本实用新型专利技术涉及探针卡技术领域，尤其涉及一种用于探针卡探针修调的装置，包括平板体，平板体中设置有：第一支撑柱、第二支撑柱和防滑块，第一支撑柱和第二支撑柱均活动设置于平板体的一侧，防滑块均固定安装于第一支撑柱和第二支撑柱上；第一螺纹孔、第二螺纹孔和螺栓，第一螺纹孔开设于平板体中，第二螺纹孔均开设于第一支撑柱和第二支撑柱上，螺栓活动设置于第二螺纹孔中；调节机构，且其调节放置探针卡的角度与高度；本实用新型专利技术通过将探针卡底端放置到横杆上，而探针卡上端放置在第一支撑柱和第二支撑柱的防滑块上，使得探针卡处于倾斜状态，同时利用防滑块的防滑作用，避免探针卡从平板体上滑落造成撞针事故。平板体上滑落造成撞针事故。平板体上滑落造成撞针事故。
【技术实现步骤摘要】
一种用于探针卡探针修调的装置
[0001]本技术涉及探针卡
，尤其涉及一种用于探针卡探针修调的装置。
技术介绍
[0002]由中国专利公告号CN208921758U公开的探针卡，该装置包括包括：多个探针座，各探针座中设置有至少一根探针；其中，至少两个相邻探针座之间设置有支架，用于调整相应两个相邻探针座之间的间距，以满足待测试晶圆上的目标量测区域的测试；致冷晶片，与相应支架相连接，用于改变相应支架之间的长度。该技术可以根据待测试晶圆测试时的环境温度变化，自动调整相应探针座之间的间距，以实现探针位置的修正，从而可以提高探针与量测区域之间的对准精确度，但上述技术中仍因为结构所限导致使用过程中存在问题：
[0003]现有的装置以及上述技术中，当需要对探针卡进行修直探针，修胶，拨间距，清理毛屑等操作时，常规的方法是通过手托探针卡，再使用显微镜对探针卡进行维修，但由于探针卡是大体积的圆形结构，仅依靠单手进行托举，无法保证探针卡在维修过程中的稳定，极易造成探针卡的脱落，进而导致撞针事故的发生。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中容易造成探针卡出现撞针事故的问题，而提出的一种用于探针卡探针修调的装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种用于探针卡探针修调的装置，包括平板体，所述平板体中设置有：
[0007]第一支撑柱、第二支撑柱和防滑块，所述第一支撑柱和第二支撑柱均活动设置于平板体的一侧，且第一支撑柱和第二支撑柱用于支撑探针卡，所述防滑块均固定安装于第一支撑柱和第二支撑柱上；
[0008]第一螺纹孔、第二螺纹孔和螺栓，所述第一螺纹孔开设于平板体中，所述第二螺纹孔均开设于第一支撑柱和第二支撑柱上，所述螺栓活动设置于第二螺纹孔中；
[0009]调节机构，所述调节机构设置于平板体中，且其调节放置探针卡的角度与高度。
[0010]优选地，所述第一螺纹孔和第二螺纹孔均水平设置，所述螺栓分别配套安装于第一螺纹孔和第二螺纹孔中。
[0011]优选地，所述调节机构包括：
[0012]滑槽和长孔，所述滑槽开设于平板体中端位置上，所述长孔分别开设于平板体两端位置中；
[0013]竖杆和横杆，所述竖杆设置于滑槽中，所述横杆固定连接于竖杆上，且横杆用于放置探针卡的底端；
[0014]长杆和转动杆，所述长杆一体成型于竖杆上，所述转动杆转动安装于长杆上；
[0015]短轭和固定孔，所述短轭一体成型于转动杆上，所述固定孔开设于平板体侧端上。
[0016]优选地，所述滑槽与长孔相连通，所述竖杆滑动套设于滑槽中。
[0017]优选地，所述长杆滑动套设于长孔中，且长杆通过长孔延伸至平板体外端。
[0018]优选地，所述短轭活动套设于固定孔中，所述固定孔直线等距设置于平板体上。
[0019]与现有技术相比，本技术具备以下优点：
[0020]1、本技术通过将探针卡底端放置到横杆上，而探针卡上端放置在第一支撑柱和第二支撑柱的防滑块上，使得探针卡处于倾斜状态，同时利用防滑块的防滑作用，避免探针卡从平板体上滑落造成撞针事故。
[0021]2、本技术通过推动长杆在长孔中滑动，长杆带动竖杆在滑槽中滑动，并带动横杆进行运动，以调节探针卡的高度与角度，方便对探针卡的探针进行维修，同时转动转动杆进行偏转，将短轭套设于其中一个固定孔中，固定横杆的位置，以稳定探针卡的状态。
附图说明
[0022]图1为本技术提出的一种用于探针卡探针修调的装置的结构示意图；
[0023]图2为本技术中图1的A部分结构放大示意图；
[0024]图3为本技术提出的一种用于探针卡探针修调的装置的俯视图。
[0025]图中：1、平板体；2、第一支撑柱；3、第二支撑柱；4、防滑块；5、第一螺纹孔；6、第二螺纹孔；7、螺栓；8、滑槽；9、长孔；10、竖杆；11、横杆；12、长杆；13、转动杆；14、短轭；15、固定孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]参照图1
