吸附膜模具及其开模方法技术

本发明专利技术属于化学机械研磨模具的技术领域，公开了一种吸附膜模具及其开模方法。旨在解决现有的化学机械研磨中的吸附膜开模时强行对其顶出造成拉扯导致破裂的问题。吸附膜模具，包括：模盖、模底、哈夫块、起吊机构和顶出机构；模盖上设置有向侧边倾斜的楔形槽；模底和模盖的中心位置形成有容纳模芯的腔室；哈夫块至少部分卡接于楔形槽内，且哈夫块的一侧面与模芯贴合连接；起吊机构能够与模盖连接，且起吊机构能够向上起吊模盖时同步向侧边移动哈夫块；顶出机构位于模底的下侧，顶出机构能够将模芯分层顶出。通过起吊机构起吊模盖和哈夫块减轻对吸附膜外侧径的撕扯，通过顶出机构将模芯分层顶出，降低吸附膜发生破裂的概率，提高产品的良率。的良率。的良率。

【技术实现步骤摘要】
吸附膜模具及其开模方法


[0001]本专利技术涉及化学机械研磨模具的
，尤其涉及一种吸附膜模具及其开模方法。

技术介绍

[0002]化学机械抛光CMP(英文全称为Chemical Mechanical Polish)是化学腐蚀与机械磨削相结合的一种抛光方法，是集成电路制作过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺；CPM抛光头的吸附膜(英文全称为Membrane)是指当抛光头对硅片进行抛光时，其对硅片起吊吸附和加压的作用，吸附膜的质量对硅片的质量具有较大影响。
[0003]Membrane抛光的吸附膜制造过程中，由于吸附膜的结构特殊，吸附膜存在七个区域的倒钩，且对于每个区域的厚度一致性要求较高，同时一个区域也存在薄厚差异较大的问题，导致产品在生产过程中经常由于薄厚不均匀而产生破裂，缺胶现象。现有技术吸附膜的模具为一次顶出结构，通过对模具的强行顶出来对产品进行拉扯从而实现产品从模具里面的脱出，导致对吸附膜的拉扯较为严重容易导致产品不确定性的从薄壁处破裂的问题。
[0004]因此，亟需提供一种吸附膜模具及其开模方法，以解决现有技术中所存在的上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种吸附膜模具及其开模方法，旨在解决现有的吸附膜模具强行顶出对其造成拉扯导致破裂的问题。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：吸附膜模具，包括：
[0007]模盖，上述模盖上设置有向侧边倾斜的楔形槽；
[0008]模底，上述模底和上述模盖相对设置，且上述模底和上述模盖的中心位置形成有容纳模芯的腔室；
[0009]哈夫块，上述哈夫块至少部分卡接于上述楔形槽内，且上述哈夫块的一侧面与上述模芯贴合连接；
[0010]起吊机构，上述起吊机构能够与上述模盖连接，且上述起吊机构能够向上起吊上述模盖时同步向侧边移动上述哈夫块；
[0011]顶出机构，上述顶出机构位于上述模底的下侧，上述顶出机构能够将上述模芯分层顶出。
[0012]作为优选，上述起吊机构包括吊绳；
[0013]上述哈夫块上设置有连接轴；
[0014]上述吊绳连接于模盖，且上述吊绳穿过上述连接轴，以使上述吊绳向上起吊上述模盖时，上述哈夫块同步向侧边移动。
[0015]作为优选，上述楔形槽包括向模芯左侧边倾斜的第一槽体和向模芯右侧边倾斜的第二槽体；
[0016]上述哈夫块的数量为两个，一个上述哈夫块至少部分卡接于上述第一槽体，另一个上述哈夫块至少部分卡接于上述第二槽体，且两个上述哈夫块的侧壁分别与上述模芯的两侧贴合连接，上述起吊机构向上起吊上述模盖时同步向左右侧边移动两个上述哈夫块。
[0017]作为优选，上述哈夫块包括倾斜部和压紧部；
[0018]上述倾斜部朝向侧边的边缘方向倾斜，上述压紧部能够与上述模芯面面压紧。
[0019]作为优选，上述顶出机构包括第一顶板和第一顶杆，上述第一顶板位于上述模底的下侧；
[0020]上述模芯包括第一模芯组和第二模芯组；
[0021]上述第一顶杆的一端与上述第一顶板连接，上述第一顶杆的另一端与上述第二模芯组连接；
[0022]上述第一顶板向上移动时，上述第二模芯组在上述第一顶杆的带动下向上运动，以使上述第一模芯组和第二模芯组能够分层顶起。
[0023]作为优选，上述第二模芯组还包括上模芯和下模芯；
[0024]上述顶出机构包括第二顶板、第二顶杆和第三顶杆；
[0025]上述第二顶板间隔设置于上述第一顶板的下侧，上述第二顶杆的长度大于上述第三顶杆的长度；
[0026]上述第二顶杆的一端与上述上模芯连接，上述第二顶杆的另一端与上述第二顶板连接；
[0027]上述第三顶杆的一端与上述下模芯连接，上述第三顶杆的另一端与上述第二顶板连接，以使上述第二顶板向上移动时，上述上模芯和上述下模芯分层顶出。
[0028]作为优选，还包括动力源；
