一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术属于中频交流磁控溅射电源技术领域，尤其为一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座，安装座内部设置有安装槽，安装槽上设置有电源主体，安装座上固定安装有把手，把手上设置有防滑套，安装座内部设置有活动腔，活动腔内部设置有压缩弹簧，压缩弹簧顶部固定连接有活动柱，活动柱顶部设置有限位压板。本实用新型专利技术通过设置有活动槽、复位弹簧、活动支撑柱、卡槽、空腔、插销和限位弹簧进行配合使用，通过拉动插销或者按压安装座，可方便对活动支撑柱进行收纳或者支撑使用，防止台面或者地面有积水容易导致其内部受潮，影响设备工作使用效果，便于更好的进行长期工作使用，可进一步提升整体装置结构的实用性和功能性。性和功能性。性和功能性。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源


[0001]本技术涉及中频交流磁控溅射电源
，具体为一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]直流磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，而直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。现有的带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，在工作使用过程中仍然存在待改进之处，例如申请号CN202121962040.6一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，包括保护外壳、隔离握持机构、滑动保护机构和内置散热机构，所述保护外壳的两侧设置有隔离握持机构，所述保护外壳的内部设置有滑动保护机构，所述滑动保护机构的内部设置有内置散热机构；所述滑动保护机构包括：内置电源，其设置于所述保护外壳的内部；滑槽，其设置于所述内置电源的两侧内壁；拉槽，其设置于所述内置电源的一侧额内壁；操作面，其设置于所述内置电源的顶面外壁。虽然其具有很好的隔离机构，但是对于电源主体的连接安装结构稳定性相对较差，同时在对整体装置进行拿取使用或者放置时，台面或者地面有积水容易导致其内部受潮，导致内部元件腐蚀损坏，影响工作使用效果。
[0003]现有技术存在以下问题：
[0004]现有的带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，整体装置使用功能性较为单一，同时对于电源主体的连接固定机构稳定性相对较差，导致工作使用有一定的局限性。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，解决了现今存在的整体装置使用功能性较为单一，同时对于电源主体的连接固定机构稳定性相对较差，导致工作使用有一定的局限性问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座，所述安装座内部设置有安装槽，所述安装槽上设置有电源主体，所述安装座上固定安装有把手，所述把手上设置有防滑套，所述安装座内部设置有活动腔，所述活动腔内部设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧顶部固定连接有活动柱，所述活动柱顶部设置有限位压板，所述安装座内部固定安装有电机设备，所述电机设备一端设置有螺纹杆，所述螺纹杆上设置有螺纹套，所述螺纹套顶部固定安装有散热风扇，所述安装座底部设置有活动槽，所述活动槽内部设置有复位弹簧，所述复位弹簧底部固定连接有活动支撑柱，所述活动支撑柱一侧设置有卡槽，所述活动槽一侧设置有空腔，所述空腔内部设置有插销，所述插销一侧设置有限位弹簧。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述安装槽内径尺寸与电源主体外径尺寸
相适配，所述电源主体与安装槽活动插接。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述活动柱外径尺寸与活动腔内径尺寸相适配，所述活动柱与活动腔活动套接。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述限位压板通过转动轴与活动柱转动连接，所述限位压板底部设置有橡胶垫。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述电机设备与散热风扇均通过导线与外部电源电性连接。
[0011]作为本技术的一种优选技术方案，所述螺纹套内部设置有螺纹孔，所述螺纹套通过螺纹孔与螺纹杆螺纹滑动连接。
