一种用于晶转组件的轴承座机构及其晶转组件制造技术

技术编号:37817730 阅读:13 留言:0更新日期:2023-06-09 09:49
本发明专利技术涉及一种用于晶转组件的轴承座机构,包括安装组件、轴向力承受单元和磁流体单元。安装组件固定安装于单晶炉上。轴向力承受单元的底部与安装组件固定连接,轴向力承受单元的顶部与磁流体单元相连,轴向力承受单元能够承受转动单元的重量。磁流体单元穿过轴向力承受单元,且磁流体单元的顶端与转动单元固定连接,磁流体单元的底端与安装组件固定连接。通过轴向力承受单元直接承受转动单元整体上的重量,进而使得轴向和径向承力不受磁流体单元的轴芯的影响,从能够承受更大的轴向力,以使磁流体单元仅承受转动部分的力,进而提高了磁流体单元的轴芯的强度和刚性,同时提高了磁流体单元的转速旋转。流体单元的转速旋转。流体单元的转速旋转。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶转组件的轴承座机构及其晶转组件


[0001]本专利技术涉及单晶炉设备
,尤其涉及一种用于晶转组件的轴承座机构及其晶转组件。

技术介绍

[0002]单晶炉包括炉底板、主炉室、炉盖、隔离阀室、副炉室、提拉机构和坩埚驱动装置。其中,提拉机构作为单晶炉中的核心零部件,安装在单晶炉的副炉室的顶端,其包括晶转组件、晶升组件、定滑轮组件、配电箱组件、导电滑环组件、自配重组件。
[0003]其中,晶转组件由伺服电机驱动大小皮带轮带动磁流体轴芯进而带动与磁流体轴芯相连的提升腔转动。提升腔与晶升组件相连,以使晶转组件带动晶升组件转动。
[0004]目前现有提拉头的晶转组件是由伺服电机驱动大小皮带轮带动磁流体轴芯转动,进而提供整体的旋转运动,磁流体与晶转组件通过轴承结构与其所在的箱体发生相对转动,磁流体本身由于轴承结构限制了其自身的轴芯的直径,即磁流体的轴芯的直径不易过大,但是轴芯过小导致其径向承力不稳定,而且,磁流体直接承受整体的晶升组件以及其他转动部分所形成的转动单元的整体重量,轴向的承受力过大,进而在强度和刚性受一定程度影响导致无法高转速旋转。

