一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具制造技术

本发明专利技术提供一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，所述适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具包括透明材质治具、晶圆定位治具和片匣治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明材质治具用于夹持晶圆，片匣治具用于定位晶圆在片匣内的中心位置和红外传感器位置。本发明专利技术可以大幅提高操作人员在示教不同位置时的示教精度，还可以很大程度上节省示教时间。本发明专利技术除了可以进行机械手臂的位置示教之外，还可以定位晶圆在片匣里面的中心位置，以及4个红外传感器光线距离片匣内晶圆的距离，极大提升了机械手臂的示教效率。极大提升了机械手臂的示教效率。极大提升了机械手臂的示教效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具


[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体涉及一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具。

技术介绍

[0002]机械手臂是半导体设备腔体内部用于传输(或是搬运)晶圆的一种运动机器人(或是一种自动化机械结构)，可以将晶圆搬运至半导体设备腔体内不同的固定位置，而每一个位置就需要机械手臂对应一个固定点位，而每一个点位就需要对机械手臂进行一次点位示教，使晶圆被精准的搬运至每一个需要的固定位置，而点位示教的精度就决定了机械手臂每次搬运晶圆至指定位置的精度，如果搬运位置的精度不够，就会影响晶圆的生产工艺或是晶圆出现碰撞导致破片等等系列后果。
[0003]目前，针对此种类型的机械手臂机构，还有与之相适配的示教治具，来帮助进行不同位置的示教，主要依靠人眼观察等，所以就经常造成位置的示教精度不够，影响晶圆的生产工艺或是晶圆出现碰撞导致破片等等系列问题。

