本发明专利技术公开了一种用于光刻机的压紧装置，包括:工作台，工作台的水平部设置有上下升降的支撑板，工作台两侧的竖直部设置有上下移动的压板；驱动机构包括：转轴，转轴转动安装在工作台内，转轴上设置有第一连杆组件和第二连杆组件；第一连杆组件和第二连杆组件均包括曲杆和活动杆，曲杆安装在转轴对应的位置上，曲杆与连杆的底端活动连接，连杆的顶端分别与对应对应的支撑板与升降板活动连接；升降板沿着工作台的竖直部上下移动，升降板与压板连接；支撑板沿着工作台的竖直部外壁上下移动，本发明专利技术的压紧装置，使得压板对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台上，从而保证压紧的质量。从而保证压紧的质量。从而保证压紧的质量。
【技术实现步骤摘要】
一种用于光刻机的压紧装置
[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体涉及一种用于光刻机的压紧装置。
技术介绍
[0002]中国专利公开了一种用于光刻机的压紧装置，涉及光刻机
，包括压边升降机构、水平位移机构、压边滚轮和滚轮定位机构，水平位移机构可带动压边升降机构水平位移，压边升降机构可带动水平位移机构和滚轮定位机构做升降运动；压边升降机构包括升降气缸和升降座，升降气缸可驱动升降座做升降运动；水平位移机构包括位移马达和位移丝杆，位移马达可驱动位移丝杆水平移动；滚轮定位机构包括滚轮定位支架和滚轮定位座；
[0003]现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的就在于解决在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象的问题，而提出一种用于光刻机的压紧装置。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种用于光刻机的压紧装置，包括:
[0007]工作台，工作台为U型中空结构，工作台的水平部设置有上下升降的支撑板，工作台两侧的竖直部设置有上下移动的压板；
[0008]工作台的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括：
[0009]转轴，转轴转动安装在工作台内，转轴上设置有第一连杆组件和第二连杆组件；
[0010]第一连杆组件和第二连杆组件均包括曲杆和活动杆，曲杆安装在转轴对应的位置上，曲杆与连杆的底端活动连接，连杆的顶端分别与对应对应的支撑板与升降板活动连接；
[0011]升降板沿着工作台的竖直部上下移动，升降板与压板连接；支撑板沿着工作台的竖直部外壁上下移动。
[0012]作为本专利技术进一步的方案：工作台两侧的竖直部上设置有方形的凹槽，凹槽上设置有传送带，压板位于传送带的上方。
[0013]作为本专利技术进一步的方案：压板的底面设置有弹性垫。
[0014]作为本专利技术进一步的方案：第一连杆组件设置有一组，位于转轴的中部，第二连杆组件设置有两组，位于转轴的两侧。
[0015]作为本专利技术进一步的方案：工作台的水平部上设置有用于第一连杆组件的曲杆转动的滑槽，在工作台的竖直部上设置有用于升降板移动的第一通孔。
[0016]作为本专利技术进一步的方案：支撑板为十字形结构。
[0017]作为本专利技术进一步的方案：工作台内设置有定位机构，定位机构位于传送带出料处；
[0018]定位机构包括：
[0019]基板，基板安装在工作台竖直部的内壁上，基板设置有气缸，气缸的输出端与滑板连接，滑板的顶面竖直设置有第一柱体，滑板与基板滑动连接；
[0020]滑板的侧壁上设置有齿条，齿条通过传动箱与横杆连接，传动箱安装在工作台上，横杆转动安装在工作台两侧竖直部之间，横杆的两侧设置有第二柱体。
[0021]作为本专利技术进一步的方案：工作台的竖直部侧壁上设置有用于第一柱体水平移动的L形结构的第二通孔，以及在压板上设置有用于第一柱体水平移动的第三通孔。
[0022]作为本专利技术进一步的方案：传动箱内转动设置有齿轮，齿轮与齿条啮合连接，齿轮套设在连接轴上，连接轴转动安装在传动箱上，连接轴的顶部通过斜齿轮组与传动轴连接，传动轴与横杆连接。
[0023]本专利技术的有益效果：
[0024]本专利技术的压紧装置，使得压板对PCB板进行压紧固定，同时在压紧时，对PCB板进行支撑，使得PCB板平整地置于工作台上，从而保证压紧的质量，避免在压紧过程中，PCB板出现损伤；解决现有技术中，PCB板经过运输移动到压紧工位时，通过气缸带动压紧板体运动，来实现对PCB板两边进行压紧，但是由于在压紧前，受PCB板质量的影响，以及缺少底部支撑，导致在PCB板在压紧过程中，PCB板的两侧会出现翘边的现象，从而使得在压紧过程中，将会影响PCB板质量的问题；
[0025]本专利技术的定位机构，可以对需要压紧的PCB板进行定位，停止在指定的压紧工位上，还可以对在运输过程中，PCB板位置发生倾斜，对其进行校正的作用，从而保证PCB压紧的精准性。
