本实用新型专利技术公开了一种三甲基镓尾气处理装置，包括处理箱、底板和箱盖；所述底板的上表面安装有处理箱，所述底板的侧面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有处理组件，所述处理箱的上表面连接有箱盖，所述箱盖上设置有回收组件。本三甲基镓尾气处理装置，首先，将三甲基镓尾气通入进气管，由于第一挡板的下端与处理箱内部底面平齐，第二挡板的上端与处理箱内部顶面平齐，并且第一挡板和第二挡板长度相同，因此，三甲基镓尾气的前进线路转化为曲线前进，从而可以增加三甲基镓尾气在处理箱内的停留时间，此时，通过处理组件工作对通入的三甲基镓尾气进行处理，进而提升对三甲基镓尾气的处理效果，以便于通过回收组件对三甲基镓进行回收。行回收。行回收。
【技术实现步骤摘要】
一种三甲基镓尾气处理装置
[0001]本技术涉及尾气处理装置
，具体为一种三甲基镓尾气处理装置。
技术介绍
[0002]高纯三甲基镓属于高纯金属有机化合物，是利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺制备化合物半导体薄膜材料的关键支撑原材料，其广泛运用于LED设备、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、红外探测器、超级计算机等领域。其中，三甲基镓遇空气燃烧、遇水爆炸，精馏提纯过程中需在惰性气体气氛下进行，并且三甲基镓蒸汽压高，沸点较低。
[0003]但是，现有技术中的三甲基镓尾气处理装置，对通入的三甲基镓尾气处理时，通常没有对三甲基镓尾气的行进结构进行设计，使得三甲基镓尾气在处理箱内的停留时间较短，可能导致一部分的三甲基镓尾气中的三甲基镓没有被处理，从而会泄漏到大气中而对环境造成污染，为此，我们提出一种三甲基镓尾气处理装置。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种三甲基镓尾气处理装置，首先，将三甲基镓尾气通入进气管，由于第一挡板的下端与处理箱内部底面平齐，第二挡板的上端与处理箱内部顶面平齐，并且第一挡板和第二挡板长度相同，因此，三甲基镓尾气的前进线路转化为曲线前进，从而可以增加三甲基镓尾气在处理箱内的停留时间，此时，通过处理组件工作对通入的三甲基镓尾气进行处理，进而提升对三甲基镓尾气的处理效果，以便于通过回收组件对三甲基镓进行回收，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种三甲基镓尾气处理装置，包括处理箱、底板和箱盖；
[0006]所述底板的上表面安装有处理箱，所述底板的侧面开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有处理组件，所述处理箱的上表面连接有箱盖，所述箱盖上设置有回收组件；
[0007]所述处理箱的一侧安装有进气管，所述进气管上安装有第二控制阀，所述处理箱的另一侧安装有出气管，所述出气管上安装有第三控制阀，所述处理箱的内部两侧均开设有第一滑槽，所述第一滑槽由处理箱的上表面延伸至处理箱的内部底面，所述处理箱的内部两侧还均开设有第二滑槽，所述第二滑槽由处理箱的上表面延伸至处理箱的内部中部，所述第一滑槽和第二滑槽交替设置，所述第一滑槽内滑动安装有第一滑块，两个第一滑块共同安装有第一挡板，所述第二滑槽内滑动安装有第二滑块，两个第二滑块共同安装有第二挡板，所述第一滑块的长度和第二滑块的长度相同，所述第一挡板的长度和第二挡板的长度相同。
[0008]进一步的，还包括卡槽，所述箱盖的下表面安装有卡块，所述处理箱的上表面开设有卡槽，所述卡槽和卡块卡扣连接。通过卡槽和卡块的卡接可以对箱盖进行拆卸，以便于对处理箱内部的组件进行维护和更换。
[0009]进一步的，所述回收组件包括安装在箱盖上的分料管，所述分料管的下端位于处理箱的内部，所述分料管的上表面中部安装有回收管，所述回收管上安装有第一控制阀。当三甲基镓转化为液态时，可以通过分料管下端对三甲基镓进行回收，从而可以有效避免三甲基镓泄漏到外界环境中而造成环境污染。
