泵(10)具备振动板(11)、流路形成部件(15)、泵室(101)以及薄膜阀(13)。振动板(11)配置有压电元件(12)，通过该压电元件(12)的形变来振动，且在外周配置有空隙(114)。流路形成部件(15)与振动板(11)对置配置，且在与振动板(11)对置的区域具有孔(151)。泵室(101)由振动板(11)和流路形成部件(15)围起，且具有与孔(151)连通的中央区域和与空隙(114)连通的外缘区域。薄膜阀(13)配置于泵室(101)内。在中央区域的压力低于外缘区域的压力时，薄膜阀(13)与振动板(11)、流路形成部件(15)抵接。流路形成部件(15)抵接。流路形成部件(15)抵接。
【技术实现步骤摘要】
泵
[0001]本申请是申请号为2019 8 0035 219.6(国际申请号PCT/JP2019/012658)、申请日为2020年11月25日、专利技术名称为“泵”的申请的分案申请
[0002]本专利技术涉及利用压电体的泵。
技术介绍
[0003]以往，如专利文献1、专利文献2、以及专利文献3所示，设计有各种利用压电体来输送流体的泵。
[0004]专利文献1、专利文献2、专利文献3所示的泵利用借助压电体形成的振动来输送流体。通过使用压电体，专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵实现小型化、降低高度。
[0005]另外，专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵具备单向地输送流体的整流机构。
[0006]专利文献1：国际公布第2016/175185号
[0007]专利文献2：日本特开2009
‑
74418号公报
[0008]专利文献3：国际公布第2016/013390号
[0009]然而，在专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵的结构中，在泵特性上存在某种程度的极限。泵特性由压力或流量来表示，越能够提高压力，泵特性就越优异，越能够扩大流量，泵特性就越优异。
[0010]并且，在专利文献1、专利文献2、专利文献3中记载的泵的结构中，有时泵特性受整流机构限制。
技术实现思路
[0011]因此，本专利技术的目的在于提供具有整流功能而且具有优异的泵特性的泵。
[0012]本专利技术的泵具备板状部件、流路形成部件、泵室以及第一薄膜阀。板状部件具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将振动板与支承板连结并将振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，且在多个支承部件间具备第一通气孔。流路形成部件与板状部件对置配置，且在流路形成部件的与板状部件对置的区域具有第二通气孔。泵室由板状部件、流路形成部件以及与板状部件和流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与第二通气孔连通的中央区域和与第一通气孔连通的外缘区域。第一薄膜阀配置于泵室内。在中央区域的压力比外缘区域的压力低时，第一薄膜阀同振动板和流路形成部件抵接。
[0013]在该结构中，在将第二通气孔作为吸入口且将第一通气孔作为排出口的形态中，抑制吸入时的流体从空隙侧朝泵室的反向流入。
[0014]另外，优选在本专利技术的泵中，是如下结构。在俯视下，第一薄膜阀配置于使第二通气孔在被第一薄膜阀的外端围起的区域内的位置，该第一薄膜阀固定于振动板或流路形成
部件，使外端侧的区域能够变形。
[0015]在该结构中，能够以简单的结构实现抑制上述反向流入的结构。
[0016]另外，优选在本专利技术的泵中，是如下结构。俯视下，振动板的中央区域具有从一个主面到另一个主面的厚度比振动板的外端厚的厚部。第一薄膜阀是环状，第一薄膜阀的环状的内端沿着厚部的外缘配置。
[0017]在该结构中，第一薄膜阀容易且高精度地设置于能够实现上述动作的位置。
[0018]另外，优选在本专利技术的泵中，是如下结构。泵具备第二薄膜阀。在俯视下，在第二通气孔的周缘处，第二薄膜阀配置于比第一薄膜阀的配置位置靠近第二通气孔的位置。在泵室内的中央区域的压力比外缘区域的压力高时，第二薄膜阀与振动板、前述流路形成部件抵接。
[0019]在该结构中，进一步抑制在将积存于泵室的流体向外缘的空隙排出时，流体从作为吸入口的第二通气孔泄漏这种情况。
[0020]另外，优选在本专利技术的泵中，第二薄膜阀固定于振动板或流路形成部件且使外端侧的区域能够变形。
[0021]在该结构中，使第二薄膜阀实现上述功能，并且能够通过简单的结构实现第二薄膜阀。
[0022]另外，本专利技术的泵也可以是如下结构。泵具备板状部件、流路形成部件、泵室、以及第三薄膜阀。