附图说明
[0026]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0027]图1是本专利技术的结构示意图；
[0028]图2是本专利技术工作台内腔的结构示意图；
[0029]图3是本专利技术定位机构的结构示意图；
[0030]图4是本专利技术第一柱体与气缸连接关系的结构示意图；
[0031]图5是本专利技术传动箱的结构示意图。
[0032]图中：1、工作台；2、凹槽；3、压板；4、第一通孔；5、第二通孔；6、第三通孔；7、定位机构；8、支撑板；9、第一连杆组件；10、滑槽；11、转轴；12、第二连杆组件；13、曲杆；14、电机；15、活动杆；16、升降板；17、弹性垫；18、传送带；19、基板；20、气缸；21、滑板；22、第一柱体；23、传动箱；24、横杆；25、第二柱体；26、齿条；27、齿轮；28、斜齿轮组；29、传动轴。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它
实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0034]实施例1
[0035]请参阅图1
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5所示，本专利技术为一种用于光刻机的压紧装置，包括工作台1、压板3、支撑板8和传送带18；
[0036]工作台1为U型中空结构，在工作台1的水平部设置有上下升降的支撑板8，工作台1两侧的竖直部设置有上下移动的压板3；工作台1两侧的竖直部上设置有方形的凹槽2，传送带18设置在凹槽2上，通过传送带18可以对待加工的PCB板进行输送；其中，压板3位于传送带18的上方，当输送过来的PCB板，通过设置的压板3将其压紧固定住；压板3的底面设置有弹性垫17，该弹性垫17可以使得压板3与PCB板之间弹性接触，避免在压紧时，两者发生刚性接触，造成PCB损伤的问题；
[0037]工作台1的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括第一连杆组件9、滑槽10、转轴11、第二连杆组件12、电机14、升降板16；电机14设置在工作台1的底部侧壁上，电机14的输出端与转轴11连接，转轴11转动安装在工作台1内，转轴11上设置有第一连杆组件9和第二连杆组件12；
[0038]第一连杆组件9和第二连杆组件12均包括曲杆13和活动杆15，曲杆13安装在转轴11对应的位置上，曲杆13与连杆16的底端活动连接，连杆16的顶端分别与对应对应的支撑板8与升降板16活动连接；升降板16沿着工作台1的竖直部上下移动，升降板1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于光刻机的压紧装置，其特征在于，包括:工作台(1)，工作台(1)为U型中空结构，工作台(1)的水平部设置有上下升降的支撑板(8)，工作台(1)两侧的竖直部设置有上下移动的压板(3)；工作台(1)的内腔设置有驱动机构，驱动机构包括：转轴(11)，转轴(11)转动安装在工作台(1)内，转轴(11)上设置有第一连杆组件(9)和第二连杆组件(12)；第一连杆组件(9)和第二连杆组件(12)均包括曲杆(13)和活动杆(15)，曲杆(13)安装在转轴(11)对应的位置上，曲杆(13)与连杆(16)的底端活动连接，连杆(16)的顶端分别与对应对应的支撑板(8)与升降板(16)活动连接；升降板(16)沿着工作台(1)的竖直部上下移动，升降板(16)与压板(3)连接；支撑板(8)沿着工作台(1)的竖直部外壁上下移动。2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，工作台(1)两侧的竖直部上设置有方形的凹槽(2)，凹槽(2)上设置有传送带(18)，压板(3)位于传送带(18)的上方。3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，压板(3)的底面设置有弹性垫(17)。4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，第一连杆组件(9)设置有一组，位于转轴(11)的中部，第二连杆组件(12)设置有两组，位于转轴(11)的两侧。5.根据权利要求4所述的一种用于光刻机的压紧装置,其特征在于，工作台(1)的水平部上设置有用于第一连杆组件(9)的曲杆(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志特，王华，龚海峰，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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