本实用新型专利技术属于镀膜装置技术领域，尤其为一种带有静电吸附的镀膜装置，包括箱体，所述箱体的上下两端均设置有喷镀腔，所述喷镀腔的表面均设置有呈圆周阵列分布的喷头，所述箱体的后侧壁固定安装有蒸镀源，两个喷镀腔均通过连接管与蒸镀源连接。本实用新型专利技术通过设置两个喷镀腔及其上的喷头，从上下两个方向对工件进行镀膜，使得镀膜更加均匀和全面，通过设置高压静电发生器、传导触头和静电传导板，在镀膜完成后，可以通过静电吸引箱体内部镀膜过程中弥散到空间中的粒子沾附到静电传导板上，使得箱门打开后，尽可能的降低金属、合金或化合物的粒子弥散到周围环境中造成污染的几率，使得镀膜装置使用起来更加环保。镀膜装置使用起来更加环保。镀膜装置使用起来更加环保。
【技术实现步骤摘要】
一种带有静电吸附的镀膜装置
[0001]本技术涉及镀膜装置
，具体为一种带有静电吸附的镀膜装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺，简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。
[0003]公开号为CN211112183U的技术公开了一种真空镀膜装置，包括：镀膜装置本体、夹持装置、真空装置、冷却装置和镀膜喷管装置，所述镀膜装置本体两侧设置有夹持装置，所述真空装置设置在镀膜装置本体的顶部，所述冷却装置设置在镀膜装置本体的底部一侧，所述镀膜喷管装置设置在镀膜装置本体内部上端，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上。通过上述方式，本技术提供的真空镀膜装置，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头内，可以方便对设备的检修，降低使用成本。
[0004]这种装置在真空镀膜时，由于金属、合金或化合物的粒子会弥漫在镀膜装置的内部空间各处，在打开装置取出完成镀膜的工件时，可能会有粒子弥漫到外部的环境中，这些金属、合金或化合物的粒子容易对环境造成污染及对操作装置者的身体造成损害，因此我们提出了一种带有静电吸附的镀膜装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本技术提供了一种带有静电吸附的镀膜装置，解决了上述
技术介绍
中所提出的镀膜的粒子在取出工件时会弥散到外界的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0009]一种带有静电吸附的镀膜装置，包括箱体，所述箱体的上下两端均设置有喷镀腔，所述喷镀腔的表面均设置有呈圆周阵列分布的喷头，所述箱体的后侧壁固定安装有蒸镀源，两个喷镀腔均通过连接管与蒸镀源连接，所述箱体的一侧外壁固定安装有高压静电发生器，所述高压静电发生器的输出端连接有传导触头，所述传导触头贯穿箱体的一侧壁延伸到其内侧，所述箱体的一侧内壁设置有与传导触头接触的静电传导板，所述箱体的一侧外壁设置有其中一端贯穿到其内部的T型管，所述T型管的一端连接有真空泵，所述真空泵固定安装在箱体的一侧外壁，所述T型管的另一端设置有压力表，所述箱体的一侧壁连接有通气管，所述通气管上设置有单向电磁阀，所述箱体的上表面固定安装有控制面板，所述控制面板分别与蒸镀源、高压静电发生器、真空泵、压力表和单向电磁阀电性连接，所述箱体的内侧设置有U型板，所述U型板的两侧均设置有夹板。
[0010]进一步地，所述箱体的一侧内壁固定安装有U型卡槽，所述静电传导板插接在U型卡槽的内侧。
[0011]进一步地，所述箱体的开口端铰接有箱门，所述箱门的一侧壁设置有密封垫。
[0012]进一步地，所述U型板的两端均固定安装有连杆，所述箱体的背面插接有分别与两个连杆螺纹连接的螺栓。
[0013]进一步地，所述U型板两侧壁均固定安装有套筒，所述套筒内滑动连接有滑板，所述滑板的一端固定连接有伸缩杆，所述伸缩杆滑动贯穿U型板延伸到其内侧并与同侧的夹板固定连接，所述套筒内活动设置有弹簧，所述弹簧的两端分别与套筒的一侧内壁和滑板固定连接。
[0014]进一步地，所述箱体下表面的四角均固定安装有橡胶支脚。
[0015](三)有益效果
[0016]与现有技术相比，本技术提供了一种带有静电吸附的镀膜装置，具备以下有益效果：
