加热组件及气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种加热组件及气体传感器。加热组件包括：基底；导电层，位于基底的上表层；第一绝缘层，位于导电层的上表层、导电层的侧壁以及基底的上表层；侧墙结构，位于第一绝缘层的侧壁；其中，第一绝缘层的侧壁与导电层的侧壁相对应；第一加热电极，与侧墙结构的一端接触设置；第二加热电极，与侧墙结构的另一端接触设置。采用本发明专利技术的加热组件能够节约器件设计面积。设计面积。设计面积。

【技术实现步骤摘要】
加热组件及气体传感器


[0001]本申请涉及半导体
，特别是涉及一种加热组件及气体传感器。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，出现了气体传感器。气体传感器在气体传感组件、微热量计、气体流量计、红外光源、微小颗粒的收集等领域有较大的发展空间。气体传感器具有热量损耗小、加热功率低、工艺流程简单、响应时间短容易与其他微电子器件集成等优点，其应用十分广泛。
[0003]目前，气体传感器通常都是通过加热组件与微机电系统(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，MEMS)传感组件进行集成。传统技术中，气体传感器通常通过将加热组件的加热层与传感组件的导电层相互交错排布以构成气体传感器。然而，由于传统技术中加热层与导电层位于同一平面上，且两者之间需要保持一定的间隔，从而存在器件设计面积较大的问题。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对传统技术中的器件设计面积较大的问题提供一种加热组件及气体传感器。
[0005]为了实现上述目的，一方面，本专利技术提供了一种加热组件，包括：
[0006]基底；
[0007]导电层，位于所述基底的上表层；
[0008]第一绝缘层，位于所述导电层的上表层、所述导电层的侧壁以及所述基底的上表层；
[0009]侧墙结构，位于所述第一绝缘层的侧壁；其中，所述第一绝缘层的侧壁与所述导电层的侧壁相对应；
[0010]第一加热电极，与所述侧墙结构的一端接触设置；
[0011]第二加热电极，与所述侧墙结构的另一端接触设置。
[0012]上述加热组件，包括：基底；导电层，位于所述基底的上表层；第一绝缘层，位于所述导电层的上表层、所述导电层的侧壁以及所述基底的上表层；侧墙结构，位于所述第一绝缘层的侧壁；其中，所述第一绝缘层的侧壁与所述导电层的侧壁相对应；第一加热电极，与所述侧墙结构的一端接触设置；第二加热电极，与所述侧墙结构的另一端接触设置。由于作为加热组件加热层的侧墙结构设计在导电层的侧壁，从而能够节约器件设计面积。
[0013]在其中一个实施例中，所述导电层包括第一梳齿结构和第二梳齿结构，其中，所述第一梳齿结构的梳齿部分与所述第二梳齿结构的梳齿部分呈交错排列；其中，
[0014]所述第一加热电极分别与位于所述第一梳齿结构侧壁的第一侧墙、位于所述第二梳齿结构侧壁的第二侧墙接触设置，其中，所述第一侧墙为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部的侧墙结构，所述第二侧墙为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第二端部的侧墙
结构；
[0015]所述第二加热电极分别与位于所述第一梳齿结构侧壁的第三侧墙、位于所述第二梳齿结构侧壁的第四侧墙接触设置，其中，所述第三侧墙为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第二端部的侧墙结构，所述第四侧墙为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部的侧墙结构。
[0016]在其中一个实施例中，所述第一梳齿结构的梳齿部分包括第一主梳齿、第一分支梳齿和多个间隔排布的第二分支梳齿，其中，各所述第二分支梳齿与所述第一主梳齿连接，所述第一主梳齿的第一端作为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部，所述第一分支梳齿与靠近所述第一主梳齿的第二端的所述第二分支梳齿连接，所述第一分支梳齿的自由端为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第二端部；
[0017]所述第二梳齿结构的梳齿部分包括第二主梳齿、第三分支梳齿和多个间隔排布的第四分支梳齿，其中，各所述第四分支梳齿与所述第三主梳齿连接，所述第二主梳齿的第一端作为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部，所述第三分支梳齿与靠近所述第二主梳齿的第二端的所述第四分支梳齿连接，所述第三分支梳齿的自由端为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第二端部。
[0018]在其中一个实施例中，所述第一主梳齿和所述第一分支梳齿均沿第一方向延伸，各第二分支梳齿均沿第二方向延伸，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；
[0019]所述第二主梳齿和所述第三分支梳齿均沿所述第一方向延伸，各所述第四分支梳齿均沿所述第二方向延伸。
[0020]在其中一个实施例中，所述第一主梳齿的第一端与所述第三分支梳齿的自由端对齐设置；所述第二主梳齿的第一端与所述第一分支梳齿的自由端对齐设置。
[0021]在其中一个实施例中，所述第一加热电极包括第一子电极和第二子电极，所述第二加热电极包括第三子电极和第四子电极，其中，所述第一子电极与所述第一主梳齿的第一端连接，所述第二子电极与所述第一分支梳齿的自由端连接，所述第三子电极与所述第二主梳齿的第一端连接，所述第四子电极与所述第三分支梳齿的自由端连接。
