工业用机器人及工业用机器人的控制方法技术

一种工业用机器人及其控制方法，在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，即使保持搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动，也能防止装载于另一个装载部的搬运对象物与保持于一个装载部的搬运对象物的干涉，且能使上下方向上的两个装载部的间隔变窄。在工业用机器人(1)中，手(4)具备用于检测在装载部(37)上是否装载有搬运对象物(2)的检测机构。在该工业用机器人中，在保持搬运对象物的装载部(17)相对于手基部(18)以水平方向为转动的轴向转动时，装载部以装载搬运对象物的一侧的面朝向上侧的状态停止。另外，当通过检测机构检测到在装载部上未装载搬运对象物时，使装载部转动而使装载部保持的搬运对象物上下翻转。部转动而使装载部保持的搬运对象物上下翻转。部转动而使装载部保持的搬运对象物上下翻转。

【技术实现步骤摘要】
工业用机器人及工业用机器人的控制方法


[0001]本专利技术涉及用于搬运搬运对象物的工业用机器人。另外，本专利技术涉及用于搬运搬运对象物的工业用机器人的控制方法。

技术介绍

[0002]以往，公知有把持形成为圆板状的基板和在对基板进行水蒸气退火处理时使用的圆环状的片状部件并进行搬运的搬运机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的搬运机器人具备：把持基板及片状部件的把持手；以及使把持手三维移动的移动机构。移动机构具备：基台；升降机构，其以能够升降的方式设置在基台上；以及多关节臂，其以能够转动且能够伸缩的方式设置在升降机构上。另外，移动机构具备方向变更机构，该方向变更机构使把持手以与水平方向平行的水平轴心为中心转动，使把持手把持的基板和片状部件上下翻转。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本特开2007
‑
158170号公报

