一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜设备技术领域，特别涉及一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，包括镀膜仓，所述镀膜仓下端固定连接有底盖，所述底盖外表面穿插固定连接有稳固机构，所述镀膜仓外表面后部活动连接有仓门，所述镀膜仓上端固定连接有顶盖，所述顶盖上端固定安装有镀膜器和真空机，所述镀膜器输出端贯穿顶盖并固定连接有镀膜喷头，所述镀膜仓外表面前部和仓门外表面前部共同固定连接有两个电磁锁。本实用新型专利技术所述的一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，通过在镀膜仓内部设置有防护机构，有效的防止了装置在使用时镀膜原料粘附在镀膜仓内壁的问题，需要对镀膜仓内部进行打扫时，直接对防护机构中的防护板进行更换即可，解决了镀膜仓打扫困难的问题。打扫困难的问题。打扫困难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备


[0001]本技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备。

技术介绍

[0002]一般来说，类金刚石碳基薄膜(DLC)是一类含有金刚石结构(SP3杂化键)和石墨结构(SP2杂化键)的亚稳非晶态物质，碳原子主要以SP3和SP2杂化键结合，非晶态碳基薄膜一般可以分为含氢碳膜(a
‑
C:H)和不含氢碳膜(a
‑
C)两类，在现有的用于镀类金刚石碳膜的沉积设备使用过程中至少有以下弊端：现有的用于镀类金刚石碳膜的沉积设备在使用过程中，用于镀膜的材料会在对类金刚石进行镀膜时飞溅吸附在镀膜仓的内壁上，长久操作下来会使镀膜仓内壁形成堆积，清理起来会非常不便，故此，我们推出一种新的用于镀类金刚石碳膜的沉积设备。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，包括镀膜仓和防护机构，所述镀膜仓下端固定连接有底盖，所述底盖外表面穿插固定连接有稳固机构，所述镀膜仓外表面后部活动连接有仓门，所述镀膜仓上端固定连接有顶盖，所述顶盖上端固定安装有镀膜器和真空机，所述镀膜器输出端贯穿顶盖并固定连接有镀膜喷头，所述镀膜仓外表面前部和仓门外表面前部共同固定连接有两个电磁锁，所述仓门上端和下端均固定连接有第一密封垫，所述仓门右端前部和右端后部均固定连接有第二密封垫，所述底盖内下壁活动连接有旋转台，所述旋转台上端固定连接有若干个工件挂架。
[0006]优选的，所述防护机构包括第一固定框和第二固定框，所述第一固定框靠近仓门的一端和第二固定框靠近镀膜仓的一端均开有滑槽，两个所述滑槽内表面均穿插连接有防护板。
[0007]优选的，所述镀膜器与真空机不接触，两个所述电磁锁上下分布且不接触，所述旋转台位于镀膜仓和仓门之间且不接触，若干个所述工件挂架环形阵列分布且互不接触。
[0008]优选的，所述第一固定框与仓门内表面固定连接，所述第二固定框与镀膜仓内表面固定连接。
[0009]优选的，所述稳固机构包括支撑环，所述支撑环上端固定连接有若干个斜杆，若干个所述斜杆之间共同固定连接有托环。
[0010]优选的，若干个所述斜杆环形阵列分布且互不接触，所述托环与底盖穿插固定连接。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1、本技术中，通过在镀膜仓内表面和仓门内表面共同设置有防护机构，装置在使用时，防护机构中的两个防护板可以防止镀膜原料粘附在镀膜仓内壁和仓门内壁上，当装置使用一端时间后，可以直接将防护机构中的两个防护板抽出进行更换，也省去了清理镀膜仓的麻烦；
[0013]2、本技术中，通过在装置的底盖下部设置有稳固机构，稳固机构不仅增大了装置的接地面积，也将镀膜仓抬离了地面，可以使装置在使用时的稳定性更高，也能避免装置中的镀膜仓直接与地面接触，可以防止镀膜仓表面受潮发生锈蚀，增加了装置的使用寿命。
附图说明
[0014]图1为本技术一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备的整体结构示意图；