技术实现思路

[0005](一)要解决的技术问题
[0006]鉴于现有技术的上述缺点、不足,本专利技术提供一种用于晶转组件的轴承座机构及其晶转组件,其解决了磁流体的轴芯的直径不易过大,但是轴芯过小导致其径向承力不稳定,而且,磁流体直接承受整体的晶升组件以及其他转动部分所形成的的转动单元的整体重量,轴向的承受力过大,进而在强度和刚性受一定程度影响导致无法高转速旋转的技术问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为了达到上述目的,本专利技术采用的主要技术方案包括:
[0009]一种用于晶转组件的轴承座机构,包括安装组件、轴向力承受单元和磁流体单元;
[0010]所述安装组件固定安装于单晶炉上;
[0011]所述轴向力承受单元的底部与所述安装组件固定连接,所述轴向力承受单元的顶部与所述磁流体单元相连,所述轴向力承受单元能够承受转动单元的重量;
[0012]所述磁流体单元穿过所述轴向力承受单元,且所述磁流体单元的顶端与所述转动单元固定连接,所述磁流体单元的底端与所述安装组件固定连接。
[0013]可选地,所述轴向力承受单元包括轴承座、十字交叉滚子轴承、第一固定件和第二固定件;
[0014]所述轴承座设置于所述安装组件上,所述轴承座具有第一中心通孔,所述第一中心通孔的顶部端面开设环形台阶端面,所述环形台阶端面用于承接所述十字交叉滚子轴
承,所述十字交叉滚子轴承的外圈通过所述第一固定件固定连接于所述轴承座上,所述十字交叉滚子轴承的内圈通过所述第二固定件固定连接于所述磁流体单元上。
[0015]可选地,所述磁流体单元包括支撑部、连接部和磁流体主体;
[0016]所述支撑部与所述转动单元固定连接,所述支撑部具有第二中心通孔,所述连接部的顶端固定设置于所述支撑部的底端,所述连接部的底端可拆卸连接于所述十字交叉滚子轴承的内圈,所述连接部具有与所述第二中心通孔相连的第三中心通孔;
[0017]所述磁流体主体的一端从上至下依次穿过所述第二中心通孔、所述第三中心通孔和所述第一中心通孔后与波纹管法兰固定连接。
[0018]可选地,所述连接部的外壁设置有压紧部,所述压紧部与所述十字交叉滚子轴承的内圈上端面之间设置有传动单元。
[0019]可选地,所述传动单元包括从动带轮、多楔带和主动带轮;
[0020]所述主动带轮套设于所述连接部的外侧,且所述从动带轮与所述压紧部固定连接,所述从动带轮和所述主动带轮的外侧壁均开设有啮合齿,所述多楔带的两端分别啮合于所述从动带轮的所述啮合齿和所述主动带轮的啮合齿上,所述主动带轮与所述动力单元的输出端固定连接。
[0021]可选地,所述十字交叉滚子轴承的直径与所述从动带轮的直径比为1:0.95~1:0.98。
[0022]可选地,所述第三中心通孔的直径大于所述第二中心通孔的直径,以使所述磁流体主体的外侧周向壁的底端与所述第三中心通孔之间具有环状容纳空间,所述环状容纳空间设置有导电滑环组件;
[0023]所述导电滑环组件能够将固定不动的传输线转换成转动的传输线,以为所述晶转组件引入传输线。
[0024]可选地,还包括阻尼定位套,所述阻尼定位套套设于所述磁流体主体的顶部。
[0025]可选地,所述轴承座上开设有多个减重孔。
[0026]另一方面,一种晶转组件,包括所述的用于晶转组件的轴承座机构和动力单元;
[0027]所述轴承座机构与波纹管法兰相连;
[0028]所述动力单元与所述磁流体单元相连,以带动所述磁流体单元相对于所述轴向承受单元转动;所述磁流体单元通过传动单元与所述动力单元相连。
[0029](三)有益效果
[0030]本专利技术的有益效果是:
[0031]本专利技术的一种用于晶转组件的轴承座机构,通过轴向力承受单元直接承受转动单元整体上的重量,进而使得轴向和径向承力不受磁流体单元的轴芯的影响,从能够承受更大的轴向力,以使磁流体单元仅承受转动部分的力,进而提高了磁流体单元的轴芯的强度和刚性,同时提高了磁流体单元的转速旋转。
[0032]本专利技术提供的一种晶转组件,能够设置成小直径的磁流体单元,且仅需承受转动的径向力的,所以无需磁流体单元的直径过大,进而提高了高速晶转时整体结构的稳定性,一定程度上提高了拉晶效率。
附图说明
[0033]图1为本专利技术的提拉头的整体的立体示意图;
[0034]图2为本专利技术的用于晶转组件的轴承座机构立体示意图;
[0035]图3为图2的剖面结构示意图。
[0036]【附图标记说明】
[0037]1:安装组件;2:轴向力承受单元;21:轴承座;22:十字交叉滚子轴承;23:第一固定件;24:第二固定件;25:第一中心通孔;3:磁流体单元;31:支撑部;32:连接部;33:磁流体主体;34:第二中心通孔;35:第三中心通孔;36:压紧部;4:传动单元;41:从动带轮;42:多楔带;43:主动带轮;5:导电滑环组件;6:阻尼定位套;7:减重孔;a:转动单元;b:动力单元;c:波纹管法兰。
具体实施方式
[0038]为了更好的解释本专利技术,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对本专利技术作详细描述。其中,本文所提及的“上”、“下”、“左”、“右”、“内”和“外”等方位名词以图1的定向为参照。将波纹管法兰c相对于轴承座所在的一侧定义为“下”;将磁流体单元3相对于轴向力承受单元2所在的一侧定义为“内”。
[0039]参照图1和图2所示,一种晶转组件,包括用于晶转组件的轴承座机构和动力单元b。
[0040]其中,轴承座机构与其底部的波纹管法兰c相连。
[0041]本专利技术实施例提出的一种用于晶转组件的轴承座机构,包括安装组件1、轴向力承受单元2和磁流体单元3。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶转组件的轴承座机构,其特征在于,包括安装组件(1)、轴向力承受单元(2)和磁流体单元(3);所述安装组件(1)固定安装于单晶炉上;所述轴向力承受单元(2)的底部与所述安装组件(1)固定连接,所述轴向力承受单元(2)的顶部与所述磁流体单元(3)相连,所述轴向力承受单元(2)能够承受转动单元(a)的重量;所述磁流体单元(3)穿过所述轴向力承受单元(2),且所述磁流体单元(3)的顶端与所述转动单元(a)固定连接,所述磁流体单元(3)的底端与所述安装组件(1)固定连接。2.如权利要求1所述的用于晶转组件的轴承座机构,其特征在于,所述轴向力承受单元(2)包括轴承座(21)、十字交叉滚子轴承(22)、第一固定件(23)和第二固定件(24);所述轴承座(21)设置于所述安装组件(1)上,所述轴承座(21)具有第一中心通孔(25),所述第一中心通孔(25)的顶部端面开设环形台阶端面,所述环形台阶端面用于承接所述十字交叉滚子轴承(22),所述十字交叉滚子轴承(22)的外圈通过所述第一固定件(23)固定连接于所述轴承座(21)上,所述十字交叉滚子轴承(22)的内圈通过所述第二固定件(24)固定连接于所述磁流体单元(3)上。3.如权利要求2所述的用于晶转组件的轴承座机构,其特征在于,所述磁流体单元(3)包括支撑部(31)、连接部(32)和磁流体主体(33);所述支撑部(31)与所述转动单元(a)固定连接,所述支撑部(31)具有第二中心通孔(34),所述连接部(32)的顶端固定设置于所述支撑部(31)的底端,所述连接部(32)的底端可拆卸连接于所述十字交叉滚子轴承(22)的内圈,所述连接部(32)具有与所述第二中心通孔(34)相连的第三中心通孔(35);所述磁流体主体(33)的一端从上至下依次穿过所述第二中心通孔(34)、所述第三中心通孔(35)和所述第一中心通孔(25)...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹嘉琦王嘉吴新桦辛珊张怿
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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