一种蒸发镀膜装置制造方法及图纸

本申请公开了一种蒸发镀膜装置，包括：线性蒸发舟，具有相对的两个电极端，所述电极端分别通过对应的连接装置与一电极柱电连接，其中，所述连接装置用于降低所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗。通过所述连接装置连接所述电极柱和所述电极端，降低了所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗，在流经相同电流的时候发热量降低，避免了由于发热导致的连接位置融化以及器件损坏的问题。连接位置融化以及器件损坏的问题。连接位置融化以及器件损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发镀膜装置


[0001]本申请涉及蒸发镀膜领域，更具体的说，涉及一种蒸发镀膜装置。

技术介绍

[0002]在现代的各种表面工程技术的领域中，蒸发镀膜技术由于器应用范围广、污染程度小等优点，被业内的技术人员所青睐。
[0003]在蒸发镀膜领域中，线性蒸发舟由于其材料利用率高，镀膜效果好等优点被广泛采用，但是在对大尺寸的器件进行镀膜或镀膜厚度较厚时，其镀膜时间较长，在线性蒸发舟与电极柱连接处位置由于长时间通电从而导致温度上升，导致连接处融化、器件损坏的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请提供了一种蒸发镀膜装置，方案如下：
[0005]一种蒸发镀膜装置，包括：
[0006]线性蒸发舟，具有相对的两个电极端；
[0007]所述电极端分别通过对应的连接装置与一电极柱电连接；
[0008]其中，所述连接装置用于降低所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗。
[0009]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述连接装置是一电阻率小于所述线性蒸发舟电阻率的导电板。
[0010]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述线性蒸发舟是石墨蒸发舟；
[0011]所述导电板是Mo板。
[0012]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述电极柱的一端与上Cu牌和下Cu牌连接固定；
[0013]其中，所述上Cu牌与所述下Cu牌相对连接固定，二者相对表面之间具有用于容纳固定所述电极柱的凹槽。
[0014]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述上Cu牌与所述下Cu牌通过螺丝连接固定；
[0015]所述上Cu牌在对应所述凹槽位置通过螺丝固定连接所述电极柱。
[0016]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述连接装置为导电板，且所述导电板的一端位于所述上Cu牌表面，且与所述上Cu牌固定连接，所述导电板的另一端位与所对应的电极端固定连接。
[0017]其中，所述导电板的宽度不小于所述线性蒸发舟的底部宽度。
[0018]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述导电板通过多个连接螺栓与所述电极柱连接固定。
[0019]优选的，在上述蒸发镀膜装置中，所述凹槽的表面与所述电极柱之间具有导电胶。
[0020]通过上述描述可知，本申请提供的蒸发镀膜装置，包括：一种蒸发镀膜装置，包括：线性蒸发舟，具有相对的两个电极端，所述电极端分别通过对应的连接装置与一电极柱电连接，其中，所述连接装置用于降低所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗。通过所
述连接装置连接所述电极柱和所述电极端，降低了所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗，在流经相同电流的时候发热量降低，避免了由于发热导致的连接位置融化、器件损坏的问题。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0022]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0023]图1为本申请实施例提供的一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0024]图2为图1所示蒸发镀膜装置在沿两个电极端之间连线的切面图
[0025]图3为本申请实施例提供的另一种蒸发镀膜装置的结构示意图；
[0026]图4为图3所示蒸发镀膜装置在沿两个电极端之间连线的切面图；
[0027]图5为本申请实施例提供的一种电极柱的连接结构示意图；
[0028]图6为图1所示蒸发镀膜装置沿垂直于电极端连线方向的侧视图；
[0029]图7为本申请实施例提供的另一种蒸发镀膜装置沿垂直于电极端连线方向的侧视图；
[0030]图8为本申请实施例提供的又一种蒸发镀膜装置的结构示意图。
具体实施方式
[0031]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请中的实施例进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0032]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。
[0033]参考图1和图2，图1是本申请实施例提供的一种蒸发镀膜装置的结构示意图，图2是图1所示蒸发镀膜装置在沿两个电极端之间连线的切面图。
[0034]如图1和图2所示，本申请提供的一种蒸发镀膜装置，包括：线性蒸发舟15，具有相对的两个电极端；所述电极端分别通过对应的连接装置11与一电极柱13电连接；其中，所述连接装置11用于降低所述电极柱13与所连接的电极端之间的连接阻抗。
[0035]所述电极柱13与所述线性蒸发舟15的电极端不直接连接，而是通过连接装置11将电极柱13与所述线性蒸发舟15连接，降低了所述电极柱13与所述线性蒸发舟15的电极端之间的连接阻抗，在阻抗降低后，流经相同的电流产生的热量就会降低。因此所述连接装置11与所述电极柱13和所述线性蒸发舟15的连接位置的发热量小于直接连接的发热量，避免了
由于发热导致的连接位置融化、器件损坏的问题。
[0036]在本申请实施例中，所述线性蒸发舟15具有用于放置蒸发料源的蒸发室16，所述蒸发室16为在所述两个电极端的连线方向上延伸的条形蒸发室16，且所述蒸发室16的深度不变。这样，在所述两个电极端的连线方向，使得所述蒸发室16内蒸发料源为线性蒸发源，蒸发源的均匀性好，材料利用率高。
[0037]在上述介绍的蒸发镀膜装置中，所述连接装置11是一电阻率小于所述线性蒸发舟15电阻率的导电板。
[0038]由于所述连接装置11是一导电板，所述电极柱13与所述电极端分别与导电板的两端连接，电流通过电极柱13进入导电板后，然后再进入电极端，所述导电板与电极端的接触部分面积大于所述电极柱13与所述电极端直接接触的面积，通过增大接触面积使得经过所述线性蒸发舟15的电流更加均匀，从而提高了所述蒸发镀膜装置在对器件镀膜时的均匀性，同时，所述连接装置11为一导电板，电流从电极柱13进入导电板后，其单位面积的电流会降低，并且所述导电板的电阻率是小于所述线性蒸发舟15的，因此在工作过程中，流经相同电流的情况下，所述导电板的发热就会小于所述线性蒸发舟15的发热。
[0039]在上述介绍的蒸发镀膜装置中，所述线性蒸发舟15是石墨蒸发舟；所述导电板是Mo板。所述Mo板的电阻率小于所述石墨蒸发舟的电阻率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：线性蒸发舟，具有相对的两个电极端；所述电极端分别通过对应的连接装置与一电极柱电连接；其中，所述连接装置用于降低所述电极柱与所连接的电极端之间的连接阻抗。2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述连接装置是一电阻率小于所述线性蒸发舟电阻率的导电板。3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述线性蒸发舟是石墨蒸发舟；所述导电板是Mo板。4.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述电极柱的一端与上Cu牌和下Cu牌连接固定；其中，所述上Cu牌与所述下Cu牌相对连接固定，二者相对表面之间具有用于容纳固定所述电极柱的凹槽。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵志国，李梦洁，赵东明，秦校军，冯笑丹，伏丰义，
申请(专利权)人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：