一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器制造方法及图纸

技术编号:37888233 阅读:9 留言:0更新日期:2023-06-18 11:52
本申请公开了一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,属于MPCVD生长技术领域,包括静音箱,所述静音箱的内部分别固定连通有进风管和出风管,静音箱的内壁滑动连接有散热板,静音箱的上表面固定连接有密封板,密封板的底面固定连接有固定架,固定架的内壁固定连接有若干个相同的吸音板,静音箱的内底壁固定连接有缓震板,缓震板的上表面固定连接有限位块,限位块的内壁固定连接有安装架,安装架的外表面固定两组连接块。该一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,通过设置吸音板和消音王,能够将风冷设备在使用过程中产出的噪音吸收和消减,能够降低MPCVD生产过程中风冷设备产生的噪音,改良了工作人员的工作环境。境。境。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器


[0001]本申请属于MPCVD生长
,尤其涉及一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高品质金刚石的首选方法,这是因为与产生等离子体的其他方法相比,微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好和等离子体密度高等一系列优点。
[0003]在制备高品质金刚石的过程中会产生热量,一般需要配备风冷设备共同使用,以确保制备金刚石所需要的温度能够保持最佳温度,避免因为温度过高产生金刚石质量下降的情况,传统的风冷设备在使用中都会出现震动,产生较大的噪音,不仅不利于风冷设备的稳定性,而且工作人员长时间处于高噪音的工作环境中,会对工作人员的身心造成危害,而且还会降低工作人员的工作效率。
[0004]为此,我们提出来一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是为了解决现有技术中,风冷设备在使用过程中会出现震动,产生较大的噪音,会危害工作人员的身心健康,还会影响到工作人员工作效率的问题,而提出的一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器。
[0006]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0007]一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,包括静音箱,所述静音箱的内部分别固定连通有进风管和出风管,所述静音箱的内壁滑动连接有散热板,所述静音箱的上表面固定连接有密封板,所述密封板的底面固定连接有固定架,所述固定架的内壁固定连接有若干个相同的吸音板,所述静音箱的内底壁固定连接有缓震板,所述缓震板的上表面固定连接有限位块,所述限位块的内壁固定连接有安装架,所述安装架的外表面固定两组连接块,每组所述连接块相互远离的一侧面均与静音箱的内壁固定连接,所述安装架的内部设置有风冷设备,所述安装架的内壁固定连接有两个消音网。
[0008]优选的,所述静音箱的底面固定连接有两组支撑柱,每组所述支撑柱的底端均固定连接有两个触地板。
[0009]优选的,所述进风管和出风管的外表面均固定连接有缓震环,两个所述缓震环的外表面均与静音箱的内壁固定连接。
[0010]优选的,所述散热板的左侧面固定连接有拉手,所述拉手的外表面套设有护手。
[0011]优选的,所述固定架的正面和背面均固定连接有连接板,两个所述连接板的上表面均与密封板的底面固定连接。
[0012]优选的,每个所述连接板的内壁均螺纹连接有两个固定螺栓,每个所述固定螺栓
的外表面均与密封板的内壁螺纹连接。
[0013]优选的,每个所述固定螺栓的外表面均固定连接有垫片,每个所述垫片的上表面均与连接板的底面相接触。
[0014]优选的,所述安装架的内壁固定连接有三个固定杆,每个所述固定杆的外表面均与风冷设备的外表面固定连接。
[0015]综上所述,本申请的技术效果和优点:
[0016]1、通过设置限位架、缓震板、连接块和安装架,能够使风冷设备在使用过程中保持平稳,限定风冷设备的位置,避免风冷设备在使用过程中出现晃动,能够保持生产过程的稳定性,提高产出金刚石的质量;
[0017]2、通过设置吸音板和消音王,能够将风冷设备在使用过程中产出的噪音吸收和消减,能够降低MPCVD生产过程中风冷设备产生的噪音,改良了工作人员的工作环境。
附图说明
[0018]图1为本技术静音箱立体的结构示意图;
[0019]图2为本技术消音网立体的结构示意图;
[0020]图3为本技术吸音板立体的结构示意图;
[0021]图4为本技术风冷设备立体的结构示意图。
[0022]图中:1、静音箱;2、出风管;3、密封板;4、缓震环;5、进风管;6、触地板;7、拉手;8、护手;9、支撑柱;10、散热板;11、消音网;12、限位块;13、缓震板;14、连接块;15、安装架;16、连接板;17、固定架;18、固定螺栓;19、垫片;20、吸音板;21、固定杆;22、风冷设备。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0024]参照图1