[0010]进一步的，所述处理组件包括转动安装在底板上的第一转轴，所述第一转轴上转动安装有固定板，所述固定板的上表面两侧均开设有固定槽，所述底板上还转动安装有第二转轴和第三转轴，所述第二转轴和第三转轴的一端均安装有安装支架，所述安装支架内安装有半导体制冷片，所述安装支架位于固定槽内，所述第二转轴的端部安装有第三直齿轮，所述第三转轴的端部安装有第一直齿轮，所述第一转轴上安装有第二直齿轮，所述第一直齿轮和第二直齿轮啮合连接，所述第二直齿轮和第三直齿轮啮合连接，所述第一转轴的端部安装有把手，所述固定板的下表面安装有支腿，所述支腿的下端与安装槽的内部底面连接，所述安装槽的内部顶面开设有凹槽，所述凹槽内安装有导热板。当三甲基镓尾气通入处理箱后，通过外部控制器控制半导体制冷片工作，此时，半导体制冷片的制冷面朝上，通过导热板对处理箱导热，使得处理箱的温度降低，从而在足够的时间内使三甲基镓尾气中的三甲基镓快速的凝固保存，当三甲基镓尾气中的三甲基镓均被凝固后，通过转动把手带动第一转轴转动，第一转轴转动带动第二直齿轮转动，第二直齿轮转动分别啮合带动第一直齿轮和第三直齿轮转动，第一直齿轮和第三直齿轮转动分别带动其相应的第三转轴和第二转轴转动，第三转轴和第二转轴转动分别带动其上的半导体制冷片转动，从而使得半导体制冷片的制热面朝上，此时，通过导热板对处理箱导热，使得凝固的三甲基镓转化为液态的三甲基镓，以便于通过回收组件对液态的三甲基镓进行回收。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本三甲基镓尾气处理装置，首先，将三甲基镓尾气通入进气管，由于第一挡板的下端与处理箱内部底面平齐，第二挡板的上端与处理箱内部顶面平齐，并且第一挡板和第二挡板长度相同，因此，三甲基镓尾气的前进线路转化为曲线前进，从而可以增加三甲基镓尾气在处理箱内的停留时间，此时，通过处理组件工作对通入的三甲基镓尾气进行处理，进而提升对三甲基镓尾气的处理效果，以便于通过回收组件对三甲基镓进行回收。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术第一剖面结构示意图；
[0014]图3为本技术第二剖面结构示意图。
[0015]图中：1处理箱、2安装槽、3底板、4卡槽、5箱盖、6回收管、7第一控制阀、8分料管、9进气管、10第二控制阀、11第一直齿轮、12第二直齿轮、13把手、14第三直齿轮、15第一滑槽、16第三控制阀、17出气管、18第一滑块、19第一挡板、20导热板、21固定板、22支腿、23第一转轴、24第二滑块、25第二挡板、26安装支架、27半导体制冷片。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本实施例提供一种技术方案：一种三甲基镓尾气处理装置，包括处理箱1、底板3和箱盖5；
[0018]底板3的上表面安装有处理箱1，底板3的侧面开设有安装槽2，安装槽2的内部设置有处理组件，处理箱1的上表面连接有箱盖5，箱盖5上设置有回收组件；
[0019]处理箱1的一侧安装有进气管9，进气管9上安装有第二控制阀10，处理箱1的另一侧安装有出气管17，出气管17上安装有第三控制阀16，处理箱1的内部两侧均开设有第一滑槽15，第一滑槽15由处理箱1的上表面延伸至处理箱1的内部底面，处理箱1的内部两侧还均开设有第二滑槽，第二滑槽由处理箱1的上表面延伸至处理箱1的内部中部，第一滑槽15和第二滑槽交替设置，第一滑槽15内滑动安装有第一滑块18，两个第一滑块18共同安装有第一挡板19，第二滑槽内滑动安装有第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种三甲基镓尾气处理装置，其特征在于：包括处理箱（1）、底板（3）和箱盖（5）；所述底板（3）的上表面安装有处理箱（1），所述底板（3）的侧面开设有安装槽（2），所述安装槽（2）的内部设置有处理组件，所述处理箱（1）的上表面连接有箱盖（5），所述箱盖（5）上设置有回收组件；所述处理箱（1）的一侧安装有进气管（9），所述进气管（9）上安装有第二控制阀（10），所述处理箱（1）的另一侧安装有出气管（17），所述出气管（17）上安装有第三控制阀（16），所述处理箱（1）的内部两侧均开设有第一滑槽（15），所述第一滑槽（15）由处理箱（1）的上表面延伸至处理箱（1）的内部底面，所述处理箱（1）的内部两侧还均开设有第二滑槽，所述第二滑槽由处理箱（1）的上表面延伸至处理箱（1）的内部中部，所述第一滑槽（15）和第二滑槽交替设置，所述第一滑槽（15）内滑动安装有第一滑块（18），两个第一滑块（18）共同安装有第一挡板（19），所述第二滑槽内滑动安装有第二滑块（24），两个第二滑块（24）共同安装有第二挡板（25），所述第一滑块（18）的长度和第二滑块（24）的长度相同，所述第一挡板（19）的长度和第二挡板（25）的长度相同。2.根据权利要求1所述的一种三甲基镓尾气处理装置，其特征在于：还包括卡槽（4），所述箱盖（5）的下表面安装有卡块，所述处理箱（1）的上表...
【专利技术属性】
技术研发人员：李洋洋，张志伟，王科峰，
申请(专利权)人：河南承明光电新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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