【技术实现步骤摘要】
光学镜片平面面形全口径补偿器
[0001]本技术涉及一种补偿器,具体的说是光学镜片平面面形全口径补偿器。
技术介绍
[0002]光学平面镜片,尤其是径厚比大的薄镜,在表面抛光过程中,其自身状态易受周围环境的影响,因此,抛光过程中要想获得微纳米高精度平面,困难度相当大。
技术实现思路
[0003]本技术旨在克服现有技术的缺陷,提供一种光学镜片平面面形全口径补偿器,解决光学镜片高精度的抛光问题。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术是这样实现的:
[0005]一种光学镜片平面面形全口径补偿器,其特征在于:它包括全口径补偿器本体、真空管路接头、压力环管路接头、真空气路、压力环气囊和真空吸盘;所述全口径补偿器本体内设有压力环气囊,真空气路连接压力环气囊并为其提供气体,真空气路顶端安装真空管路接头,压力环气囊顶端安装压力环管路接头;所述压力环气囊底部在未充气时与全口径补偿器本体底部持平,充气后,压力环气囊底部凸起并高于全口径补偿器本体底部;所述全口径补偿器本体底部边缘四周设有真空吸盘。
[0006]所述压力环气囊有两个,第一压力环气囊和第二压力环气囊,分别位于全口径补偿器本体内的外圈和内圈;压力环管路接头有两个,第一压力环管路接头和第二压力环管路接头;第一压力环气囊和第二压力环气囊分别安装第一压力环管路接头和第二压力环管路接头。
[0007]本技术的有益效果是:镜片可以根据检测数据的结果进行凹凸规则形变;补偿器与镜片结合成整体,可以整体检测,可以获得补偿变形后的镜片精度;补偿 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学镜片平面面形全口径补偿器,其特征在于:它包括全口径补偿器本体、真空管路接头、压力环管路接头、真空气路、压力环气囊和真空吸盘;所述全口径补偿器本体内设有压力环气囊,真空气路连接压力环气囊并为其提供气体,真空气路顶端安装真空管路接头,压力环气囊顶端安装压力环管路接头;所述压力环气囊底部在未充气时与全口径补偿器本体底部持平,充气后,压力环气囊底部凸起并高于全口径补...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈健,
申请(专利权)人:上海中晶企业发展有限公司,
类型:新型
国别省市:
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