长晶炉循环水回水装置制造方法及图纸

本公开提供一种长晶炉循环水回水装置，用于解决现有长晶炉回水装置冷却效果差导致机台故障率高的问题。该长晶炉循环水回水装置包括：回水盒(14)，回水盒(14)的顶部水平排置有若干进水口(18)，回水盒(14)的底部设有总出水口；每个进水口连接一个高温回水支管；直管(17)，沿竖直方向设置，直管(17)的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及排水软管(16)，排水软管(16)的一端连接直管(17)的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。本装置在回水盒的进水口水平排置，出水方式改为竖直向下的下出水，回水盒中不存在压力，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率，方便各个支管安装拆卸，提高了安装维修效率。提高了安装维修效率。提高了安装维修效率。

【技术实现步骤摘要】
长晶炉循环水回水装置


[0001]本公开涉及长晶炉水处理
，尤其涉及一种长晶炉循环水回水装置。

技术介绍

[0002]长晶炉作为晶体生长的一种高温设备，生产工艺要求设备具有良好的循环水冷却性能，以保证其不会因高温产生运行故障，因此其冷却系统及其重要，而回水装置为冷却系统中的一个重要组成部分。
[0003]现有的长晶炉循环水回水装置的结构如图1所示，右侧的多路高温回水支管通过宝塔接头13直接接入回水总管10，每路高温回水支管出口设置有回水温度传感器11、流量计12。该种回水装置中，来自于右侧的多路高温回水通过供水泵将高温回水压进回水总管10，然后混合高温回水排出回水总管10。此种回水装置虽结构较为简单。
[0004]但是，这种回水方式由于回水总管10中存在水压，回水总管10中的水压反而会对接入的各支管中的水流形成阻碍，从而使各个支管中的水流量减小，进而降低了冷却效果，导致长晶炉机台的故障率较高。

