻挡件。3.根据权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于，所述左阻挡件和/或所述右阻挡件为弧形片状，所述左阻挡件的内弧面朝向所述左反应腔安装，所述右阻挡件的内弧面朝向所述右反应腔安装。4.一种废气处理方法，其特征在于，应用于权利要求1～3任一项所述废气处理设备，所述方法包括：确定左三通阀的当前状态，当所述左三通阀的当前状态使得总进气管与左进气管直通时，采用左反应腔处理废气，确定负压侦测装置侦测的左负压侦测管的左负压数据有效；当所述左负压数据异常时，切换所述左三通阀的当前状态，使得所述总进气管与切换管直通，切换侦测三通阀的当前状态，使得总侦测管与右负压侦测管直通，所述负压侦测装置侦测所述右负压侦测管的右负压数据；确定右三通阀的当前状态，当所述右三通阀的当前状态使得所述切换管与右进气管直通时，采用右反应腔处理废气，确定所述负压侦测装置侦测的所述右负压数据有效。5.根据权利要求4所述的废气处...
【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。