技术实现思路

[0004]基于现有技术存在的问题，本专利技术提供一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，。
[0005]依据本专利技术的技术方案，本专利技术提供了一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其为适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，经过适配晶圆的有效改善，以此保证机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求。
[0006]其中，所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具包括透明材质治具、晶圆定位治具和片匣治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明材质治具用于夹持晶圆，片匣治具用于定位晶圆在片匣内的中心位置和红外传感器位置。
[0007]进一步地，透明晶圆治具与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，在中心位置设置有中心孔。透明晶圆治具的中心孔用于定位透明晶圆治具，且透明材质有助于在示教时便于寻找静电吸盘治具和中心孔位；在透明晶圆治具外圆周上没有任何凸起，其是完全与晶圆一致且无阻挡应用到晶圆组盘中。
[0008]另外地，晶圆定位治具包括圆弧状持有边框。圆弧状持有边框的晶圆定位治具呈三角板状结构。优选地，圆弧状持有边框的晶圆定位治具的第一边框为圆弧状，第一边框的圆弧直接与透明材质治具的直经相同，在使用过程中透明材质治具平靠在第一边框的圆弧边缘处。
[0009]更进一步地，圆弧状持有边框的晶圆定位治具的第二边框和第三边框为直边边框，其与圆弧状持有边框的治具的底部矩形部相连接，且第二边框和第三边框与底部矩形部的短边呈相同的夹角。
[0010]其中，片匣治具内圆与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，其内圆弧直径
300mm，弧度136
°
；外圆与片匣内每层的台阶相夹持，从而固定片匣治具使之不能移动，其外圆弧直径308.5mm，弧度224
°
；片匣周边有四只耳朵，每只耳朵上有1mm宽的狭缝，使红外光线穿过该狭缝，用来定位红外传感器位置，狭缝距离片匣治具中心点153.5mm。
[0011]另外地，在片匣治具上有3个缺口，缺口直径宽度13mm，缺口圆心距离片匣治具中心点147.25mm。
[0012]与现有技术相比，本专利技术的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具的有益技术效果如下：
[0013](1)本专利技术可以大幅提高操作人员在示教不同位置时的示教精度，还可以很大程度上节省示教时间。
[0014](2)其中位置1的治具除了可以进行机械手臂的位置示教之外，还可以定位晶圆在片匣里面的中心位置，以及4个红外传感器光线距离片匣内晶圆的距离，极大提升了机械手臂的示教效率。
附图说明
[0015]图1是依据本专利技术的需要示教位置片匣的第一结构示意图。
[0016]图2是依据本专利技术的需要示教位置片匣的第二结构截面示意图。
[0017]图3是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具的结构示意图。
[0018]图4是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具的尺寸示意图，视图为前视图。
[0019]图5是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具的尺寸示意图，视图为左视图。
[0020]图6是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具放置在片匣里面的示意图。
[0021]图7是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具放置在片匣里面的截面示意图。
[0022]图8是依据本专利技术的位置示教治具所应用的机械手臂位置示教的治具，其卡在机械手臂上的示意图。
[0023]图9是依据本专利技术的位置示教治具所应用的透明晶圆治具，平靠在机械手臂位置示教的治具的示意图。
[0024]图10是依据本专利技术的位置示教治具所应用的机械手臂带着透明晶圆治具，向片匣位置移动，进行位置示教的示意图。
[0025]图11是依据本专利技术的位置示教治具所应用的机械手臂带着透明晶圆治具，向片匣位置移动，进行位置示教，其透明晶圆治具边缘与静片匣治具内圆弧重合的示意图(就是透明晶圆治具中心点与片匣治具内圆弧中心点重合)。
[0026]图12是依据本专利技术的位置示教治具所应用的机械手臂带着透明晶圆治具，向片匣位置移动，进行位置示教，其透明晶圆治具边缘与静片匣治具内圆弧重合的截面示意图(就是透明晶圆治具中心点与片匣治具内圆弧中心点重合)。
[0027]图13是依据本专利技术的位置示教治具所应用的机械手臂带着透明晶圆治具，向片匣位置移动，进行位置示教，其透明晶圆治具边缘与静片匣治具内圆弧重合的截面渲染示意图(就是透明晶圆治具中心点与片匣治具内圆弧中心点重合)。
[0028]图14是依据本专利技术的位置示教治具所应用的片匣治具放置在片匣大概中间位置，其4条红外传感器光线穿过片匣治具4个耳朵狭缝孔的示意图。
[0029]附图中的附图标记说明：
[0030]图2中：片匣台阶上的第一硅胶圆垫2
‑
1、片匣台阶上的第二硅胶圆垫2
‑
2和片匣台阶上的第三硅胶圆垫2
‑
3，片匣台阶2
‑
4。
[0031]图3中：片匣治具上的外圆弧3
‑
1，片匣治具上的内圆弧3
‑
2，片匣治具上凸出来调试红外传感器的耳朵3
‑
3，耳朵上的狭缝3
‑
4，通过狭缝3
‑
4传感器光线可以传过去，第一缺口3
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5、第二缺口3
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6和第三缺口3
‑
7。
[0032]图8中：机械手臂位置示教的治具8
‑
1，治具8
‑
1卡在机械手臂上。
[0033]图9中：透明晶圆治具9
‑
1，透明晶圆治具9
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1为平靠在机械手臂位置示教的治具的透明晶圆治具；透明晶圆治具上的中心孔位9
‑
2。
[0034]图14中：红外传感器的光线14
‑
1。
具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其特征在于，其经过适配晶圆的有效改善，以此保证机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求。2.如权利要求1所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其特征在于，所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具包括透明材质治具、晶圆定位治具和片匣治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明材质治具用于夹持晶圆，片匣治具用于定位晶圆在片匣内的中心位置和红外传感器位置。3.如权利要求2所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其特征在于，透明晶圆治具与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，在中心位置设置有中心孔。4.如权利要求3所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其特征在于，透明晶圆治具的中心孔用于定位透明晶圆治具，且透明材质有助于在示教时便于寻找静电吸盘治具和中心孔位；在透明晶圆治具外圆周上没有任何凸起，其是完全与晶圆一致且无阻挡应用到晶圆组盘中。5.如权利要求1
‑
4中任意一项所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的片匣治具，其特征在于，晶圆定位治具包括圆弧状持有边框。圆弧状持有边框的晶圆定位治具呈三角板状结构。优选地，圆弧状持...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟军明，李朋涛，杨光亮，陆天，闫磊，孙玉中，黄才钧，张长勇，
申请(专利权)人：上海临港凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：