一种用于区熔炉内轴定位结构制造技术

一种用于区熔炉内轴定位结构，包括内轴轴尖本体，该内轴轴尖本体包括杆状的第一本体；该第一本体外周设有第二本体；该第二本体一侧依次设有第一定位套、支撑筒、第二定位套及锁紧螺母；该第一定位套和第二定位套均包括环状的第三本体，该第一本体位于该第三本体内且二者之间无间隔；该第三本体外周设有若干截面呈圆弧型的定位板，各定位板对应的圆弧同心且该圆弧的圆心位于该第三本体的中轴线上；各定位板内侧与该第三本体外壁之间通过弹性连接件连接；该支撑筒包括圆筒状的第四本体，该第一本体位于该第四本体内；该第四本体两端分别设有圆形的支撑板，各支撑板分别与该第一定位套和第二定位套的侧面紧贴；该锁紧螺母与该第一本体通过螺纹连接。本体通过螺纹连接。本体通过螺纹连接。

【技术实现步骤摘要】
一种用于区熔炉内轴定位结构


[0001]本技术涉及一种定位装置，特别是一种用于区熔炉内轴定位结构。

技术介绍

[0002]硅单晶体作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。区熔法生长单晶硅是一种重要的方法。区熔法是一种简单的物理过程，在一定的条件下，经过高频区域熔化，然后从籽晶方向引出单晶硅，这种方法就是区熔方法。区熔方法包括以下步骤：将籽晶和多晶硅对中，抽真空，通氩气，预热，缩细颈，放肩，直至等径保持。在此期间，放肩过程是整个操作流程最为重要一环。在放肩过程中，分别有上下轴的机械运动。因处于放肩初期，未投夹持器阶段，下轴运动主要由内轴完成。內轴轴尖缓慢向下运动，通过拉晶工艺调整功率参数使单晶直径不断扩大。为保持单晶液面的稳定，內轴轴尖运行的稳定在此时尤为重要。下轴内壁由于长期高温下，产生的形变或硅渣磨损，内轴轴尖定位套随着内轴的向下运行，极易产生抖动及卡顿现象，造成内轴轴尖运行不稳定。
[0003]放肩初期过程中，一但因内轴轴尖运行不稳定，造成流熔区或断点的情况。
[0004]损失的各项数据指标如下：
[0005]1、重复操作需要的步骤及时间如下：
[0006]a、停炉
‑
操作时间为35分钟；
[0007]b、拆炉
‑
操作时间为10分钟；
[0008]c、更换籽晶
‑
操作时间为10分钟；
[0009]e、籽晶对中
‑
操作时间为5分钟；
[0010]f、装炉
‑
操作时间为10分钟；
[0011]g、抽真空
‑
操作时间为30分钟；
[0012]h、充气
‑
操作时间为20分钟；
[0013]2、停炉期间损失的电量为2
‑
4KW；
[0014]3、再次装炉充气消耗氩气量为1900—2000L。
[0015]综上所述，放肩失败后，各项技术指标消耗严重。