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图3，一种用于探针卡探针修调的装置，包括平板体1，平板体1中设置有：
[0028]第一支撑柱2、第二支撑柱3和防滑块4，可使用表面粗糙度较大的材料制成防滑块4，避免放置的探针卡出现滑动发生撞针事故，第一支撑柱2和第二支撑柱3均活动设置于平板体1的一侧，且第一支撑柱2和第二支撑柱3用于支撑探针卡，防滑块4均固定安装于第一支撑柱2和第二支撑柱3上；
[0029]第一螺纹孔5、第二螺纹孔6和螺栓7，第一螺纹孔5开设于平板体1中，第二螺纹孔6均开设于第一支撑柱2和第二支撑柱3上，利用螺栓7将第一支撑柱2和第二支撑柱3固定在平板体1上；
[0030]调节机构，调节机构设置于平板体1中，且其调节放置探针卡的角度与高度。
[0031]第一螺纹孔5和第二螺纹孔6均水平设置，螺栓7分别配套安装于第一螺纹孔5和第二螺纹孔6中。
[0032]调节机构包括：
[0033]滑槽8和长孔9，滑槽8开设于平板体1中端位置上，长孔9分别开设于平板体1两端位置中；
[0034]竖杆10和横杆11，竖杆10设置于滑槽8中，横杆11固定连接于竖杆10上，且横杆11用于放置探针卡的底端，而探针卡上端依靠防滑块4上，让探针卡处于倾斜状态，以便于对探针卡进行维修；
[0035]长杆12和转动杆13，长杆12一体成型于竖杆10上，转动杆13转动安装于长杆12上；通过推动长杆12带动横杆11进行移动，进而改变探针卡的角度与高度，方便使用显微镜对探针卡进行维修；
[0036]短轭14和固定孔15，短轭14一体成型于转动杆13上，固定孔15开设于平板体1侧端上。
[0037]滑槽8与长孔9相连通，竖杆10滑动套设于滑槽8中。
[0038]长杆12滑动套设于长孔9中，且长杆12通过长孔9延伸至平板体1外端。
[0039]短轭14活动套设于固定孔15中，固定孔15直线等距设置于平板体1上；在调节好探针卡的角度后，转动转动杆13，将短轭14套设于固定孔15中，进而固定横杆11的位置，以稳定探针卡的状态。
[0040]本技术可通过以下操作方式阐述其功能原理：
[0041]将平板体1的第一螺纹孔5与第二螺纹孔6进行对齐，把螺栓7分别安装在第一螺纹孔5和第二螺纹孔6中，进而将第一支撑柱2和第二支撑柱3与平板体1进行固定；
[0042]再将探针卡底端放置到横杆11上，而探针卡上端放置在第一支撑柱2和第二支撑柱3的防滑块4上，使得探针卡处于倾斜状态，此时推动长杆12在长孔9中滑动，长杆12带动竖杆10在滑槽8中滑动，并带动横杆11本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于探针卡探针修调的装置，包括平板体(1)，其特征在于，所述平板体(1)中设置有：第一支撑柱(2)、第二支撑柱(3)和防滑块(4)，所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)均活动设置于平板体(1)的一侧，且第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)用于支撑探针卡，所述防滑块(4)均固定安装于第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)上；第一螺纹孔(5)、第二螺纹孔(6)和螺栓(7)，所述第一螺纹孔(5)开设于平板体(1)中，所述第二螺纹孔(6)均开设于第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)上，所述螺栓(7)活动设置于第二螺纹孔(6)中；调节机构，所述调节机构设置于平板体(1)中，且其调节放置探针卡的角度与高度。2.根据权利要求1所述的一种用于探针卡探针修调的装置，其特征在于，所述第一螺纹孔(5)和第二螺纹孔(6)均水平设置，所述螺栓(7)分别配套安装于第一螺纹孔(5)和第二螺纹孔(6)中。3.根据权利要求1所述的一种用于探针卡探针修调的装置，其特征在于，所述调节机构包括：滑槽(8)和长孔(9)，所述滑槽(8)开设于平...
【专利技术属性】
技术研发人员：张园，高雪，
申请(专利权)人：米心半导体江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：
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