[0017]本技术，通过设置两个喷镀腔及其上的喷头，从上下两个方向对工件进行镀膜，使得镀膜更加均匀和全面，通过设置高压静电发生器、传导触头和静电传导板，在镀膜完成后，可以通过静电吸引箱体内部镀膜过程中弥散到空间中的粒子沾附到静电传导板上，使得箱门打开后，尽可能的降低金属、合金或化合物的粒子弥散到周围环境中造成污染的几率，使得镀膜装置使用起来更加环保。
附图说明
[0018]图1为本技术正视结构示意图；
[0019]图2为本技术立体结构剖视图；
[0020]图3为本技术又一立体结构剖视图；
[0021]图4为本技术另一立体结构剖视图。
[0022]图中：1、箱体；2、喷镀腔；3、喷头；4、蒸镀源；5、连接管；6、高压静电发生器；7、传导触头；8、静电传导板；9、U型卡槽；10、T型管；11、真空泵；12、压力表；13、通气管；14、单向电磁阀；15、控制面板；16、箱门；17、密封垫；18、U型板；19、夹板；20、连杆；21、套筒；22、滑板；23、伸缩杆；24、弹簧；25、橡胶支脚；26、螺栓。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]实施例
[0025]如图1、图2、图3和图4所示，本技术一个实施例提出的一种带有静电吸附的镀膜装置，包括箱体1，箱体1的上下两端均设置有喷镀腔2，喷镀腔2的表面均设置有呈圆周阵列分布的喷头3，箱体1的后侧壁固定安装有蒸镀源4，两个喷镀腔2均通过连接管5与蒸镀源4连接，箱体1的一侧外壁固定安装有高压静电发生器6，高压静电发生器6的输出端连接有
传导触头7，传导触头7贯穿箱体1的一侧壁延伸到其内侧，箱体1的一侧内壁设置有与传导触头7接触的静电传导板8，箱体1的一侧外壁设置有其中一端贯穿到其内部的T型管10，T型管10的一端连接有真空泵11，真空泵11固定安装在箱体1的一侧外壁，T型管10的另一端设置有压力表12，箱体1的一侧壁连接有通气管13，通气管13上设置有单向电磁阀14，箱体1的上表面固定安装有控制面板15，控制面板15分别与蒸镀源4、高压静电发生器6、真空泵11、压力表12和单向电磁阀14电性连接，箱体1的内侧设置有U型板18，U型板18的两侧均设置有夹板19；综上可知，使用镀膜装置时，将待镀膜的工件放置到箱体1内部的两个夹板19之间夹持固定，通过蒸镀源4加热镀膜用金属、合金或化合物的粒子，通过连接管5的喷镀腔2和喷头3将金属、合金或化合物的粒子喷出到箱体1的内部，从上下两个方向对工件进行镀膜，由于每个喷镀腔2上均设置有多个呈圆周阵列分布的喷头3，使得蒸镀的效果更加均匀，本技术的有益效果是：本技术指出的一种真空镀膜装置，提高镀膜层的平整度，镀膜完成后，启动单向电磁阀14通过通气管13向箱体1内部通入空气，恢复箱体1内部气压的同时起到一定降温的作用，通过高压静电发生器6产生静电，通过本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带有静电吸附的镀膜装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的上下两端均设置有喷镀腔(2)，所述喷镀腔(2)的表面均设置有呈圆周阵列分布的喷头(3)，所述箱体(1)的后侧壁固定安装有蒸镀源(4)，两个喷镀腔(2)均通过连接管(5)与蒸镀源(4)连接，所述箱体(1)的一侧外壁固定安装有高压静电发生器(6)，所述高压静电发生器(6)的输出端连接有传导触头(7)，所述传导触头(7)贯穿箱体(1)的一侧壁延伸到其内侧，所述箱体(1)的一侧内壁设置有与传导触头(7)接触的静电传导板(8)，所述箱体(1)的一侧外壁设置有其中一端贯穿到其内部的T型管(10)，所述T型管(10)的一端连接有真空泵(11)，所述真空泵(11)固定安装在箱体(1)的一侧外壁，所述T型管(10)的另一端设置有压力表(12)，所述箱体(1)的一侧壁连接有通气管(13)，所述通气管(13)上设置有单向电磁阀(14)，所述箱体(1)的上表面固定安装有控制面板(15)，所述控制面板(15)分别与蒸镀源(4)、高压静电发生器(6)、真空泵(11)、压力表(12)和单向电磁阀(14)电性连接，所述箱体(1)的内侧设置有U型板(18)，所述U型板(18)的两侧均设置有夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：许亮，
申请(专利权)人：江苏鼎凯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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