一种大直径旋转工作台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大直径旋转工作台，包括底座，所述底座上端的中间位置处安装有液压千斤顶，所述液压千斤顶的上方设置有推力轴承，且液压千斤顶与推力轴承可通过支撑梁固定，所述推力轴承的上端面设置有旋转工作台，还包括支撑台，其设置在所述底座上端的两侧及前后端，所述支撑台内部的上端均安装有液压伸缩装置，且液压伸缩装置的输出端延伸至支撑台的外部，还包括升降腔，其开设在所述旋转工作台内部的两侧及前后端。该大直径旋转工作台通过四个方向的压力传感器的检测可以分辨出重心是否偏移，从而可以快速的进行调整，启动液压伸缩装置可以对大直径晶圆进行推动，节约了调整的时间。调整的时间。调整的时间。

【技术实现步骤摘要】
一种大直径旋转工作台


[0001]本技术涉及旋转工作台
，具体为一种大直径旋转工作台。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，晶圆加工时一般放置在工作台上进行加工。
[0003]现有工作台使用可以对晶圆进行放置支撑，但是晶圆加工时需要对其角度进行改变以满足不同位置的加工，而大直径的晶圆转动较为麻烦，会影响晶圆加工的效率，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种大直径旋转工作台。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种大直径旋转工作台，以解决上述
技术介绍
中提出的工作台对于大直径晶圆的转动较为麻烦而影响晶圆加工效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种大直径旋转工作台，包括底座，所述底座上端的中间位置处安装有液压千斤顶，所述液压千斤顶的上方设置有推力轴承，且液压千斤顶与推力轴承可通过支撑梁固定，所述推力轴承的上端面设置有旋转工作台；
[0006]还包括支撑台，其设置在所述底座上端的两侧及前后端，所述支撑台内部的上端均安装有液压伸缩装置，且液压伸缩装置的输出端延伸至支撑台的外部；
[0007]还包括升降腔，其开设在所述旋转工作台内部的两侧及前后端，所述升降腔下方一侧均开设有传动腔，所述升降腔的一侧均转动设置有单螺纹传动杆，所述单螺纹传动杆的一端均焊接有第一转轴，且第一转轴均与升降腔转动连接，所述第一转轴的一端均并延伸至传动腔的内部，且第一转轴均与传动腔转动连接，所述升降腔的内部均转动设置有第二转轴，所述第二转轴的一端均贯穿并延伸至升降腔的外部，且第二转轴均与升降腔滑动配合，所述升降腔的内部均设置有挡板，所述挡板两侧的下端均焊接有升降块，且其中一个升降块与单螺纹传动杆螺纹连接。
[0008]优选的，所述升降腔内部的一侧均固定设置有导向滑杆，所述导向滑杆均贯穿其中一个升降块，且导向滑杆均与升降块滑动配合。
[0009]优选的，所述第一转轴与第二转轴位于升降腔内部的一端均固定设置有锥形齿轮，且锥形齿轮之间啮合连接。
[0010]优选的，所述支撑台内侧的上方均设置有压力传感器，所述压力传感器的上端均设置有垫块，且垫块均与旋转工作台的下端相接触。
[0011]优选的，所述液压伸缩装置的输出端均固定设置有橡胶推块，橡胶推块均为橡胶材质制成，且橡胶推块可根据大直径晶圆尺寸进行更换。
[0012]优选的，所述第二转轴位于传动腔外部的一端均焊接有防滑转块。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术通过在支撑台内部的上端安装有液压伸缩装置，液压伸缩装置的输出端固定设置有橡胶推块，当大直径晶圆需要转动时，利用液压千斤顶将推力轴承和旋转工作台以及大直径晶圆升起，由于推力轴承的作用手动转动旋转工作台即可进行使大直径晶圆转动，使用方便，便于操作。
[0015]2、本技术通过在支撑台内侧的上端设置有压力传感器，当大直径晶圆放置在旋转工作台上端时，其重力会被四个方向的压力传感器检测，通过观察四个方向压力值的大小可以方便的分辨出重心是否偏移，从而通过启动液压伸缩装置可以对大直径晶圆进行推动，可以快速的进行调整，一定程度上节约了调整的时间，橡胶推块的橡胶材质可以避免推动时对大直径晶圆的接触磨损，增加了工作的效率，方便日常的使用。