技术实现思路

[0004]作为搬运半导体晶片等搬运对象物的工业用机器人，本申请的专利技术人开发了具备装载搬运对象物的两个手的工业用机器人。两个手具备装载搬运对象物的装载部。本申请的专利技术人研究了在该工业用机器人中，以两个手中的一个手的装载部配置在另一个手的装载部的上侧的方式将两个装载部配置成在上下方向上隔开间隔的状态。另外，本申请的专利技术人研究了在该工业用机器人中，如专利文献1所记载的把持手那样，使两个装载部中的至少一个装载部以水平方向为转动的轴向进行转动。
[0005]在该工业用机器人的情况下，在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，当装载有搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动时，需要使装载于另一个装载部的搬运对象物与装载于一个装载部的搬运对象物不干涉。另一方面，若将上下方向上的两个装载部的间隔设定为：在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，当装载有搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动时，使装载于另一个装载部的搬运对象物与装载于一个装载部的搬运对象物不干涉，则上下方向上的两个装载部的间隔变大，工业用机器人大型化，并且两个装载部的动作区域有可能变大。
[0006]因此，本专利技术的课题在于提供一种工业用机器人，该工业用机器人具备具有能够装载搬运对象物的装载部的两个手，在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，即使保持搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动，也能够防止装载于另一个装载部的搬运对象物与保持于一个装载部的搬运对象物的干涉，并且能够使上下方向上的两个装载部的间隔变窄。
[0007]另外，本专利技术的课题在于提供一种工业用机器人的控制方法，该工业用机器人具
备具有能够装载搬运对象物的装载部的两个手，在两个装载部在上下方向上重叠的状态下，即使保持搬运对象物的一个装载部以水平方向为转动的轴向转动，也能够防止装载于另一个装载部的搬运对象物与保持于一个装载部的搬运对象物的干涉，并且能够使上下方向上的两个装载部的间隔变窄。
[0008]为了解决上述课题，本专利技术的工业用机器人是用于搬运搬运对象物的工业用机器人，其特征在于，具备：装载搬运对象物的第一手及第二手；以及用于控制工业用机器人的控制部，第一手具备：能够装载搬运对象物并且能够保持所装载的搬运对象物的第一装载部；构成第一手的基端侧部分的第一手基部；以及以水平方向为转动的轴向使第一装载部相对于第一手基部至少转动180
°
的转动机构，第二手具备：能够装载搬运对象物的第二装载部；以及用于检测在第二装载部上是否装载有搬运对象物的检测机构，第一装载部和第二装载部中的任意一方配置在第一装载部和第二装载部中的任意另一方的上侧，若将第二装载部的装载搬运对象物的一侧的面作为装载面，则在保持搬运对象物的第一装载部相对于第一手基部转动时，第二装载部以装载面朝向上侧或下侧的状态停止，控制部在由检测机构检测到在第二装载部上未装载搬运对象物时，使第一装载部转动而使第一装载部保持的搬运对象物上下翻转。
[0009]另外，为了解决上述课题，本专利技术的工业用机器人的控制方法中，该工业用机器人具备装载搬运对象物的第一手和第二手，第一手具备：能够装载搬运对象物并且能够保持所装载的搬运对象物的第一装载部；构成第一手的基端侧部分的第一手基部；以及以水平方向为转动的轴向使第一装载部相对于第一手基部至少转动180
°
的转动机构，第二手具备：能够装载搬运对象物的第二装载部；以及用于检测在第二装载部上是否装载有搬运对象物的检测机构，第一装载部和第二装载部中的任意一方配置于第一装载部和第二装载部中的任意另一方的上侧，若将第二装载部的装载搬运对象物的一侧的面作为装载面，则在保持搬运对象物的第一装载部相对于第一手基部转动时，第二装载部以装载面朝向上侧或下侧的状态停止，该工业用机器人的控制方法的特征在于，在由通过检测机构检测到在第二装载部上未装载搬运对象物时，使第一装载部转动而使第一装载部保持的搬运对象物上下翻转。
[0010]在本专利技术中，第二手具备用于检测在第二装载部上是否装载有搬运对象物的检测机构。另外，在本专利技术中，当通过检测机构检测到在第二装载部上未装载搬运对象物时，使第一装载部转动而使第一装载部保持的搬运对象物上下翻转。
[0011]因此，在本专利技术中，即使使上下方向上的第一装载部与第二装载部之间的间隔变窄，在第一装载部与第二装载部在上下方向上重叠的状态下，当保持搬运对象物的第一装载部以水平方向为转动的轴向转动时，装载于第二装载部的搬运对象物与保持于第一装载部的搬运对象物也不会发生干涉。即，在本专利技术中，在第一装载部与第二装载部在上下方向上重叠的状态下，即使保持搬运对象物的第一装载部以水平方向为转动的轴向转动，也能够防止装载于第二装载部的搬运对象物与保持于第一装载部的搬运对象物的干涉，并且能够使上下方向上的第一装载部与第二装载部的间隔变窄。
[0012]在本专利技术中，例如，工业用机器人具备：第一臂，其前端侧以能够转动的方式连接有第一手；第二臂，其前端侧以能够转动的方式连接有第二手；以及主体部，其供第一臂的基端侧和第二臂的基端侧以能够转动的方式连接，第一手能够以上下方向为转动的轴向相
对于第一臂转动，第二手能够以上下方向为转动的轴向相对于第二臂转动，第一臂和第二臂能够以上下方向为转动的轴向相对于主体部转动，第一臂能够在第一手的前端接近主体部的方向和第一手的前端远离主体部的方向上伸缩，第二臂能够在第二手的前端接近主体部的方向和第二手的前端远离主体部的方向上伸缩，在处于第一臂收缩并且第二臂收缩的规定的基准状态时，第一装载部和第二装载部在上下方向上重叠，控制部在处于基准状态时，当通过检测机构检测到在第二装载部上未装载搬运对象物时，使第一装载部转动而使第一装载部保持的搬运对象物上下翻转。
[0013]在本专利技术中，例如，搬运对象物形成为圆板状，第一装载部和第二装载部具备装载搬运对象物的直线状的两个装载部主体，两个装载部主体相互平行地配置，并且在与装载部主体的长度方向正交的方向上以隔开间隔的状态配置。在该情况下，在使第一装载部所保持的搬运对象物上下翻转的过程中，第一装载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工业用机器人，用于搬运搬运对象物，其特征在于，具备：第一手及第二手，该第一手及第二手装载所述搬运对象物；以及控制部，该控制部用于控制所述工业用机器人，所述第一手具备：第一装载部，该第一装载部能够装载所述搬运对象物，并且能够保持所装载的所述搬运对象物；第一手基部，该第一手基部构成所述第一手的基端侧部分；以及转动机构，该转动机构以水平方向为转动的轴向使所述第一装载部相对于所述第一手基部至少转动180
°
，所述第二手具备：第二装载部，该第二装载部能够装载所述搬运对象物；以及检测机构，该检测机构用于检测所述搬运对象物是否装载于所述第二装载部，所述第一装载部和所述第二装载部中的任意一方配置在所述第一装载部和所述第二装载部中的任意另一方的上侧，将所述第二装载部的装载所述搬运对象物的一侧的面作为装载面，在保持所述搬运对象物的所述第一装载部相对于所述第一手基部转动时，所述第二装载部以所述装载面朝向上侧或下侧的状态停止，所述控制部在由所述检测机构检测到所述第二装载部上未装载所述搬运对象物时，使所述第一装载部转动而使所述第一装载部保持的所述搬运对象物上下翻转。2.根据权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，具备：第一臂，在该第一臂的前端侧以能够转动的方式连接有所述第一手；第二臂，在该第二臂的前端侧以能够转动的方式连接有所述第二手；以及主体部，该主体部供所述第一臂的基端侧和所述第二臂的基端侧以能够转动的方式连接，所述第一手能够以上下方向为转动的轴向相对于所述第一臂转动，所述第二手能够以上下方向为转动的轴向相对于所述第二臂转动，所述第一臂和所述第二臂能够以上下方向为转动的轴向相对于所述主体部转动，所述第一臂能够在所述第一手的前端接近所述主体部的方向和所述第一手的前端远离所述主体部的方向上伸缩，所述第二臂能够在所述第二手的前端接近所述主体部的方向和所述第二手的前端远离所述主体部的方向上伸缩，在成为所述第一臂收缩且所述第二臂收缩的规定的基准状态时，所述第一装载部和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：细川正己，村田渉，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：