4,一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,包括静音箱1,静音箱1的内部分别固定连通有进风管5和出风管2,静音箱1的内壁滑动连接有散热板10,静音箱1的上表面固定连接有密封板3,密封板3的底面固定连接有固定架17,固定架17的内壁固定连接有若干个相同的吸音板20,静音箱1的底面固定连接有两组支撑柱9,每组支撑柱9的底端均固定连接有两个触地板6,通过设置支撑柱9和触地板6,可以使该设备放置在地面上,能够保证设备在使用过程中保持平稳。
[0025]静音箱1的内底壁固定连接有缓震板13,进风管5和出风管2的外表面均固定连接有缓震环4,两个缓震环4的外表面均与静音箱1的内壁固定连接,通过设置缓震环4,能过对进风管5和出风管2进行加固,保证进风管5和出风管2的牢固性。
[0026]缓震板13的上表面固定连接有限位块12,限位块12的内壁固定连接有安装架15,散热板10的左侧面固定连接有拉手7,拉手7的外表面套设有护手8,通过设置拉手7和护手8,能够开启散热板10,保证设备能够在适宜的温度下工作。
[0027]安装架15的外表面固定两组连接块14,固定架17的正面和背面均固定连接有连接板16,两个连接板16的上表面均与密封板3的底面固定连接,通过设置连接板16,能够增加
固定架17与连接板16的连接面积,使固定架17的连接更加牢固。
[0028]每组连接块14相互远离的一侧面均与静音箱1的内壁固定连接,每个连接板16的内壁均螺纹连接有两个固定螺栓18,每个固定螺栓18的外表面均与密封板3的内壁螺纹连接,通过设置固定螺栓18,能够增加连接板16与密封板3的连接面积,使连接板16与密封板3的连接更加牢固。
[0029]安装架15的内部设置有风冷设备22,每个固定螺栓18的外表面均固定连接有垫片19,每个垫片19的上表面均与连接板16的底面相接触,通过设置垫片19,能够增加固定螺栓18,避免在使用过程中固定螺栓18出现脱落的情况。
[0030]安装架15的内壁固定连接有两个消音网11,安装架15的内壁固定连接有三个固定杆21,每个固定杆21的外表面均与风冷设备22的外表面固定连接,通过设置固定杆21,能够将风冷设备22与安装架15相连接,达到固定风冷设备22的效果。
[0031]本技术的工作原理是;使用时先将风冷设备22连接电源,当需要使用该设备的时候,启动风冷设备22,将空气从进风管5抽进静音箱1的内部,经过风冷设备22处理之后经过出风管2排入到MPCVD生长设备中,使金刚石的生长过程能本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,包括静音箱(1),其特征在于:所述静音箱(1)的内部分别固定连通有进风管(5)和出风管(2),所述静音箱(1)的内壁滑动连接有散热板(10),所述静音箱(1)的上表面固定连接有密封板(3),所述密封板(3)的底面固定连接有固定架(17),所述固定架(17)的内壁固定连接有若干个相同的吸音板(20),所述静音箱(1)的内底壁固定连接有缓震板(13),所述缓震板(13)的上表面固定连接有限位块(12),所述限位块(12)的内壁固定连接有安装架(15),所述安装架(15)的外表面固定两组连接块(14),每组所述连接块(14)相互远离的一侧面均与静音箱(1)的内壁固定连接,所述安装架(15)的内部设置有风冷设备(22),所述安装架(15)的内壁固定连接有两个消音网(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,其特征在于:所述静音箱(1)的底面固定连接有两组支撑柱(9),每组所述支撑柱(9)的底端均固定连接有两个触地板(6)。3.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,其特征在于:所述进风管(5)和出风管(2)的外表面均固定连接有缓震环(4),两个...

【专利技术属性】
技术研发人员:余国旭薄一恒徐如颜
申请(专利权)人:浙江桦茂科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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