[0022]在其中一个实施例中，所述第一主梳齿的主体部和所述第一分支梳齿均沿第一方向延伸，所述第一主梳齿的连接部和各第二分支梳齿均沿第二方向延伸，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；
[0023]所述第二主梳齿的主体部和所述第三分支梳齿均沿所述第一方向延伸，所述第二主梳齿的连接部和各所述第四分支梳齿均沿所述第二方向延伸。
[0024]在其中一个实施例中，位于所述第一梳齿结构的梳齿部分与所述第二梳齿结构的梳齿部分的交错位置的部分所述侧墙结构相重合。
[0025]在其中一个实施例中，所述第一梳齿结构还包括第一梳齿电极，所述第一梳齿电极与所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部连接，所述第二梳齿结构还包括第二梳齿电极，所述第二梳齿电极与所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部连接。
[0026]另一方面，本申请还提供了一种气体传感器，所述气体传感器包括如上述任一项实施例中所述的加热组件，所述基底的下表层开设有背孔，其中，所述气体传感器还包括：
[0027]第一氧化层，位于所述第一绝缘层的上表层以及部分所述侧墙结构的表面；
[0028]开口，贯穿部分位于所述导电层的顶部的所述第一氧化层以及所述第一绝缘层，
以暴露出所述导电层的顶部；
[0029]第一传感电极，与所述导电层的一端接触设置；
[0030]第二传感电极，与所述导电层的另一端接触设置；
[0031]敏感材料层，位于所述导电层的上方，且与至少部分所述导电层接触设置，且所述敏感材料层填充部分所述开口。
[0032]上述气体传感器，包括如上述任一项实施例中所述的加热组件，所述基底的下表层开设有背孔，其中，所述气体传感器还包括：第一氧化层，位于所述
[0033]第一绝缘层的上表层以及部分所述侧墙结构的表面；开口，贯穿部分位于所述导电层的顶部的所述第一氧化层以及所述第一绝缘层，以暴露出所述导电层的顶部；第一传感电极，与所述导电层的一端接触设置；第二传感电极，与所述导电层的另一端接触设置；敏感材料层，位于所述导电层的上方，且与至少部分所述导电层接触设置，且所述敏感材料层填充部分所述开口。由于作为加热组件加热层的侧墙结构设计在导电层的侧壁，从而能够节约器件设计面积。
[0034]在其中一个实施例中，所述气体传感器还包括：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热组件，其特征在于，包括：基底；导电层，位于所述基底的上表层；第一绝缘层，位于所述导电层的上表层、所述导电层的侧壁以及所述基底的上表层；侧墙结构，位于所述第一绝缘层的侧壁；其中，所述第一绝缘层的侧壁与所述导电层的侧壁相对应；第一加热电极，与所述侧墙结构的一端接触设置；第二加热电极，与所述侧墙结构的另一端接触设置。2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，所述导电层包括第一梳齿结构和第二梳齿结构，其中，所述第一梳齿结构的梳齿部分与所述第二梳齿结构的梳齿部分呈交错排列；其中，所述第一加热电极分别与位于所述第一梳齿结构侧壁的第一侧墙、位于所述第二梳齿结构侧壁的第二侧墙接触设置，其中，所述第一侧墙为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部的侧墙结构，所述第二侧墙为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第二端部的侧墙结构；所述第二加热电极分别与位于所述第一梳齿结构侧壁的第三侧墙、位于所述第二梳齿结构侧壁的第四侧墙接触设置，其中，所述第三侧墙为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第二端部的侧墙结构，所述第四侧墙为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部的侧墙结构。3.根据权利要求2所述的加热组件，其特征在于，所述第一梳齿结构的梳齿部分包括第一主梳齿、第一分支梳齿和多个间隔排布的第二分支梳齿，其中，各所述第二分支梳齿与所述第一主梳齿连接，所述第一主梳齿的第一端作为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第一端部，所述第一分支梳齿与靠近所述第一主梳齿的第二端的所述第二分支梳齿连接，所述第一分支梳齿的自由端为所述第一梳齿结构的梳齿部分的第二端部；所述第二梳齿结构的梳齿部分包括第二主梳齿、第三分支梳齿和多个间隔排布的第四分支梳齿，其中，各所述第四分支梳齿与所述第三主梳齿连接，所述第二主梳齿的第一端作为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第一端部，所述第三分支梳齿与靠近所述第二主梳齿的第二端的所述第四分支梳齿连接，所述第三分支梳齿的自由端为所述第二梳齿结构的梳齿部分的第二端部。4.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，所述第一主梳齿和所述第一分支梳齿均沿第一方向延伸，各第二分支梳齿均沿第二方向延伸，其中，所述第一方向和所述第二方向相交；所述第二主梳齿和所述第三分支梳齿均沿所述第一方向延伸，各所述第四分支梳齿均沿所述第二方向延伸。5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，所述第一主梳齿的第一端与所述第三分支梳齿的自由端对齐设...

【专利技术属性】
技术研发人员：周正，倪梁，卢惠棉，杨力建，
申请(专利权)人：深圳市汇投智控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：