[0012]作为本技术的一种优选技术方案，所述活动支撑柱外径尺寸与活动槽内径尺寸相适配，所述活动支撑柱与活动槽活动套接，所述插销外径尺寸与卡槽内径尺寸相适配，所述插销与卡槽活动插接。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，具备以下有益效果：
[0014]1、该一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，通过设置有安装槽、活动腔、压缩弹簧、活动柱和限位压板进行配合使用，可方便对电源主体进行快速安装和拆卸工作，操作使用较方便，同时对其限位固定安装较为稳定，通过设置有电机设备、螺纹杆、螺纹套和散热风扇进行配合使用，可方便对电源主体进行全面散热处理，便于提升散热效果，防止工作温度过高，影响工作使用效果，便于提升整体装置结构的实用性和功能性。
[0015]2、该一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，通过设置有活动槽、复位弹簧、活动支撑柱、卡槽、空腔、插销和限位弹簧进行配合使用，通过拉动插销或者按压安装座，可方便对活动支撑柱进行收纳或者支撑使用，防止台面或者地面有积水容易导致其内部受潮，影响设备工作使用效果，便于更好的进行长期工作使用，可进一步提升整体装置结构的实用性和功能性。
附图说明
[0016]图1为本技术剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术螺纹套结构示意图；
[0018]图3为本技术安装座结构示意图；
[0019]图4为图1中A处放大图。
[0020]图中：1、安装座；2、安装槽；3、电源主体；4、把手；5、防滑套；6、活动腔；7、压缩弹簧；8、活动柱；9、限位压板；10、电机设备；11、螺纹杆；12、螺纹套；13、散热风扇；14、活动槽；15、复位弹簧；16、活动支撑柱；17、卡槽；18、空腔；19、插销；20、限位弹簧。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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4，本实施方案中：一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座1，安装座1内部设置有安装槽2，方便安装电源主体3，安装槽2上设置有电源主体3，便于进行工作使用，安装座1上固定安装有把手4，方便进行手持，把手4上设置有防滑套5，提升摩擦力，安装座1内部设置有活动腔6，便于安装压缩弹簧7和活动柱8，活动腔6内部设置有压缩弹簧7，便于连接活动柱8，压缩弹簧7顶部固定连接有活动柱8，便于活动套接，活动柱8顶部设置有限位压板9，方便对电源主体3进行限位按压，安装座1内部固定安装有电机设备10，电机设备10型号为ZWBPD016016，便于转动螺纹杆11，电机设备10一端设置有螺纹杆11，便于带动螺纹套12螺纹滑动调节，螺纹杆11上设置有螺纹套12，方便安装散热风扇13，螺纹套12顶部固定安装有散热风扇13，散热风扇13型号为YRD4010，便于进行散热处理，安装座1底部设置有活动槽14，方便安装活动支撑柱16，活动槽14内部设置有复位弹簧15，便于连接推动活动支撑柱16，复位弹簧15底部固定连接有活动支撑柱16，便于进行活动支撑，活动支撑柱16一侧设置有卡槽17，方便对其进行固定，活动槽14一侧设置有空腔18，方便安装插销19，空腔1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)内部设置有安装槽(2)，所述安装槽(2)上设置有电源主体(3)，所述安装座(1)上固定安装有把手(4)，所述把手(4)上设置有防滑套(5)，所述安装座(1)内部设置有活动腔(6)，所述活动腔(6)内部设置有压缩弹簧(7)，所述压缩弹簧(7)顶部固定连接有活动柱(8)，所述活动柱(8)顶部设置有限位压板(9)，所述安装座(1)内部固定安装有电机设备(10)，所述电机设备(10)一端设置有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)上设置有螺纹套(12)，所述螺纹套(12)顶部固定安装有散热风扇(13)，所述安装座(1)底部设置有活动槽(14)，所述活动槽(14)内部设置有复位弹簧(15)，所述复位弹簧(15)底部固定连接有活动支撑柱(16)，所述活动支撑柱(16)一侧设置有卡槽(17)，所述活动槽(14)一侧设置有空腔(18)，所述空腔(18)内部设置有插销(19)，所述插销(19)一侧设置有限位弹簧(20)。2.根据权利要求1所述的一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，其特征在于：所述安装槽(2)内径尺寸与电源主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：窦久存，
申请(专利权)人：唐山标先电子有限公司，
类型：新型
国别省市：