一种MEMS油气回收流量计制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS油气回收流量计，包括基座、涡流发生体和传感器，基座上固定设置有指向标，基座中设有贯通的通道构成流量管道，流量管道两端分别为进气口和出气口，流量管道侧壁上设有形状与涡流发生体和传感器分别相配的涡流发生体容腔和传感器容腔，传感器容腔处于涡流发生体容腔的下游，涡流发生体容腔和传感器容腔的一端端口与流量管道相通另一端端口延伸至线路板容腔，涡流发生体和传感器分别固定设置在涡流发生体容腔和传感器容腔中，基座上方设有均匀排列的槽口，槽口内部固定有螺栓，基座上方中间设有显示屏；本一种MEMS油气回收流量计具有耐温效果较好、测量精度好的优点。精度好的优点。精度好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS油气回收流量计


[0001]本技术涉及流量计
，具体为一种MEMS油气回收流量计。

技术介绍

[0002]计量是工业生产的眼睛。流量计是计量科学技术的组成部分之一，它与国民经济、国防建设、科学研究有密切的关系，做好这一工作，对保证产品质量、提高生产效率、促进科学技术的发展都具有重要的作用，特别是在能源危机、工业生产自动化程度愈来愈高的当今时代，流量计在国民经济中的地位与作用更加明显，涡街流量计是根据卡门(Karman)涡街原理研究生产的测量气体、蒸汽或液体的体积流量、标况的体积流量或质量流量的体积流量计，涡街流量计制造时都是将涡流发生体直接注塑或粘接或焊接在测量管内，注塑或粘接或焊接时涡流发生体的位置难以精确定位且涡流发生体周边流量管道的管体线性度差，旋涡幅度弱，传感器检测不到信号，造成流量计性能差，测量精度低，而且现有的MEMS流量计具有成本低的优点，但耐温较劣，应用场景比较单一，为此，我们提出一种MEMS油气回收流量计。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种MEMS油气回收流量计具有耐温效果较好、测量精度好的优点，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种MEMS油气回收流量计，包括基座、涡流发生体和传感器，所述基座上固定设置有指向标，所述基座中设有贯通的通道构成流量管道，所述流量管道两端分别为进气口和出气口，所述流量管道侧壁上设有形状与涡流发生体和传感器分别相配的涡流发生体容腔和传感器容腔，所述传感器容腔处于涡流发生体容腔的下游，所述涡流发生体容腔和传感器容腔的一端端口与所述流量管道相通，另一端端口延伸至线路板容腔，所述涡流发生体和传感器分别固定设置在涡流发生体容腔和传感器容腔中，所述基座上方设有均匀排列的槽口，所述槽口内部固定有螺栓，所述基座上方中间设有显示屏。
[0005]优选的，所述基座后方设有管道，所述管道前方表面固定有螺母。
[0006]优选的，所述传感器主体为柱形，在传感器柱面的轴向位置设有由环形凸筋构成的限位机构，用于限制所述传感器的插入深度，在所述线路板容腔底部传感器容腔端口的一侧设有定位凸起，所述传感器的环形凸筋上设有与定位凸起相配的定位孔，所述定位凸起配合在定位孔中对所述传感器的方向起到定位作用，MEMS技术将热扩散原理应用至微米尺度，使得传感器灵敏度更高。
[0007]优选的，所述基座一侧设置有锚孔，所述锚孔内部设有螺纹，用以与其他设备连接，所述指向标为黑色标签，贴在基座表面。
[0008]优选的，所述基座内部设有流量传感器、信号处理模块、输出模块三个部分，流量传感器采用CMOS半导体工艺制成的MEMS微机电传感器，输出模块可以实时测量流量并输出
流量相关信息。
[0009]优选的，所述基座上端还设有凹腔构成线路板容腔，所述传感器容腔另一端端口设置在线路板容腔的底部，所述涡流发生体容腔另一端端口设置在所述基座的底部，所述线路板容腔中设置有检测线路板，所述线路板容腔配设有盖板，所述检测线路板上设有调节电位器，所述盖板上与所述调节电位器对应位置设有调节孔，所述调节孔中可旋转地设有调节钮与所述调节电位器相匹配。
[0010]优选的，所述基座整体呈矩形体，所述线路板容腔也呈矩形体，所述基座一体式结构，选用金属材质。
[0011]优选的，所述涡流发生体容腔另一端端口设置在所述基座的底部，方便所述涡流发生体从基座的底部装入至流量管道中，并采用密封胶如环氧树脂胶密封固定。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.本技术结构设计合理，通过设有基座，并在基座中设有贯通的通道构成流量管道，在所述流量管道侧壁上设有形状与涡流发生体和传感器分别相配的涡流发生体容腔和传感器容腔，将所述涡流发生体和传感器分别固定设置在涡流发生体容腔和传感器容腔中，采用拼装并密封的方式，提高涡流发生体的位置精度，并提高涡流发生体周围流量管道的管体线性度，从而达到提升流量计性能，提升流量计测量精度。
