一种研磨石英晶片用游星轮结构制造技术

技术编号:37910030 阅读:12 留言:0更新日期:2023-06-18 12:21
本实用新型专利技术提供了一种研磨石英晶片用游星轮结构,涉及游星轮结构技术领域,包括外轮、定位盘和定位槽,所述外轮可拆卸套设在所述定位盘的外侧,所述定位槽设有多个,多个所述定位槽分布设置在所述定位盘的中心位置处,所述外轮内侧通过第一安装环与所述定位盘的外侧可拆卸装配连接,所述定位槽内可拆卸设有调节环,待加工晶片设置在所述调节环内,所述调节环与晶片适配,所述调节环的外壁通过第二安装环与所述定位槽之间可拆卸设置。本实用新型专利技术通过对定位盘与外轮之间的可拆卸设置和对调节环的可装配设置,便于对同一个游星轮上的定位槽进行不同形状和不同尺寸的更换,从而节省了购买成本。购买成本。购买成本。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨石英晶片用游星轮结构


[0001]本技术涉及游星轮结构
,尤其涉及一种研磨石英晶片用游星轮结构。

技术介绍

[0002]游星轮是应用在玻璃,镜片,硅片,硬盘等各种平面抛光工序的夹具,又被称为抛光治具,抛光垫等,在使用抛光设备对石英晶片进行研磨操作时,会选用与石英晶片与之适配的游星轮,将晶片放置在游星轮上的定位槽内对其进行研磨操作;
[0003]在对石英晶片进行批量加工操作时,由于石英晶片会有大小直径不一样的情况,因此对不同尺寸的晶片进行定位操作时,需要更换不同的游星轮进行使用,即使时相同形状,但游星轮上定位槽的尺寸偏大时,也会导致对晶片的定位效果不好,因此也需要更换不同的游星轮,从而大大增加了对游星轮的购买成本,因此,本技术提出一种研磨石英晶片用游星轮结构,以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本技术提出一种研磨石英晶片用游星轮结构,该研磨石英晶片用游星轮结构通过对定位盘与外轮之间的可拆卸设置和对调节环的可装配设置,便于对同一个游星轮上的定位槽进行不同形状和不同尺寸的更换,从而节省了购买成本。
[0005]为了解决上述的问题,本技术提出一种研磨石英晶片用游星轮结构,包括外轮、定位盘和定位槽,所述外轮可拆卸套设在所述定位盘的外侧,所述定位槽设有多个,多个所述定位槽分布设置在所述定位盘的中心位置处,所述外轮内侧通过第一安装环与所述定位盘的外侧可拆卸装配连接,所述定位槽内可拆卸设有调节环,待加工晶片设置在所述调节环内,所述调节环与晶片适配,所述调节环的外壁通过第二安装环与所述定位槽之间可拆卸设置。
[0006]进一步改进在于:所述外轮的内侧下方设有第一限位环、所述定位盘的外侧下方设有与所述第一限位环适配的第一限位槽,所述第一安装环设置在所述第一限位环与第一限位槽之间。
[0007]进一步改进在于:所述定位槽的内壁下方设有第二限位环,所述调节环的外侧下方设有与所述第二限位环卡合适配的第二限位槽,所述第二安装环设置在所述第二限位环与第二限位槽之间,所述第一安装环与第二安装环的安装结构相同。
[0008]进一步改进在于:所述第一安装环或第二安装环的内外两侧分别设有安装凸块,所述第一限位环与所述第一限位槽的内侧面或所述第二限位槽与第二限位环的内侧面分别设有与所述安装凸块卡合适配的卡合槽。
[0009]进一步改进在于:所述外轮的内侧上方设有滑块,所述定位盘的内部下方和所述第一安装环的侧壁上设有与所述滑块卡合滑动适配的滑槽。
[0010]进一步改进在于:所述第一安装环与所述第二安装环内侧的上下两方均设有开启
槽,所述开启槽均匀设有多个且呈条状结构设置。
[0011]进一步改进在于:所述外轮的外侧设有啮合齿,所述啮合齿的外侧设有耐磨层。
[0012]本技术的有益效果为:该研磨石英晶片用游星轮结构通过根据晶片的形状,选用设有与之适配形状的定位槽的定位盘,使该定位盘通过第一安装环与外轮之间进行限位装配设置,使得定位盘与外轮之间成为一个整体,装配完成后,可将晶片放置在定位槽内,若是定位槽的直径偏大,进而通过选用合适宽度的调节环,将调节环的外侧通过第二安装环与定位槽之间进行卡合装配,装配完成后,将晶片放置在调节后的调节环内壁上,此时的晶片与调节环的内壁适配,进而将游星轮整体装配设置在研磨设备内,并对设置在游星轮中的晶片表面进行研磨操作。
附图说明
[0013]图1为本技术的立体图。
[0014]图2为本技术爆炸图。
[0015]图3为本技术底座外轮与第一安装环拆分状态示意图。
[0016]其中:1、外轮;2、定位盘;3、定位槽;4、第一安装环;5、调节环;6、第二安装环;7、第一限位环;8、第一限位槽;9、第二限位环;10、第二限位槽;11、安装凸块;12、卡合槽;13、滑块;14、滑槽;15、开启槽;16、啮合齿;17、耐磨层。
