一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，包括：安装装置；承载装置转动安装于安装装置的顶部，承载装置包括承载台，承载台的顶部开设有滑槽，承载台顶部表面设置有角度值。本实用新型专利技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，通过安装装置将承载装置稳定的放置在工作台上，使用者通过轴承转动承载装置，安装装置不会偏移承载装置的位置，同时在承载装置的表面设置角度值，配合观察装置对角度值的指向，本装置结构简单，实用性强，承载装置在转动时不会出现偏移现象，同时明确了晶圆的转动角度，方便使用者观察任意角度的晶圆同时不会出现偏移误差，提高了观察效果。察效果。察效果。

【技术实现步骤摘要】
一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具


[0001]本技术涉及显微镜载晶检验领域，尤其涉及一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具。

技术介绍

[0002]晶圆(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。
[0003]目前，使用显微镜检验wafer的操作方式：将wafer从晶舟取出，放置在检验治具上，通过显微镜观察治具内的晶圆，通过旋转治具检验wafer四周的目的。
[0004]如公开号为CN217035581U的一种供显微镜载晶检验的治具，该装置将晶圆放置在承载治具的凹槽内，观察人员通过显微镜观察凹槽内部的晶圆，并用手转动承载治具观察晶圆的四周，但是观察人员的眼睛注意着显微镜镜头内部，仅靠感觉转动承载治具容易使得承载治具在工作台上偏移位置，而晶圆在显微镜内部成像较大，一点偏移会影响观察人员的观察效果。
[0005]因此，有必要提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，解决了观察人员的眼睛注意着显微镜镜头内部，仅靠感觉转动承载治具容易使得承载治具在工作台上偏移位置，而晶圆在显微镜内部成像较大，一点偏移会影响观察人员的观察效果的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，包括：安装装置；
[0008]承载装置，所述承载装置转动安装于所述安装装置的顶部，所述承载装置包括承载台，所述承载台的顶部开设有滑槽，所述承载台顶部表面设置有角度值；
[0009]放置槽，所述放置槽设置于所述承载台顶部的中间；
[0010]观察装置，所述观察装置固定安装于所述安装装置顶部的一侧。
[0011]优选的，所述观察装置包括固定杆，所述固定杆的顶部固定安装有连接板，所述连接板底部的一侧固定安装有指向块。
[0012]优选的，所述安装装置包括安装台，所述安装台顶部的中间开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有轴承。
[0013]优选的，所述安装装置底部的两侧均固定安装有支撑块，所述支撑块的外表面固定连接有橡胶层。
[0014]优选的，所述放置槽设置成圆形槽，且所述放置槽设置有多个，多个所述放置槽的直径由底往高逐渐增加，可以放置多款直径的晶圆。
[0015]优选的，所述安装台底部的中间开设有连通孔，所述安装台内部的中间开设有设置腔，所述设置腔的内部设置有顶出装置，所述顶出装置外表面的中间固定安装有限位板。
[0016]优选的，所述顶出装置包括推杆，所述推杆的一端固定安装有顶块，所述推杆的另一端固定安装有推块。
[0017]与相关技术相比较，本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具具有如下有益效果：
[0018]本技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，通过安装装置将承载装置稳定的放置在工作台上，使用者通过轴承转动承载装置，安装装置不会偏移承载装置的位置，同时在承载装置的表面设置角度值，配合观察装置对角度值的指向，本装置结构简单，实用性强，承载装置在转动时不会出现偏移现象，同时明确了晶圆的转动角度，方便使用者观察任意角度的晶圆同时不会出现偏移误差，提高了观察效果。
附图说明
[0019]图1为本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具第一实施例的结构示意图；
[0020]图2为图1所示的A处放大示意图；
[0021]图3为图1所示的承载装置结构示意图；
[0022]图4为本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具第二实施例的结构示意图；
[0023]图5为图4所示的B处放大示意图。
[0024]图中标号：1、安装装置，101、安装台，102、安装槽，103、轴承，2、承载装置，21、承载台，22、滑槽，23、角度值，3、观察装置，31、固定杆，32、连接板，33、指向块，4、放置槽，5、支撑块，6、橡胶层，7、连通孔，8、设置腔，9、顶出装置，91、推杆，92、顶块，93、推块，10、限位板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0026]请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的A处放大示意图；图3为图1所示的承载装置结构示意图。一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，包括：安装装置1；
[0027]承载装置2，所述承载装置2转动安装于所述安装装置1的顶部，所述承载装置2包括承载台21，所述承载台21的顶部开设有滑槽22，所述承载台21顶部表面设置有角度值23；
[0028]放置槽4，所述放置槽4设置于所述承载台21顶部的中间；
[0029]观察装置3，所述观察装置3固定安装于所述安装装置1顶部的一侧。
[0030]滑槽22和指向块33相适配，角度值23为一圈三百六十度，方便使用者转动承载装置2时不会重复转动圈数。
[0031]所述观察装置3包括固定杆31，所述固定杆31的顶部固定安装有连接板32，所述连接板32底部的一侧固定安装有指向块33。
[0032]指向块33在滑槽22的内部指向相应的角度值23。
[0033]所述安装装置1包括安装台101，所述安装台101顶部的中间开设有安装槽102，所述安装槽102的内部设置有轴承103。
[0034]轴承103内圈连接承载台21，轴承103外圈连接安装台101的安装槽102。
[0035]所述安装装置1底部的两侧均固定安装有支撑块5，所述支撑块5的外表面固定连接有橡胶层6。
[0036]橡胶层6耐摩擦，和工作台台面接触增加摩擦力，避免滑动。
[0037]所述放置槽4设置成圆形槽，且所述放置槽4设置有多个，多个所述放置槽4的直径由底往高逐渐增加，可以放置多款直径的晶圆。
[0038]本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具的工作原理如下：
[0039]在工作时，首先使用者转动承载台21，承载台21转动的同时带动轴承103转动，轴承103在安装台101的内部转动，承载台21带动内部的晶圆转动，承载台21转动时表面的角度值23转动，并在观察装置3的指向下，观察人员可以了解转动的角度，避免转动角度重复。
[0040]与相关技术相比较，本技术提供的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具具有如下有益效果：
[0041]本技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，通过安装装置1将承载装置2稳定的放置在工作台上，使用者通过轴承103转动承载装置2，安装装置1不会偏移承载装置2的位置，同时在承载装置2的表面设置角度值，配合观察装置3对角度值的指向，本装置结构简单，实用性强，承载装置2在转动时不会出现偏移现象，同时明确了晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，包括：安装装置；承载装置，所述承载装置转动安装于所述安装装置的顶部，所述承载装置包括承载台，所述承载台的顶部开设有滑槽，所述承载台顶部表面设置有角度值；放置槽，所述放置槽设置于所述承载台顶部的中间；观察装置，所述观察装置固定安装于所述安装装置顶部的一侧。2.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，所述观察装置包括固定杆，所述固定杆的顶部固定安装有连接板，所述连接板底部的一侧固定安装有指向块。3.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，所述安装装置包括安装台，所述安装台顶部的中间开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有轴承。4.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供...

【专利技术属性】
技术研发人员：李迎秋，屈波，陶穗菲，莫莉，
申请(专利权)人：湖南中医药大学，
类型：新型
国别省市：