一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装制造技术

本实用新型专利技术涉及一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装，包括基板、密封袋以及绑扎单元。密封袋用来装入待压实的靶材坯料块，且其由基板所承载。绑扎单元与基板相协同作用，以向着密封袋施以绑扎力。正对应于密封袋预放置区域，在基板上成型出有多个以矩形阵列形式进行排布的均压通孔。如此一来，当靶材坯料块和基板作为一个整体而浸没的瞬间，冷等静压溶液可在极短时间内经由均压通孔而浸润靶材坯料块的底壁，利于保证靶材坯料块在被侵没进程中其各侧壁尽可能地受压均衡，进而有效地避免了其各区域因受压不均衡而形变量不一致现象的发生，确保经冷等静压处理后的靶材坯料块在具有良好致密度的前提下，其具有良好的冷等静压成型规整性。整性。整性。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装


[0001]本技术涉及ITO平面靶材校形
，尤其是一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装。

技术介绍

[0002]氧化铟锡(Tin
‑
doped Indium Oxide)靶材，简称ITO靶材，属于铟锡复合氧化物陶瓷，是一种重要的光电功能材料，常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜，用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。
[0003]ITO平面靶材主要应用于平板显示领域，其制作工艺流程大致为：研磨造粒
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油压成型
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冷等静压成型
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高温烧结
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机加工
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绑定
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包装。在执行冷等静压成型操作时，需将油压成型后的靶材坯料块置于基板上，而后整体浸没至冷等静压溶液中，随后，向着冷等静压溶液施压，在此进程中，靶材坯料块因受到静压力作用而压实致密。然而，在实际操作中发现，被压实后的靶材坯料块成型不规整，且其各区域密度分布不一，进而影响到后续其高温烧结外观以及性能，究其原因在于：因靶材坯料块需紧密地压靠于基板上，在短时间内冷等静压溶液并不能及时地浸润其底壁，而其他侧壁均直接受到冷等静压溶液的浸润，从而导致在执行冷等静压成型操作时其各侧壁受压不均。因而，亟待技术人员解决上述问题。

