【技术实现步骤摘要】
一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台
[0001]本专利技术涉及扫面电镜
具体地说是一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。
技术介绍
[0002]扫描电镜能够实现对物质微观形貌表征的目的,当一次对多个样品逐一观察时,由于样品高度存在一定差异,导致需要针对每一个样品调整焦距,当一次对多个样品同步观察时,同样的,由于各个样品的高度存在差异,也就导致了在焦距之外的样品表面出现成像模糊的问题,无法保证成像质量;其次在对多个样品进行逐一观察时,待观察的样品可能会受到电子束的影响,在一定程度上,待观察样品的表面会产生损伤,尤其是越靠后观察的样品受到影响的时间越长,加剧产生损伤的可能性。
技术实现思路
[0003]为此,本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能够自动调整焦距满足针对多个样品的不同观察需求,并保护待观察样品的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。
[0004]为解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板,所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上,所述承载板的外侧设置有保护罩,所述承载板的上方设置有顶板,所述顶板上开设有缺口,所述保护罩的一端与底座固定连接,所述保护罩的另一端与顶板固定连接;所述承载板上安装有缸筒,所述缸筒内滑动密封安装有活塞体,所述活塞体的边沿处沿其轴向固定安装有支撑杆,所述支撑杆的顶端抵顶在顶板的内侧壁面上;所述缸筒的开口端上设置有活动盖板,所述承载板内安装有盖板驱动机构,所述盖板驱 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1)、安装在底座(1)上的驱动机构(13)和承载板(4),所述承载板(4)固定安装在所述驱动机构(13)的驱动端上,所述承载板(4)的外侧设置有保护罩(2),所述承载板(4)的上方设置有顶板(3),所述顶板(3)上开设有缺口,所述保护罩(2)的一端与底座(1)固定连接,所述保护罩(2)的另一端与顶板(3)固定连接;所述承载板(4)上安装有缸筒(5),所述缸筒(5)内滑动密封安装有活塞体(6),所述活塞体(6)的边沿处沿其轴向固定安装有支撑杆(7),所述支撑杆(7)的顶端抵顶在顶板(3)的内侧壁面上;所述缸筒(5)的开口端上设置有活动盖板(8),所述承载板(4)内安装有盖板驱动机构(9),所述盖板驱动机构(9)与支撑杆(7)驱动连接,所述盖板驱动机构(9)的动力输出端上安装有倾斜驱动机构(11),所述盖板驱动机构(9)通过倾斜驱动机构(11)与所述活动盖板(8)驱动连接;所述缸筒(5)的侧壁上安装有锁定机构(10),所述锁定机构(10)通过联动触发组件(12)与活动盖板(8)传动连接;所述锁定机构(10)上通过拉绳(18)连接有限位卡块(17),所述限位卡块(17)安装在盖板驱动机构(9)内控制盖板驱动机构(9)启动。2.根据权利要求1所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述承载板(4)内开设有安装腔(14),所述缸筒(5)的顶端插入所述安装腔(14)内,所述安装腔(14)的两侧壁面上均开设有驱动槽(15),两个所述驱动槽(15)内均安装有盖板驱动机构(9)。3.根据权利要求2所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述盖板驱动机构(9)包括光轴(902)、同轴固定连接在光轴(902)两端的丝杆(904),所述光轴(902)的中部上同轴固定连接有驱动轮(901),所述驱动轮(901)的表面与支撑杆(7)的侧壁贴合,驱动轮(901)两侧的所述光轴(902)的表面上均滑动安装有滑动块(903),两端的所述丝杆(904)上均螺纹连接有驱动块(905),所述滑动块(903)和所述驱动块(905)均滑动配合在驱动槽(15)内,位于驱动轮(901)同一侧的所述滑动块(903)和所述驱动块(905)之间固定连接有拉伸弹簧(906),所述驱动槽(15)的两端内均固定安装有支撑座(907),所述丝杆(904)的端部与所述支撑座(907)转动连接;两个所述滑动块(903)相互靠近的侧壁面上均固定安装有所述倾斜驱动机构(11),所述驱动槽(15)的底壁上位于滑动块(903)的另一侧处开设有限位槽,所述限位卡块(17)滑动配合在限位槽内并挡住滑动块(903)。4.根据权利要求3所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述活动盖板(8)由两个相对设置有半圆板组成,两个半圆板盖在缸筒(5)的端部上,所述半圆板的两侧上均固定连接有第一滑块(802)和第二滑块(804),所述驱动槽(15)的底壁上与第一滑块(802)和第二滑块(804)相对应的位置处开设有第一导向槽(801)和第二导向槽(803),所述第一滑块(802)插入所述第一导向槽(801)内,所述第二滑块(804)插入所述第二导向槽(803)内,所述第二导向槽(803)靠近驱动槽(15)的一端内连接有活动挡板(805),所述驱动槽(15)的底壁上位于第一导向槽(801)远离第二导向槽(803)的一侧上固定安装有挡块(806);所述第一滑块(802)远离第二滑块(804)的一侧壁面为圆弧面,所述挡块(806)与所述第一滑块(802)相对应的一侧上开设有与圆弧面匹配的圆弧凹槽。5.根据权利要求4所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述倾斜驱动机构(11)包括固定板(111)、拉板(112)和压杆(115),所述固定板(111)的一端与滑动块(903)的侧壁固定连接,所述拉板(112)滑动安装在固定板(111)的底壁上,所述拉板
技术研发人员:刘飞,韩笑,杜赵新,白朴存,侯小虎,赵学平,
申请(专利权)人:内蒙古工业大学,
类型:发明
国别省市:
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