[0029]上述动力源的输出端分别与上述起吊机构和上述顶出机构连接。
[0030]作为优选，上述动力源为气缸。
[0031]本专利技术还提供用于上述的吸附膜模具的开模方法，上述开模方法包括如下步骤：
[0032]启动上述起吊机构和上述顶出机构；
[0033]上述起吊机构起吊上述模盖同步拉动上述哈夫块；
[0034]上述顶出机构上顶上述模芯，将上述模芯自下而上分层顶出。
[0035]优选，还包括如下步骤：
[0036]上述顶出机构将靠近上述哈夫块的模芯顶出；
[0037]上述顶出机构将远离所述哈夫块的模芯中的上层的模芯顶出；
[0038]上述顶出机构将远离所述哈夫块的模芯中的下层的模芯顶出。
[0039]本专利技术的有益效果：在本专利技术的技术方案中，通过起吊机构起吊模盖同时起吊位于吸附膜侧面的哈夫块，通过哈夫块减轻对吸附膜外侧径的撕扯以及减少开模过程中的阻力，通过顶出机构将位于模盖和模底的中心位置的模芯分层顶出，避免直接对产品进行强行脱模时的应力，也即降低吸附膜发生破裂的概率，提高产品的良率。
附图说明
[0040]图1是本专利技术实施例的吸附膜模具的结构示意图；
[0041]图2是本专利技术实施例的起吊机构启动后吸附膜模具的结构示意图；
[0042]图3是本专利技术实施例的第一顶杆启动后吸附膜模具的结构示意图；
[0043]图4是本专利技术实施例的吸附膜模具开模后模芯的结构示意图。
[0044]图中：11、模盖；111、第一槽体；112、第二槽体；12、模底；13、哈夫块；131、连接轴；132、倾斜部；133、压紧部；14、起吊机构；15、顶出机构；151、第一顶板；152、第一顶杆；153、第二顶板；154、第二顶杆；155、第三顶杆；16、模芯；161、第一模芯组；162、第二模芯组；163、上模芯；164、下模芯。
具体实施方式
[0045]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0046]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0047]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.吸附膜模具，其特征在于，包括：模盖(11)，所述模盖(11)上设置有向侧边倾斜的楔形槽；模底(12)，所述模底(12)和所述模盖(11)相对设置，且所述模底(12)和所述模盖(11)的中心位置形成有容纳模芯(16)的腔室；哈夫块(13)，所述哈夫块(13)至少部分卡接于所述楔形槽内，且所述哈夫块(13)的一侧面与所述模芯(16)贴合连接；起吊机构(14)，所述起吊机构(14)能够与所述模盖(11)连接，且所述起吊机构(14)能够向上起吊所述模盖(11)时同步向侧边移动所述哈夫块(13)；顶出机构(15)，所述顶出机构(15)位于所述模底(12)的下侧，所述顶出机构(15)能够将所述模芯(16)分层顶出。2.根据权利要求1所述的吸附膜模具，其特征在于，所述起吊机构(14)包括吊绳；所述哈夫块(13)上设置有连接轴(131)；所述吊绳连接于模盖(11)，且所述吊绳穿过所述连接轴(131)，以使所述吊绳向上起吊所述模盖(11)时，所述哈夫块(13)同步向侧边移动。3.根据权利要求1或2所述的吸附膜模具，其特征在于，所述楔形槽包括向模芯(16)左侧边倾斜的第一槽体(111)和向模芯(16)右侧边倾斜的第二槽体(112)；所述哈夫块(13)的数量为两个，一个所述哈夫块(13)至少部分卡接于所述第一槽体(111)，另一个所述哈夫块(13)至少部分卡接于所述第二槽体(112)，且两个所述哈夫块(13)的侧壁分别与所述模芯(16)的两侧贴合连接，所述起吊机构(14)向上起吊所述模盖(11)时同步向左右侧边移动两个所述哈夫块(13)。4.根据权利要求1或2所述的吸附膜模具，其特征在于，所述哈夫块(13)包括倾斜部(132)和压紧部(133)；所述倾斜部(132)朝向侧边的边缘方向倾斜，所述压紧部(133)能够与所述模芯(16)的侧面进行面面压紧。5.根据权利要求1所述的吸附膜模具，其特征在于，所述顶出机构(15)包括第一顶板(151)和第一顶杆(152)，所述第一顶板(151)位于所述模底(12)的下侧；所述模芯(16)包括位于侧面的第一模芯组(161)和位于中心位置的第二模芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，惠宏业，脱博，左威，柏钧天，赵梓聿，
申请(专利权)人：上海润平电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：