技术实现思路

[0005]本公开所要解决的一个技术问题是：现有长晶炉回水装置冷却效果差导致机台故障率高的问题。
[0006]为解决上述技术问题，本公开实施例提供一种长晶炉循环水回水装置，包括：
[0007]回水盒，回水盒的顶部水平排置有若干进水口，回水盒的底部设有总出水口；每个进水口连接一个高温回水支管；
[0008]直管，沿竖直方向设置，直管的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及
[0009]排水软管，排水软管的一端连接直管的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。<br/>[0010]其中，排水软管通过重力排水方式进行排水。
[0011]在一些实施例中，回水盒的底部为上宽下小的漏斗形状。
[0012]在一些实施例中，回水盒的至少一个侧面为透明封板。将回水盒外侧采用透明板材作为封板，可肉眼观察到各个回水支管的水流状况。
[0013]在一些实施例中，每个高温回水支管通过第一宝塔接头与回水盒的进水口连接。
[0014]在一些实施例中，第一宝塔接头上设有流量计，第一宝塔接头的进水端设有回水温度传感器。
[0015]在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括：低温进水模块。
[0016]在一些实施例中，低温进水模块包括：
[0017]水泵；
[0018]金属软管，其与水泵连接，用于输送经水泵增压后的低温进水；金属软管的进水侧依次设置有过滤器、第一球阀；
[0019]进水主管，其连接于金属软管的出水侧，进水主管上安装有用于检测进水主管内
的低温进水水压的水压表；
[0020]若干根低温进水支管，每根低温进水支管的一端依次通过第二宝塔接头、第二球阀连接至进水主管，另一端通过发热体以吸收发热体的热量后连接至高温回水支管；第二球阀和进水主管之间的连接管路上设有流量传感器和进水温度传感器。
[0021]在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括：
[0022]显示器，流量传感器、进水温度传感器、回水温度传感器和流量计的输出端与显示器连接；流量传感器、进水温度传感器、回水温度传感器和流量计将自身采集的低温进水支管的流量数据和进水温度数据以及高温回水支管的回水温度数据和流量数据输出到显示器上实时显示。
[0023]通过上述技术方案，本公开提供的长晶炉循环水回水装置通过对现有的高温回水总管进行改进，设计了新的回水盒，回水盒上进水口水平排置，出水方式改为竖直向下的下出水，依靠重力让回水盒中的水流出，回水盒中不存在压力，不会对各个支管的水流量造成影响，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率；此外，由于水盒上进水口水平排置，方便各个支管安装拆卸，提高了安装维修效率；再者，本公开提供的装置能够可视化各支管的流量大小和水温，便于及时发现问题，进一步提高了长晶炉循环水回水装置的维护效率。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是现有的长晶炉循环水回水装置的结构示意图；
[0026]图2是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的局部结构示意图；
[0027]图3是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的整体结构示意图。
[0028]附图标记说明：
[0029]1、金属软管；2、过滤器；3、第一球阀；4、进水主管；5、第二宝塔接头；6、第二球阀；7、流量传感器；8、进水温度传感器；9、水压表；10、回水总管；11、回水温度传感器；12、流量计；13、第一宝塔接头；14、回水盒；15、透明封板；16、排水软管；17、直管。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本公开的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本公开的原理，但不能用来限制本公开的范围，本公开可以以许多不同的形式实现，不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
[0031]图2是本公开实施例公开的长晶炉循环水回水装置的结构示意图，如图2中所示，本公开实施例提供的长晶炉循环水回水装置包括：
[0032]回水盒14，回水盒14的顶部水平排置有若干进水口18，回水盒14的底部设有总出水口；每个进水口18连接一个高温回水支管；
[0033]直管17，沿竖直方向设置，直管17的顶端入口连接回水盒的总出水口；以及
[0034]排水软管16，排水软管16的一端连接直管17的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。
[0035]在一些实施例中，如图2所示，回水盒14的底部为上宽下小的漏斗形状。
[0036]本公开提供的长晶炉循环水回水装置通过对现有的高温回水总管进行改进，设计了新的回水盒，回水盒上进水口18水平排置，出水口通过竖直向下的直管段外接排水软管，出水方式改为竖直向下的下出水，依靠重力让回水盒中的水流出，回水盒中不存在压力，不会对各个支管的水流量造成影响，能够提高长晶炉循环水冷却效果，降低机台故障率
[0037]在一些实施例中，如图2所示，回水盒14的至少一个侧面为透明封板15。则可以通过回水盒14上的透明封板15观测到回水流量情况。
[0038]在一些实施例中，如图2所示，每个高温回水支管通过第一宝塔接头13与回水盒14的进水口18连接。
[0039]在一些实施例中，如图2所示，第一宝塔接头13上设有流量计12，第一宝塔接头13的进水端设有回水温度传感器11。高温回水通过回水盒上方的流量计12和回水温度传感器11后进入回水盒14。流量计12用于采集高温回水支管的流量数据，回水温度传感器11用于采集高温回水支管的回水温度数据，以便于实时监控。
[0040]在一些实施例中，长晶炉循环水回水装置还包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.长晶炉循环水回水装置，其特征在于，包括：回水盒(14)，所述回水盒(14)的顶部水平排置有若干进水口(18)，所述回水盒(14)的底部设有总出水口；每个所述进水口(18)连接一个高温回水支管；直管(17)，沿竖直方向设置，所述直管(17)的顶端入口连接所述回水盒的总出水口；以及排水软管(16)，所述排水软管(16)的一端连接所述直管(17)的底端出口连接长晶炉循环水排水系统。2.根据权利要求1所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述回水盒(14)的底部为上宽下小的漏斗形状。3.根据权利要求1或2所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述回水盒(14)的至少一个侧面为透明封板(15)。4.根据权利要求1所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，每个高温回水支管通过第一宝塔接头(13)与所述回水盒(14)的进水口(18)连接。5.根据权利要求4所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述第一宝塔接头(13)上设有流量计(12)，所述第一宝塔接头(13)的进水端设有回水温度传感器(11)。6.根据权利要求5所述的长晶炉循环水回水装置，其特征在于，所述长晶炉循环水回水装置还包括：低温进水模块。7.根据权利要求6所...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱苏宁，
申请(专利权)人：芜湖中浦智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：