【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电容式硅微机械雨量传感器，其特征在于该传感器采用单晶硅膜（１）作为敏感材料，采用绝缘材料玻璃或陶瓷（３）作为绝缘衬底，用高掺杂的硅质量块（６）的下表面作为电容上电极，在硅质量块（６）的上表面是一层氧化硅（４），绝缘衬底上溅射的金属（２）作为电容的下电极，上下电极图形一致，由多个单元形成一个２×２以上的二维阵列，且单元并联在一起，衬底与硅质量块（６）用导电胶（５）进行组装，器件制作完成之后，进行引线键合，然后在传感器上表面均匀涂敷一层硅橡胶使其完全密封。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：顾兴莲，秦明，余辉洋，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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