炉体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种炉体结构，炉体结构包括保温层、炉体、支撑组件和炉丝，支撑组件包括支撑件，且支撑件沿炉体的轴向方向延伸，支撑件连接与炉体连接，该连接为可拆卸连接，炉丝设置于支撑件上。该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，炉丝损坏时不需要更换整段炉体，只需要将支撑件从炉体上拆下然后更换炉丝即可，提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。提升了更换效率和维修效率。

【技术实现步骤摘要】
炉体结构


[0001]本技术涉及高温热炉设备
，尤其涉及一种炉体结构。

技术介绍

[0002]高温热炉是半导体制造
的常用设备，目前的高温热炉一般采用通电炉丝2
’
在高温热炉的炉体内形成高温热场，为了确保高温热场的稳定性，如图1所示，高温热炉的炉体通常具有保温层1
’
，而炉丝2
’
安装在保温层1
’
上的安装槽11
’
内。在实际生产制造中，一般用吸覆成形技术，把炉丝2
’
与保温层1
’
做成一个整体，这种结构需要将制造保温层1
’
的模具覆盖在炉丝2
’
上并且固定，此固定的时间相当长，很浪费时间，降低了炉体结构的组装效率，并且当炉丝2
’
损坏后，由于保温层1
’
和炉丝2
’
为一体式结构，很难更换炉丝2
’
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种炉体结构，该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，在提升炉体结构的组装效率的同时还能够方便炉丝更换。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种炉体结构，包括保温层和炉体，还包括：
[0006]支撑组件，所述支撑组件包括支撑件，且所述支撑件沿所述炉体的轴向方向延伸，所述支撑件与所述炉体连接，所述连接为可拆卸连接；炉丝，所述炉丝设置于所述支撑件上。
[0007]在一些实施例中，所述炉丝为多个，多个所述炉丝沿所述炉体的周向设置在所述炉体内，每个所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置；或者多个所述炉丝沿所述炉体的轴向设置，每个所述炉丝沿所述炉体的周向设置。
[0008]在一些具体的实施例中，所述支撑组件还包括至少两个沿所述炉体轴向设置的固定件，所述固定件上设有与所述支撑件配合的固定部。
[0009]在一些更具体的实施例中，至少一个所述固定件为与所述炉体相连的法兰盘，所述固定部为所述法兰盘上的固定孔。
[0010]在一些实施例中，所述支撑件为绝缘杆，所述绝缘杆的端部与所述固定件相连，所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置且所述炉丝套设于所述绝缘杆上。
[0011]在一些实施例中，所述支撑件包括支撑杆和支撑卡块，所述支撑杆与所述炉体配合，所述支撑卡块与所述支撑杆相连，且所述支撑卡块上设有卡接槽，所述卡接槽卡接所述炉丝。
[0012]在一些具体的实施例中，所述支撑卡块成对设置，成对设置的两个所述支撑卡块设置有相互配合的所述卡接槽。
[0013]在一些具体的实施例中，所述支撑卡块包括套筒部和卡接部，所述套筒部套设于所述支撑杆，所述卡接部具有所述卡接槽。
[0014]在一些具体的实施例中，每个所述支撑杆上的所述支撑卡块为多个，多个所述支
撑卡块沿所述支撑杆的轴向间隔分布；其中：所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置，一个所述炉丝卡接于同一个所述支撑杆上的多个所述支撑卡块；所述炉丝沿所述炉体的周向延伸设置，一个所述炉丝卡接于多个所述支撑杆上位于同一个圆周上的多个所述支撑卡块。
[0015]在一些具体的实施例中，所述卡接槽包括开口和限位槽，所述炉丝能够从所述开口卡入所述支撑卡块以使所述炉丝配合于所述限位槽。
[0016]在一些实施例中，所述炉体为一体成型件或者包括多段连接的子炉体。
[0017]本技术的炉体结构的有益效果：由于每个支撑件沿炉体的轴向方向延伸且与炉体可拆卸相连，且炉丝连接在支撑件上，在制造炉体时不需要将炉丝安装到制造保温层的模具上，使得保温层可以制造为标准件，不需要根据实际的炉丝数量以及安装位置特殊化定制，在降低保温层的制造成本以及提高加工效率的同时还能够使得保温层具有通用性，方便炉体结构组装。与此同时，支撑件与可拆卸连接，当炉丝损坏时，只需要将支撑件从炉体上拆下，然后将炉丝从支撑件上拆下进行检修或者更换，不需要更换整个炉体，操作非常方便。此外，由于炉丝直接安装在支撑件上，在炉丝安装完成后，保留了炉丝加热时需要的膨胀空间，避免了现有技术中，炉丝在加热膨胀会弹出保温层的内侧壁，导致炉体需要维修的现象。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]图1是现有技术的炉体结构的示意图；
[0020]图2是本技术实施例一的炉体结构的结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例一的炉体结构的分解结构示意图；
[0022]图4是本技术实施例一的炉体结构的剖视图；
[0023]图5是本技术实施例一的另一种炉体的结构；
[0024]图6是本技术实施例一的再一种炉体的结构；
[0025]图7是本技术实施例二的炉体结构的结构示意图；
[0026]图8是本技术实施例二的支撑件与炉丝的配合结构示意图；
[0027]图9是本技术实施例二的支撑件的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]图1中：
[0030]1’
、保温层；11
’
、安装槽；12、炉丝；
[0031]图2
‑
图9中：
[0032]1、炉体；11、子炉体；12、安装孔；2、支撑组件；21、支撑件；211、支撑杆；212、支撑卡块；2121、套筒部；2122、卡接部；2120、卡接槽；21201、开口；21202、限位槽；22、固定件；221、固定部；3、炉丝。
具体实施方式
[0033]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0035]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.炉体结构，包括保温层和炉体(1)，其特征在于，还包括：支撑组件(2)，所述支撑组件(2)包括支撑件(21)，且所述支撑件(21)沿所述炉体(1)的轴向方向延伸，所述支撑件(21)与所述炉体(1)连接，所述连接为可拆卸连接；炉丝(3)，所述炉丝(3)设置于所述支撑件(21)上。2.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述炉丝(3)为多个，多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置在所述炉体(1)内，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置；或者多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向设置，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置。3.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(2)还包括至少两个沿所述炉体(1)轴向设置的固定件(22)，所述固定件(22)上设有与所述支撑件(21)配合的固定部(221)。4.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，至少一个所述固定件(22)为与所述炉体(1)相连的法兰盘，所述固定部(221)为所述法兰盘上的固定孔。5.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)为绝缘杆，所述绝缘杆的端部与所述固定件(22)相连，所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置且所述炉丝(3)套设于所述绝缘杆上。6.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)包括支撑杆(211)和支撑卡块(212)，所述支撑杆(211)与所述炉体(1)上安装孔(12)配合，所述支撑卡块(212)与所述支撑杆(211)相连...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭永胜，庞爱锁，刘群，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：