[0016]3、本技术通过在旋转工作台内部的前后端和两侧均开设有升降腔，通过转动防滑转块可以使单螺纹传动杆转动，单螺纹传动杆转动会带动升降块进行升降，从而通过升降块带动挡板的一端移出升降腔，在液压伸缩装置推动大直径晶圆时避免将大直径晶圆推出旋转工作台，也可以在转动旋转工作台时对大直径晶圆进行限位，一定程度上避免了掉落的风险。
附图说明
[0017]图1为本技术的内部结构正视图；
[0018]图2为本技术的整体结构俯视图；
[0019]图3为本技术的旋转台内部结构俯视图；
[0020]图4为本技术的图1中A区域局部放大图。
[0021]图中：1、底座；2、支撑台；3、旋转工作台；4、液压千斤顶；5、推力轴承；6、液压伸缩装置；7、橡胶推块；8、垫块；9、压力传感器；10、升降腔；11、单螺纹传动杆；12、导向滑杆；13、挡板；14、升降块；15、第一转轴；16、传动腔；17、锥形齿轮；18、第二转轴；19、防滑转块。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种大直径旋转工作台，包括底座1，底座1上端的中间位置处安装有液压千斤顶4，液压千斤顶4的上方设置有推力轴承5，且液压千斤顶4与推力轴承5可通过支撑梁固定，推力轴承5的上端面设置有旋转工作台3；
[0024]还包括支撑台2，其设置在底座1上端的两侧及前后端，支撑台2内部的上端均安装有液压伸缩装置6，且液压伸缩装置6的输出端延伸至支撑台2的外部；
[0025]还包括升降腔10，其开设在旋转工作台3内部的两侧及前后端，升降腔10下方一侧均开设有传动腔16，升降腔10的一侧均转动设置有单螺纹传动杆11，单螺纹传动杆11的一端均焊接有第一转轴15，且第一转轴15均与升降腔10转动连接，第一转轴15的一端均并延伸至传动腔16的内部，且第一转轴15均与传动腔16转动连接，升降腔10的内部均转动设置有第二转轴18，第二转轴18的一端均贯穿并延伸至升降腔10的外部，且第二转轴18均与升
降腔10滑动配合，升降腔10的内部均设置有挡板13，挡板13两侧的下端均焊接有升降块14，且其中一个升降块14与单螺纹传动杆11螺纹连接。
[0026]使用时，利用液压千斤顶4将推力轴承5和旋转工作台3以及大直径晶圆升起，由于推力轴承5的作用手动转动旋转工作台3即可进行使大直径晶圆转动，使用方便，便于操作。
[0027]请参阅图1和图3，升降腔10内部的一侧均固定设置有导向滑杆12，导向滑杆12均贯穿其中一个升降块14，且导向滑杆12均与升降块14滑动配合，另一个升降块14受到导向滑杆12的限位导向作用下，会使升降块14的转动受到轴向限位，从而使升降块14的旋转转化为上下的垂直移动；
[0028]请参阅图4，第一转轴15与第二转轴18位于升降腔10内部的一端均固定设置有锥形齿轮17，且锥形齿轮17之间啮合连接，锥形齿轮17之间的啮合连接可以使第一转轴15与第二转轴18同步的转动；
[0029]请参阅图1，支撑台2内侧的上方均设置有压力传感器9，压力本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大直径旋转工作台，包括底座(1)，所述底座(1)上端的中间位置处安装有液压千斤顶(4)，所述液压千斤顶(4)的上方设置有推力轴承(5)，且液压千斤顶(4)与推力轴承(5)可通过支撑梁固定，所述推力轴承(5)的上端面设置有旋转工作台(3)，其特征在于：还包括支撑台(2)，其设置在所述底座(1)上端的两侧及前后端，所述支撑台(2)内部的上端均安装有液压伸缩装置(6)，且液压伸缩装置(6)的输出端延伸至支撑台(2)的外部；还包括升降腔(10)，其开设在所述旋转工作台(3)内部的两侧及前后端，所述升降腔(10)下方一侧均开设有传动腔(16)，所述升降腔(10)的一侧均转动设置有单螺纹传动杆(11)，所述单螺纹传动杆(11)的一端均焊接有第一转轴(15)，且第一转轴(15)均与升降腔(10)转动连接，所述第一转轴(15)的一端均并延伸至传动腔(16)的内部，且第一转轴(15)均与传动腔(16)转动连接，所述升降腔(10)的内部均转动设置有第二转轴(18)，所述第二转轴(18)的一端均贯穿并延伸至升降腔(10)的外部，且第二转轴(18)均与升降腔(10)滑动配合，所述升降腔(10)的内部均设置有挡板(13)，所述挡板(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘虎，
申请(专利权)人：苏州斯尔特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：