技术实现思路

[0016]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种用于区熔炉内轴定位结构，其可以在内轴轴尖向下运动受阻时，通过定位套弹性设计使内轴轴尖平稳向下运行。
[0017]为实现上述目的，本技术采取以下技术方案：
[0018]一种用于区熔炉内轴定位结构，包括内轴轴尖本体，该内轴轴尖本体包括杆状的第一本体，该第一本体两端分别为第一端和第二端；该第一本体靠近该第一端的外周设有圆形的第二本体；该第二本体朝向该第二端的一侧依次设有第一定位套、支撑筒、第二定位套及锁紧螺母；该第一定位套和第二定位套均包括环状的第三本体，该第一本体位于该第三本体内且二者之间无间隔；该第三本体外周设有若干截面呈圆弧型的定位板，各定位板
对应的圆弧同心且该圆弧的圆心位于该第三本体的中轴线上；各定位板内侧与该第三本体外壁之间通过弹性连接件连接；该支撑筒包括圆筒状的第四本体，该第一本体位于该第四本体内；该第四本体两端分别设有圆形的支撑板，各支撑板分别与该第一定位套和第二定位套的侧面紧贴；该锁紧螺母与该第一本体的第二端通过螺纹连接。
[0019]进一步的，所述弹性连接件为弹簧。
[0020]进一步的，所述锁紧螺母朝向所述第二端的一侧设有定位螺母。
[0021]进一步的，所述支撑筒内壁与所述第一本体之间具有间隙。
[0022]本技术的有益效果是：本技术用于区熔炉内轴定位结构，其结构简单，安装方便，可以在内轴轴尖向下运动受阻时，通过定位套弹性设计使内轴轴尖平稳向下运行，避免轴尖产生抖动及卡顿现象，造成內轴轴尖运行不稳定，导致放肩失败。
附图说明
[0023]图1是本技术用于区熔炉内轴定位结构的结构示意图。
[0024]图2是本技术用于区熔炉内轴定位结构的第一定位套的结构示意图。
具体实施方式
[0025]以下将以具体实施例结合附图来说明本技术的结构和所欲达到的技术效果，但所选用的实施例仅用于说明解释，并非用以限制本技术的范围。
[0026]如图1所示，本技术提供一种用于区熔炉内轴定位结构，包括内轴轴尖本体1，该内轴轴尖本体1包括杆状的第一本体11，该第一本体11两端分别为第一端111和第二端112。该第一本体11靠近该第一端111的外周设有圆形的第二本体12。该第二本体12朝向该第二端112的一侧依次设有第一定位套2、支撑筒3、第二定位套4及锁紧螺母5。
[0027]该第一定位套2和第二定位套4结构相同，如图2所示，均包括环状的第三本体21，该第一本体11位于该第三本体21内且二者之间无间隔。该第三本体21外周设有若干截面呈圆弧型的定位板22，各定位板22对应的圆弧同心且该圆弧的圆心位于该第三本体21的中轴线上。各定位板22内侧与该第三本体21外壁之间通过弹性连接件23连接，本实施例中该弹性连接件23为弹簧，还可以为稍面高弹锥形四氟块或反装双半圆紧固簧片。由于定位板22与第三本体21之间是弹性连接，可以分散内轴轴尖运动时由于下轴内壁形变或硅渣磨损产生的压力，避免内轴轴尖产生抖动及卡顿现象，造成内轴轴尖运行不稳定。
[0028]该支撑筒3包括圆筒状的第四本体31，该第一本体11位于该第四本体31内。该第四本体31两端分别设有圆形的支撑板32，各支撑板32分别与该第一定位套2和第二定位套4的侧面紧贴，且由于内轴位于下轴内，并需要通过第一定位套2和第二定位套4定位，因此，该第一定位套2和第二定位套4的外径大于该第二本体12、第四本体31、支撑板32的外径。该支撑筒3内壁与该第一本体11之间具有间隙，以便于在第一本体11上滑动。
[0029]该锁紧螺母5与该第一本体11的第二端112通过螺纹连接，将第一定位套2、第二定位套4和支撑筒3在该第一本体11的轴向限位。为了防止锁紧螺母5意外松脱，该锁紧螺母5朝向该第二端112的一侧设有定位螺母6。
[0030]本技术用于区熔炉内轴定位结构可以在下轴轴尖向下运动受阻时，通过第一定位套和第二定位套一分三形弹性设计分散受力方向，从而达成内轴轴尖平滑运行，操作
简单，且不影响其他操作步骤。
[0031]本技术是以所述的权利要求所限定的。但基于此，本领域的普通技术人员可以做出种种显然的变化或改动，都应在本技术的主要精神和保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于区熔炉内轴定位结构，其特征在于，包括内轴轴尖本体，该内轴轴尖本体包括杆状的第一本体，该第一本体两端分别为第一端和第二端；该第一本体靠近该第一端的外周设有圆形的第二本体；该第二本体朝向该第二端的一侧依次设有第一定位套、支撑筒、第二定位套及锁紧螺母；该第一定位套和第二定位套均包括环状的第三本体，该第一本体位于该第三本体内且二者之间无间隔；该第三本体外周设有若干截面呈圆弧型的定位板，各定位板对应的圆弧同心且该圆弧的圆心位于该第三本体的中轴线上；各定位板内侧与该第三本体外壁之间通过弹性连接件连...

【专利技术属性】
技术研发人员：付斌，王永涛，刘建涛，李清宝，尚锐刚，
申请(专利权)人：有研半导体硅材料股份公司，
类型：新型
国别省市：