技术实现思路

[0004]故，本技术设计人员鉴于上述现有的问题以及缺陷，乃搜集相关资料，经由多方的评估及考量，并经过从事于此行业的多年研发经验技术人员的不断实验以及修改，最终导致该ITO平面靶材冷等静压辅助工装的出现。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术涉及了一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装，包括基板、密封袋以及绑扎单元。密封袋用来装入待压实的靶材坯料块，且其由基板所承载。绑扎单元与基板相协同作用，以向着密封袋施以绑扎力。正对应于密封袋预放置区域，在基板上成型出有多个以矩形阵列形式进行排布的均压通孔。
[0006]作为本技术所公开技术方案的进一步改进，在基板上还成型出有多个沟槽。沟槽用来沟通归属于同一行的多个均压通孔或归属于同一列的多个均压通孔。
[0007]作为本技术所公开技术方案的进一步改进，基板优选为纯铝板或铝合金板。且假定基板的厚度尺寸为d，沟槽的深度为t，则0.3mm≤t≤1/3d。
[0008]作为本技术所公开技术方案的更进一步改进，沟槽成型于基板的背面。
[0009]作为本技术所公开技术方案的进一步改进，绑扎单元优选为至少两条沿着基板长度方向进行排布的、且将基板和密封袋固定为一体的弹性橡皮圈。
[0010]当然，作为上述技术方案的另一种改型设计，绑扎单元亦可优选为多条环绕基板宽度方向进行缠绕的、且将基板和密封袋固定为一体的胶带。
[0011]作为本技术所公开技术方案的进一步改进，在基板的背面还增设有辅助加强框。
[0012]作为本技术所公开技术方案的更进一步改进，辅助加强框优选由多件围绕基板周缘进行排布的、借由螺钉以实现与基板固定连接的、且依序首尾对接的不锈钢方管构成。
[0013]作为本技术所公开技术方案的进一步改进，待压实的靶材坯料块被装入到密封袋后，对密封袋执行抽真空操作，且压强值低于
‑
40Kpa。
[0014]相较于传统设计结构的I T0平面靶材冷等静压辅助工装，在本技术所公开的技术方案中，正对应于密封袋预放置区域，在基板上成型出有多个以矩形阵列形式进行排布的均压通孔，如此，当靶材坯料块和基板作为一个整体而浸没的瞬间，冷等静压溶液可在极短时间内经由均压通孔而浸润靶材坯料块的底壁，利于保证靶材坯料块在被侵入冷等静压溶液的进程中其各侧壁尽可能地受压均衡，进而有效地避免了其各区域因受压不均衡而形变量不一致现象的发生，确保经冷等静压处理后的靶材坯料块在具有良好致密度的前提下，其具有良好的成型规整性，为后续高温烧结工序的顺利实施作了良好的铺垫。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第一种实施方式的立体示意图。
[0017]图2是本技术ITO平面靶材冷等静压辅助工装第一种实施方式中基板的立体示意图。
[0018]图3是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第一种实施方式的现场应用状态图。
[0019]图4是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第二种实施方式的立体示意图。
[0020]图5是本技术ITO平面靶材冷等静压辅助工装第二种实施方式中基板的立体示意图。
[0021]图6是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第三种实施方式一种视角的立体示意图。
[0022]图7是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第三种实施方式另一种视角的立体示意图。
[0023]图8是本技术中ITO平面靶材冷等静压辅助工装第三种实施方式的爆炸示意图。
[0024]1‑
基板；11
‑
均压通孔；12
‑
沟槽；2
‑
密封袋；3
‑
绑扎单元；31
‑
透明胶带；4
‑
辅助加强框；41
‑
不锈钢方管；5
‑
螺钉。
具体实施方式
[0025]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”、“上”、“下”、“前”、“后”等
指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]下面结合具体实施例，对本技术的内容做进一步的详细说明，图1示出了本技术中I T0平面靶材冷等静压辅助工装第一种实施方式的立体示意图，可知，其主要由基板1、密封袋2以及绑扎单元3等几部分构成。其中，密封袋2用来装入待压实的靶材坯料块，且其由基板1所直接承载。绑扎单元3与基板1相协同作用，以向着密封袋2施以绑扎力，确保在执行冷等静压操作的进程中靶材坯料块相对于基板1始终保持有正确位置。且待压实的靶材坯料块被装入到密封袋2后，对密封袋2执行抽真空操作，且压强值低于
‑
40Kpa，以利于后续实现对靶材坯料块的绑扎固定。由图1所示还可得知，绑扎单元3优选为多条环绕基板1宽度方向进行缠绕的、且将基板1和密封袋2固定为一体的透明胶带31。正对应于密封袋2预放置区域，在基板1上成型出有多个以矩形阵列形式进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ITO平面靶材冷等静压辅助工装，包括基板、密封袋以及绑扎单元；所述密封袋用来装入待压实的靶材坯料块，且其由所述基板所承载；所述绑扎单元与所述基板相协同作用，以向着所述密封袋施以绑扎力，其特征在于，正对应于所述密封袋预放置区域，在所述基板上成型出有多个以矩形阵列形式进行排布的均压通孔。2.根据权利要求1所述的ITO平面靶材冷等静压辅助工装，其特征在于，在所述基板上还成型出有多个沟槽；所述沟槽用来沟通归属于同一行的多个所述均压通孔或归属于同一列的多个所述均压通孔。3.根据权利要求2所述的ITO平面靶材冷等静压辅助工装，其特征在于，所述基板为纯铝板或铝合金板；且假定所述基板的厚度尺寸为d，所述沟槽的深度为t，则0.3mm≤t≤1/3d。4.根据权利要求3所述的ITO平面靶材冷等静压辅助工装，其特征在于，所述沟槽成型于所述基板的背面。5.根据权利要求1所述的ITO平面靶材冷等静压辅助工装，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，王志强，曾探，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：