[0014]2.本技术结构设计合理，通过流量传感器的设立，且利用其热扩散原理测量出来的气体的质量流量，与压力、温度无关，不需要进行压力和温度补偿，精度较高，且MEMS技术将热扩散原理应用至微米尺度，传感器灵敏度更高，因此，综合热扩散原理和MEMS技术制造的质量流量计具有精度高、量程宽、灵敏度高、讦量精准的特点，通过信号处理模块的设立，有利于抑制测量数据随机误差，这些技术的应用保证了流量计具有响应迅速、精度高、稳定性好的特点，通过增加完善的散热措施实现MEMS与高温流量计，兼具了MEMS耐高温的优点。
附图说明
[0015]图1为本技术一种MEMS油气回收流量计整体结构示意图；
[0016]图2为本技术一种MEMS油气回收流量计部分结构示意图；
[0017]图3为本技术一种MEMS油气回收流量计平面结构示意图；
[0018]图4为本技术一种MEMS油气回收流量计俯视结构示意图；
[0019]图5为本技术一种MEMS油气回收流量计侧视结构示意图。
[0020]图中标注说明：1、基座；2、指向标；3、进气口；4、出气口；5、显示屏；6、环形凸筋；7、调节钮；8、槽口；9、螺栓；10、流量管道；11、涡流发生体；12传感器；13、涡流发生体容腔；14、传感器容腔；15、定位凸起；17、线路板容腔；18、定位孔；19、锚孔。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1：
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供一种技术方案：一种MEMS油气回收流量计，包括基座1、涡流发生体11和传感器12，基座1上固定设置有指向标2，基座1中设有贯通的通道构成流量管道10，流量管道10两端分别为进气口3和出气口4，流量管道10侧壁上设有形状与涡流发生体11和传感器12分别相配的涡流发生体容腔13和传感器容腔14，传感器容腔14处于涡流发生体容腔13的下游，涡流发生体容腔13和传感器容腔14的一端端口与流量管道10相通，另一端端口延伸至线路板容腔17，涡流发生体11和传感器12分别固定设置在涡流发生体容腔13和传感器容腔14中，基座1上方设有均匀排列的槽口8，槽口8内部固定有螺栓9，基座1上方中间设有显示屏5，通过设有基座1，并在基座1中设有贯通的通道构成流量管道10，在所述流量管道10侧壁上设有形状与涡流发生体11和传感器分别相配的涡流发生体容腔13和传感器容腔14，将所述涡流发生体11和传感器12分别固定设置在涡流发生体容腔13和传感器容腔14中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS油气回收流量计，包括基座（1）、涡流发生体（11）和传感器（12），其特征在于：所述基座（1）上固定设置有指向标（2），所述基座（1）中设有贯通的通道构成流量管道（10），所述流量管道（10）两端分别为进气口（3）和出气口（4），所述流量管道（10）侧壁上设有形状与涡流发生体（11）和传感器（12）分别相配的涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14），所述传感器容腔（14）处于涡流发生体容腔（13）的下游，所述涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14）的一端端口与所述流量管道（10）相通，另一端端口延伸至线路板容腔（17），所述涡流发生体（11）和传感器（12）分别固定设置在涡流发生体容腔（13）和传感器容腔（14）中，所述基座（1）上方设有均匀排列的槽口（8），所述槽口（8）内部固定有螺栓（9），所述基座（1）上方中间设有显示屏（5）。2.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述基座（1）后方设有管道，所述管道前方表面固定有螺母。3.根据权利要求1所述的一种MEMS油气回收流量计，其特征在于：所述传感器（12）主体为柱形，在传感器（12）柱面的轴向位置设有由环形凸筋（6）构成的限位机构，用于限制所述传感器（12）的插入深度，在所述线路板容腔（17）底部传感器容腔（14）端口的一侧设有定位凸起（15），所述传感器（12）的环形凸筋（6）上设有与定位凸起（15）相配的定位孔（18），所述定位凸起（15）配合在定位孔（18）中对所述传感器（12）的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾智杰，陈杰汉，
申请(专利权)人：广州市唯量工控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：