一种LDI直写曝光机的能量格测试方法技术

本发明专利技术公开了一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，包括步骤S1、获取基板样本，并进行预处理；步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。本发明专利技术通过激光束将能量测试图形直接通过空间光调制器扫描成像至感光油墨上，显影后读取图形的能量格，解决现有技术中曝光尺寿命有限，需定期更换，成本较高的问题。同时曝光尺折旧会降低准确度，同时红外功能易导致曝光尺高热，引发起火等风险。引发起火等风险。引发起火等风险。

【技术实现步骤摘要】
一种LDI直写曝光机的能量格测试方法


[0001]本专利技术涉及电路板印制
，特别涉及一种LDI直写曝光机的能量格测试方法。

技术介绍

[0002]LDI(laser direct imaging，激光直接成像技术)曝光机主要用于PCB(Printed Circuit Board，印制电路板)生产中的曝光工序，目前PCB行业曝光设备有两大类：投影式曝光设备和激光直接成像设备(LDI)。投影式曝光设备是通过将投影将底片上的图像转移到感光干膜或油墨上；LDI设备是将曝光图像通过空间光调制器直接扫描成像到感光干膜上。PCB制造公司在生产中，为了准确控制对液态感光油、液态防焊油墨的曝光能量，通常使用曝光尺进行曝光，然后显影读取图形的能量格。
[0003]现有技术的不足在于，目前的曝光尺有一定的寿命，需定期更换，导致成本较高；且随着曝光尺使用周期增加，曝光尺折旧会直接影响曝光尺准确度；在有红外加热功能的曝光机上使用时，容易损坏曝光尺，或者引发起火等风险。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的克服现有技术存在的不足，为实现以上目的，采用一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，具体步骤包括：
[0006]步骤S1、获取基板样本，并进行预处理，所述预处理包括清洗、粗化，以及烘干处理；
[0007]步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；r/>[0008]步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；
[0009]步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。
[0010]作为本专利技术的进一步的方案：所述能量测试图形由21阶不同密度的像素点组成，其中每一阶像素点的尺寸、像素点的间距、像素点面积与总面积之比依据预设比例进行设定。
[0011]作为本专利技术的进一步的方案：所述能量测试图形的像素点第一格到二十一格的间距之间的面积比例逐渐减小。
[0012]作为本专利技术的进一步的方案：所述能量测试图形比例关系基于曝光尺的能量透过率设计。
[0013]与现有技术相比，本专利技术存在以下技术效果：
[0014]采用上述的技术方案，通过激光束将能量测试图形直接通过空间光调制器扫描成
像至感光油墨上，显影后读取图形的能量格。同时，通过对能量测试图形依据特定比例进行像素点密度的设定，从而实现简化测试流程，无需使用曝光尺，节约了时间成本。同时避免了随着曝光尺使用周期增加，曝光尺折旧会直接影响曝光尺准确度的问题。
附图说明
[0015]下面结合附图，对本专利技术的具体实施方式进行详细描述：
[0016]图1为本申请公开实施例的能量格测试方法的步骤示意图；
[0017]图2为本申请公开实施例的能量格测试方法的流程框图；
[0018]图3为本申请公开实施例的能量测试图形示意图。
具体实施方式
[0019]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0020]请参考图1和图2，本专利技术实施例中，一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，具体步骤包括：
[0021]步骤S1、获取基板样本，并进行预处理，所述预处理包括清洗、粗化，以及烘干处理；
[0022]步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；
[0023]步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；
[0024]步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。
[0025]具体实施步骤中，所述能量测试图形由21阶不同密度的像素点组成，其中每一阶像素点的尺寸、像素点的间距、像素点面积与总面积之比依据预设比例进行设定。如下表1所示，表示为像素点尺寸、间距及面积比。
[0026]表1每阶像素点的分布比例表
[0027][0028]具体实施步骤中，如上表1所示，所述能量测试图形的像素点第一格到二十一格的间距之间的面积比例逐渐减小。
[0029]如图3所示，图示为能量测试图形示意图，其中第一格到二十一格pad与pad间距之间的面积比例逐渐减小，第一格占比100％，第二格71％、第三格
……
依次按照上表比例降低。
[0030]如图下表2所示，表为曝光尺的能量透过率表，所述能量测试图形比例关系基于曝光尺的能量透过率设计；
[0031]表2曝光尺的能量透过率表
[0032][0033]尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定，均应包含在本专利技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，其特征在于，具体步骤包括：步骤S1、获取基板样本，并进行预处理，所述预处理包括清洗、粗化，以及烘干处理；步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。2.根据权利要求1所述一种LDI直写曝光...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨坤伦，朱盼盼，
申请(专利权)人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：