一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路制造技术

本申请公开一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。该检测电路，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，所述第一光耦的第五接脚电性接地、所述第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。该电路能保证信号传输的稳定性和可靠性。信号传输的稳定性和可靠性。信号传输的稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路


[0001]本申请涉及检测
，具体地涉及一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。

技术介绍

[0002]碳化硅外延CVD设备的反应腔上通常配置有不同用途的气缸来控制腔体的动作，每个气缸皆配置有两个磁性开关传感器，该传感器电性连接检测模块(如PLC模块)，该检测模块用来判断气缸的动作是否执行到位。在实践中通常将检测气缸当前状态相同信号的磁性开关通过线缆串联起来以将多个磁性开关的信号合成一个信号，然后将该合成信号送到PLC模块进行处理，PLC模块反馈的信号来判断气缸的动作是否到位。以4个磁性开关的拓扑为例、如图1所示，该拓扑下因磁性开关(D1
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D4/也称传感器)运行时管压降最大为4V左右，4个信号(对应)串联后管压降最大为16V，这样将有可能超过PLC模块的要求的最低高电平信号(12V)，图中SW1
‑
SW4为开关电路。在运行时存在由磁性开关的管压降导致传输到PLC模块上的信号电压大大降低，使得该信号容易收到外部干扰，造成设备误报警。另外，在进行磁性开关用线缆/导线串联的时候，导线之间的连接不可靠，也会导致设备误报警。

技术实现思路

[0003]为解决上述存在的缺点，本申请的目的在于：提供一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测装置电路。
[0004]为了达到以上目的，本申请采用如下技术方案：
[0005]一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，包括：
[0006]第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，
[0007]所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，
[0008]所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，
[0009]所述第一光耦的第五接脚电性接地、所述第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，
[0010]所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。
[0011]优选的，该第一磁性开关传感器电性连接第九电容C9的一端及第一电阻R1的一端及第三电阻R1的一端，第九电容C9的另一端及第一电阻R1的另一端并电性连接至第二供电端，第三电阻R1的另一端电性连接至所述第一光耦的所述第二接脚。
[0012]优选的，该第一光耦U2的第一接脚电性连接第一稳压二极管的第一端，所述第一稳压二极管ZD1的第二端电性连接至所述第一供电端。
[0013]优选的，该第一稳压二极管选用压降为5.1V稳压二极管。
[0014]优选的，该第二磁性开关传感器电性连接第十电容C10的一端及第八电阻R8的一端及第六电阻R6的一端，所述第十电容C10的另一端电连接第八电阻R8的另一端并电性连接至第二供电端，第六电阻R6的另一端电性连接至所述第一光耦的所述第三接脚。
[0015]优选的，该第一光耦的所述第四接脚电性连接第二稳压二极管的正极端，所述第二稳压二极管的负极端电性连接至所述第一供电端。
[0016]优选的，该第一光耦的第六接脚电性连接第四电阻R4的一端及与非门U3A的第二接脚，所述第四电阻R4的另一端电性第二电阻R2的另一端、第三供电端及第六电容C6的一端，所述第六电容C6的另一端电性接地端。
[0017]优选的，该第一光耦的第七接脚7电性连接第二电阻R2的一端及与非门U3A的第一接脚1，所述第二电阻R2的另一端电性连接第一光耦U2的第八接脚8及第三供电端及第六电容C6的另一端。
[0018]优选的，该非门U3A的第三接脚电性连接第五电阻R5的一端，所述第五电阻R5的另一端电性连接所述第二光耦U5的第二接脚，
[0019]所述第二光耦U5的第一接脚电性连接至第三供电端，
[0020]所述第二光耦U5的第四接脚电性连接至第一供电端，
[0021]第二光耦U5的第三接脚电性连接第七电阻R7的一端及输出端，所述第七电阻R7的另一端电性连接第二供电端。
[0022]优选的，该第二光耦U5的第一接脚电性连接至第八电容C8的一端，第八电容C8的另一端电性连接至第二供电端。
[0023]有益效果
[0024]本申请提出的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，能保证信号传输的稳定性和可靠性，进而提高碳化硅外延设备的可靠性。另外该方式下，通过门电路将四个输入信号转换成一个输入信号，经信号处理电路处理后，保证传输到PLC的高电平处于24V左右，保证信号的可靠性和稳定性。另外该方式下，磁性开关的接线更加简单，方便后期维护，便于传感器的更换，提高了维保效率。
附图说明
[0025]附图用来提供对本公开技术方案的理解，并且构成说明书的一部分，与本公开的实施例一起用于解释本公开的技术方案，并不构成对本公开技术方案的限制。附图中各部件的形状和大小不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。
[0026]图1为现有的将检测气缸当前状态相同信号的磁性开关信号串联的拓扑示意图。
[0027]图2为本申请实施例的隔离电源与检测电路连接的拓扑示意图。
[0028]图3为本申请实施例的2个气缸的磁性开关传感器的信号检测的拓扑示意图。
[0029]图4为本申请实施例的4个气缸的磁性开关传感器的信号检测的拓扑示意图。
具体实施方式
[0030]以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本申请而不限于限制本申请的范围。实施例中采用的实施条件可以如具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
[0031]磁性开关(也称磁控开关、磁性开关传感器)是一种利用磁场信号来控制的线路开关器件。磁性开关是用来检测气缸活塞位置的，即活塞运动的行程。其工作机理：当气缸运动时，气缸活塞上的磁环靠近感应开关时，感应开关被磁化，触点闭合，电路导通。气缸的磁环离开感应开关时，感应开关的触点失电，电路中断，电信号消失。这样可以检测的活塞位置，从而可以控制相应的电磁阀动作。
[0032]接下来结合附图2
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图4来描述本申请提出的用于碳化硅外延设备的反应腔的气缸的磁性开关的检测电路。
[0033]如图2所示为本申请实施例的供电电路的拓扑示意。碳化硅外延设备具有控制板，其可提供2种电压(24V及15V)，利用隔离电源U1将这两种电压隔离。
[0034]该隔离电源U1(也称隔离芯片U1)具有6个接脚(第一至第六接脚)，其中，
[0035]第一接脚1电性连接至电容C1的一端及电容C2的一端至第一供电端(+24VF1)；
[0036]第二接脚2及第三接脚3电性连接并连接至电容C1的另一端及电容C2的另一端及第二供电端(24VCOM)；
[0037]第六接脚6电性连接至电容C4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，所述第一光耦的第五接脚电性接地，第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。2.如权利要求1所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一磁性开关传感器电性连接第九电容C9的一端及第一电阻R1的一端及第三电阻R1的一端，第九电容C9的另一端连接第一电阻R1的另一端并电性连接至第二供电端，第三电阻R1的另一端电性连接至所述第一光耦的所述第二接脚。3.如权利要求2所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一光耦U2的第一接脚电性连接第一稳压二极管的第一端，所述第一稳压二极管ZD1的第二端电性连接至所述第一供电端。4.如权利要求3所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一稳压二极管的压降为5.1V稳压二极管。5.如权利要求1所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第二磁性开关传感器电性连接第十电容C10的一端及第八电阻R8的一端及第六电阻R6的一端，所述第十电容C10的另一端电连接第八电阻R8的另一端并电性连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘中良，向阳，张勇，
申请(专利权)人：芯三代半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：