一种金属管密封真空旋转导入装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种金属管密封真空旋转导入装置，包括外侧管路(10)、外侧磁流体转子(20)、磁流体固定法兰(30)、内侧磁流体转子(40)、内侧管路(50)以及真空腔体(60)；真空腔体(60)的外侧壁上形成有连接通孔，磁流体固定法兰(30)通过所述连接通孔而密封固定在真空腔体(60)的外侧壁上；外侧管路(10)与外侧磁流体转子(20)固定连接，内侧管路(50)与内侧磁流体转子(40)固定连接，外侧磁流体转子连接在磁流体固定法兰的外侧，内侧磁流体转子穿过所述连接通孔而连接在磁流体固定法兰的内侧，由此外侧管路及内侧管路能够沿磁流体固定法兰圆周360

【技术实现步骤摘要】
一种金属管密封真空旋转导入装置


[0001]本技术涉及真空
，更具体涉及一种金属管密封真空旋转导入装置。

技术介绍

[0002]随着科学的发展和社会的需求，真空技术被应用在社会上的各行各业。真空设备被广泛适用的同时，各类真空功能装置也被随带适用，其中的一种装置是金属管密封真空旋转导入装置，该装置的功能是将真空腔室管路内部运动和外侧管路运动分离且达到真空密封的功能。传统的传动的真空导入装置通过管路固定法兰的硬连接，真空腔体内部运动和外部管路运动相互可调节性差，布局功能差，可操作性不好，内外管路之间不可能在360
°
方向调整的不足等问题。
[0003]因此，有必要提供一种新的技术和设备，以至少部分解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本专利技术旨在提供一种金属管密封真空旋转导入装置，其特征在于，包括：
[0005]外侧管路(10)、外侧磁流体转子(20)、磁流体固定法兰(30)、内侧磁流体转子(40)、内侧管路(50)以及真空腔体(60)；
[0006]其中，真空腔体(60)的外侧壁上形成有连接通孔，磁流体固定法兰(30)通过所述连接通孔而密封固定在真空腔体(60)的外侧壁上；
[0007]外侧管路(10)与外侧磁流体转子(20)固定连接，内侧管路(50)与内侧磁流体转子(40)固定连接，外侧磁流体转子(20)连接在磁流体固定法兰(30)的外侧，内侧磁流体转子(40)穿过所述连接通孔而连接在磁流体固定法兰(30)的内侧，由此外侧管路(10)以及内侧管路(50)能够沿磁流体固定法兰圆周360
°
方向转动。
[0008]根据本技术的实施方案，其中所述外侧磁流体转子、内侧磁流体转子以及磁流体固定法兰为一体化结构。
[0009]根据本技术的实施方案，其中所述外侧管路以及内侧管路采用金属304抛光管制成。
[0010]根据本技术的实施方案，其中磁流体固定法兰(30)与真空腔体(60)通过螺栓固定连接并通过0型圈密封。
[0011]根据本技术的实施方案，其中所述外侧管路(10)与外侧磁流体转子(20)通过螺栓紧固以及通过O型密封圈密封。
[0012]根据本技术的实施方案，其中所述内侧管路(50)与内侧磁流体转子通过螺栓紧固以及通过O型密封圈密封。
[0013]该金属管密封真空旋转导入装置通过外侧磁流体转子与磁流体固定法兰、内侧磁流体转子相互独立的运动，实现真空腔体内外侧管路的调节和布局，达到真空管路密封、抽气功能。能够适用于需要狭小有限空间内管路真空抽气密封，驱动稳定、可靠，寿命长，从而
有效的解决了传统真空管路布局困难，密封性能差的技术问题。
附图说明
[0014]图1为根据本技术实施方案的金属管密封真空旋转导入装置的结构示意图。
[0015]图中，10
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外侧管路、20
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外侧磁流体转子、30
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磁流体固定法兰、40
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内侧磁流体转子、50
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内侧管路、60
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真空腔体
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]图1为根据本技术实施方案的金属管密封真空旋转导入装置的结构示意图。参考附图，实施方案的金属管密封真空旋转导入装置可以包括外侧管路10)、外侧磁流体转子20、磁流体固定法兰30、内侧磁流体转子40、内侧管路50以及真空腔体60。
[0018]如图所示，实施方案的金属管密封真空旋转导入装置设置在真空腔体60上，真空腔体60的外侧壁上形成有连接通孔，用于安装金属管密封真空旋转导入装置。
[0019]更具体地，磁流体固定法兰30通过所述连接通孔而密封性地固定在真空腔体60的外侧壁上，例如可以通过螺栓固定连接并通过0型圈密封。磁流体固定法兰30的两侧分别设置有外侧磁流体转子20以及内侧磁流体转子40。所述外侧磁流体转子、内侧磁流体转子以及磁流体固定法兰可以为一体化结构。这样的结构为本领域所熟知，在此并不赘述。
[0020]所述外侧管路以及内侧管路可以采用金属304抛光管制成。外侧管路10与外侧磁流体转子20固定连接，内侧管路50与内侧磁流体转子40固定连接，例如可以通过螺栓紧固以及通过O型密封圈密封固定。更具体地外侧磁流体转子20连接在磁流体固定法兰30的外侧，内侧管路50穿过所述连接通孔而连接在内侧磁流体转子40上，连接在磁流体固定法兰30的内侧，由此外侧管路10以及内侧管路50能够沿磁流体固定法兰圆周360
°
方向转动。也即，外侧磁流体转子与内侧磁流体转子二者在旋转运动相互独立。
[0021]实施方案中，内侧管路和内侧磁流体转子可以通过螺钉固定，内侧管路可以沿磁流体固定法兰圆周360
°
方向转动；磁流体固定法兰与真空腔体可以通过螺钉采用O型圈密封固定，位置固定不动；外侧管路和外侧磁流体转子通过螺钉固定，外侧管路可以沿磁流体固定法兰圆周360
°
方向转动；内侧管路和外侧管路在磁流体固定法兰圆周方向相互独立运动；如此实现内侧管路和外侧管路的合理布局。
[0022]以上所述仅是本专利的优选实施方式，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本专利的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属管密封真空旋转导入装置，其特征在于，外侧管路(10)、外侧磁流体转子(20)、磁流体固定法兰(30)、内侧磁流体转子(40)、内侧管路(50)以及真空腔体(60)；其中，真空腔体(60)的外侧壁上形成有连接通孔，磁流体固定法兰(30)通过所述连接通孔而密封固定在真空腔体(60)的外侧壁上；外侧管路(10)与外侧磁流体转子(20)固定连接，内侧管路(50)与内侧磁流体转子(40)固定连接，外侧磁流体转子(20)连接在磁流体固定法兰(30)的外侧，内侧磁流体转子(40)穿过所述连接通孔而连接在磁流体固定法兰(30)的内侧，由此外侧管路(10)以及内侧管路(50)能够沿磁流体固定法兰圆周360
°
方向转动。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲜伟，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：