具体实施方式
[0017]为了加深对本技术的理解,下面将结合实施例对本技术做进一步详述,本实施例仅用于解释本技术,并不构成对本技术保护范围的限定。
[0018]根据图1、2、3所示,本实施例提出了一种研磨石英晶片用游星轮结构,包括外轮1、定位盘2和定位槽3,所述外轮1可拆卸套设在所述定位盘2的外侧,所述定位槽3设有多个,多个所述定位槽3分布设置在所述定位盘2的中心位置处,所述外轮1内侧通过第一安装环4与所述定位盘2的外侧可拆卸装配连接,所述定位槽3内可拆卸设有调节环5,待加工晶片设置在所述调节环5内,所述调节环5与晶片适配,所述调节环5的外壁通过第二安装环6与所述定位槽3之间可拆卸设置,对晶片进行安装时,可根据晶片的形状,选用设有与之适配形状的定位槽3的定位盘2,使该定位盘2通过第一安装环4与外轮1之间进行限位装配设置,使得定位盘2与外轮1之间成为一个整体,装配完成后,可将晶片放置在定位槽3内,若是定位槽3的直径偏大,进而通过选用合适宽度的调节环5,将调节环5的外侧通过第二安装环6与定位槽3之间进行卡合装配,装配完成后,将晶片放置在调节后的调节环5内壁上,此时的晶片与调节环5的内壁适配,进而将游星轮整体装配设置在研磨设备内,并对设置在游星轮中的晶片表面进行研磨操作。
[0019]所述外轮1的内侧下方设有第一限位环7、所述定位盘2的外侧下方设有与所述第一限位环7适配的第一限位槽8,所述第一安装环4设置在所述第一限位环7与第一限位槽8之间,通过第一限位环7与第一限位槽8的卡合适配,便于对外轮1与定位盘2之间进行初步限位,通过在第一限位环7与第一限位槽8之间设置第一安装环4,有效增加了外轮1与定位盘2之间装配的稳定性。
[0020]所述定位槽3的内壁下方设有第二限位环9,所述调节环5的外侧下方设有与所述
第二限位环9卡合适配的第二限位槽10,所述第二安装环6设置在所述第二限位环9与第二限位槽10之间,所述第一安装环4与第二安装环6的安装结构相同,通过第二限位环9与第二限位槽10的卡合适配,便于对调节环5与定位槽3之间进行初步限位,通过在第二限位环9与第二限位槽10之间设置第二安装环6,有效增加了调节环5与定位槽3之间装配的稳定性。
[0021]所述第一安装环4或第二安装环6的内外两侧分别设有安装凸块11,所述第一限位环7与所述第一限位槽8的内侧面或所述第二限位槽10与第二限位环9的内侧面分别设有与所述安装凸块11卡合适配的卡合槽12,通过安装凸块11与卡合槽12的卡合适配,有效增加了第一安装环4或第二安装环6与其正反面结构装配的牢固性,使得装配更加稳定。
[0022]所述外轮1的内侧上方设有滑块13,所述定位盘2的内部下方和所述第一安装环4的侧壁上设有与所述滑块13卡合滑动适配的滑槽14,通过滑块13与滑槽14的滑动适配,便于对定位盘2与外轮1之间可通过滑动卡合的方式进行滑动,有效避免在转动研磨过程中,外轮1与定位盘2之间发生转动。
[0023]所述第一本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨石英晶片用游星轮结构,其特征在于:包括外轮(1)、定位盘(2)和定位槽(3),所述外轮(1)可拆卸套设在所述定位盘(2)的外侧,所述定位槽(3)设有多个,多个所述定位槽(3)分布设置在所述定位盘(2)的中心位置处,所述外轮(1)内侧通过第一安装环(4)与所述定位盘(2)的外侧可拆卸装配连接,所述定位槽(3)内可拆卸设有调节环(5),待加工晶片设置在所述调节环(5)内,所述调节环(5)与晶片适配,所述调节环(5)的外壁通过第二安装环(6)与所述定位槽(3)之间可拆卸设置。2.根据权利要求1所述的一种研磨石英晶片用游星轮结构,其特征在于:所述外轮(1)的内侧下方设有第一限位环(7)、所述定位盘(2)的外侧下方设有与所述第一限位环(7)适配的第一限位槽(8),所述第一安装环(4)设置在所述第一限位环(7)与第一限位槽(8)之间。3.根据权利要求2所述的一种研磨石英晶片用游星轮结构,其特征在于:所述定位槽(3)的内壁下方设有第二限位环(9),所述调节环(5)的外侧下方设有与所述第二限位环(9)卡合适配的第二限位槽(10),所述第二安装环(6)设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员:王达朱联联
申请(专利权)人:上海朗太精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:

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