[0015]图2为本技术一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备的整体结构分解示意图；
[0016]图3为本技术一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备的防护机构整体结构示意图；
[0017]图4为本技术一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备的稳固机构整体结构示意图。
[0018]图中：1、镀膜仓；2、底盖；3、稳固机构；4、仓门；5、顶盖；6、镀膜器；7、真空机；8、电磁锁；9、第一密封垫；10、第二密封垫；11、防护机构；12、旋转台；13、工件挂架；14、镀膜喷头；111、第一固定框；112、第二固定框；113、滑槽；114、防护板；31、支撑环；32、斜杆；33、托环。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：
[0023]一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，包括镀膜仓1和防护机构11，镀膜仓1下端固定连接有底盖2，底盖2外表面穿插固定连接有稳固机构3，镀膜仓1外表面后部活动连接有仓门4，镀膜仓1上端固定连接有顶盖5，顶盖5上端固定安装有镀膜器6和真空机7，镀膜器6输出端贯穿顶盖5并固定连接有镀膜喷头14，镀膜仓1外表面前部和仓门4外表面前部共同
固定连接有两个电磁锁8，仓门4上端和下端均固定连接有第一密封垫9，仓门4右端前部和右端后部均固定连接有第二密封垫10，底盖2内下壁活动连接有旋转台12，旋转台12上端固定连接有若干个工件挂架13，镀膜器6与真空机7不接触，两个电磁锁8上下分布且不接触，旋转台12位于镀膜仓1和仓门4之间且不接触，若干个工件挂架13环形阵列分布且互不接触。
[0024]本实施例中，防护机构11包括第一固定框111和第二固定框112，第一固定框111靠近仓门4的一端和第二固定框112靠近镀膜仓1的一端均开有滑槽113，两个滑槽113内表面均穿插连接有防护板114，第一固定框111与仓门4内表面固定连接，第二固定框112与镀膜仓1内表面固定连接，通过在镀膜仓1内部设置有防护机构11，有效的防止了装置在使用时镀膜原料粘附在镀膜仓1内壁的问题，需要对镀膜仓1内部进行打扫时，直接对防护机构11中的防护板114进行更换即可，解决了镀膜仓1打扫困难的问题。
[0025]本实施例中，稳固机构3包括支撑环31，支撑环31上端固定连接有若干个斜杆32，若干个斜杆32之间共同固定连接有托环33，若干个斜杆32环形阵列分布且互不接触，托环33与底盖2穿插固定连接，稳固机构3的设置使得装置的稳定性得到了提升，在提高装置稳定性的同时又将装置中的镀膜仓1进行了抬升，可以防本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于镀类金刚石碳膜的沉积设备，包括镀膜仓(1)和防护机构(11)，其特征在于：所述镀膜仓(1)下端固定连接有底盖(2)，所述底盖(2)外表面穿插固定连接有稳固机构(3)，所述镀膜仓(1)外表面后部活动连接有仓门(4)，所述镀膜仓(1)上端固定连接有顶盖(5)，所述顶盖(5)上端固定安装有镀膜器(6)和真空机(7)，所述镀膜器(6)输出端贯穿顶盖(5)并固定连接有镀膜喷头(14)，所述镀膜仓(1)外表面前部和仓门(4)外表面前部共同固定连接有两个电磁锁(8)，所述仓门(4)上端和下端均固定连接有第一密封垫(9)，所述仓门(4)右端前部和右端后部均固定连接有第二密封垫(10)，所述底盖(2)内下壁活动连接有旋转台(12)，所述旋转台(12)上端固定连接有若干个工件挂架(13)；所述防护机构(11)包括第一固定框(111)和第二固定框(112)，所述第一固定框(111)靠近仓门(4)的一端和第二固定框(112)靠近镀膜仓(1)的一端均开有滑槽(113)，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：李贤兵，
申请(专利权)人：成都友臻科技有限公司，
类型：新型
国别省市：