[0023]板状部件具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、将振动板与支承板连结并将振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，且在多个支承部件间具备第一通气孔。流路形成部件与板状部件对置配置，且在流路形成部件的与板状部件对置的区域具有第二通气孔。
[0024]泵室由板状部件、流路形成部件以及与板状部件和流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与第二通气孔连通的中央区域和与第一通气孔连通的外缘区域。第三薄膜阀配置于泵室内。在中央区域的压力比外缘区域的压力高时，第三薄膜阀同振动板、流路形成部件抵接。
[0025]在该结构中，抑制在将第二通气孔作为排出口且将第一通气孔作为吸入口的形态中，排出时的流体朝空隙侧泄漏这种情况。
[0026]另外，优选在本专利技术的泵中，是如下结构。在俯视下，第三薄膜阀配置于使成为第二通气孔在被第三薄膜阀的外端围起的区域内的位置，第三薄膜阀固定于振动板或流路形成部件并使中央侧的区域能够变形。
[0027]在该结构中，能够以简单的结构实现抑制上述泄漏的结构。
[0028]另外，优选在本专利技术的泵中，是如下结构。俯视下，振动板的中央区域具有从一个主面到另一个主面的厚度比振动板的外端厚的厚部。第三薄膜阀是环状，第三薄膜阀的环状的内端沿着厚部的外缘配置。
[0029]在该结构中，第三薄膜阀容易且高精度地设置于能够实现上述动作的位置。
[0030]另外，在本专利技术的泵中，也可以是如下结构。泵具备第四薄膜阀。在俯视下，在第二通气孔的周缘处，第四薄膜阀配置于比第三薄膜阀的配置位置靠近第二通气孔的位置。在泵室内的中央区域的压力比外缘区域的压力低时，第四薄膜阀同振动板和流路形成部件抵
接。
[0031]在该结构中，进一步抑制在从外缘的空隙向泵室吸入流体时，流体从作为排出口的第二通气孔反向流入这种情况。
[0032]另外，优选在本专利技术的泵中是如下结构。第四薄膜阀固定于振动板或流路形成部件且使中央侧的区域能够变形。
[0033]在该结构中，使第四薄膜阀实现上述功能，并且能够以简单的结构实现第四薄膜阀。
[0034]另外，在本专利技术的泵中，也可以是如下结构。泵具备平板状部件、流路形成部件、泵室、第五薄膜阀、第三通气孔以及第四通气孔。平板状部件具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将振动板的外缘与支承板连结并将振动板支承为能够沿主面方向振动的支承部件。流路形成部件与平板状部件对置配置。泵室由平板状部件、流路形成部件以及与平板状部件和流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成。第五薄膜阀固定于平板状部件或流路形成部件，且配置于在俯视下与泵室内振动板重叠的位置。第三通气孔形成于平板状部件，第四通气孔形成于流路形成部件。
[0035]在俯视下，第三通气孔与第四通气孔配置于隔着第五薄膜阀的位置。与振动板的振动相应地，第五薄膜阀切换为与流路形成部件抵接的形态和与流路形成部件不抵接的形态，而使第三通气孔与第四通气孔之间的流路阻力变化。
[0036]在该结构中，第五薄膜阀抑制泵室内的流体的返流。
[0037]因此，能够将流体从泵室的外缘区域本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种泵，其特征在于，具备：板状部件，其具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将所述振动板与所述支承板连结并将所述振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，在所述多个支承部件间具备第一通气孔；流路形成部件，其与所述板状部件对置配置，且在与所述板状部件对置的区域具有第二通气孔；泵室，其由所述板状部件、所述流路形成部件以及与所述板状部件和所述流路形成部件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与所述第二通气孔连通的中央区域和与所述第一通气孔连通的外缘区域；以及第一薄膜阀，其配置于所述泵室内，在所述中央区域的压力比所述外缘区域的压力低时，所述第一薄膜阀与所述振动板和所述流路形成部件抵接，所述第1薄膜阀是挠性的薄膜阀。2.根据权利要求1所述的泵，其特征在于，在俯视下，所述第一薄膜阀配置于使所述第二通气孔在被所述第一薄膜阀的外端围起的区域内的位置，所述第一薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，并使外端侧的区域能够变形。3.根据权利要求2所述的泵，其特征在于，俯视下，所述振动板的中央区域具有从所述一个主面到另一个主面的厚度比所述振动板的外端厚的厚部，所述第一薄膜阀是环状，所述第一薄膜阀的环状的内端沿着所述厚部的外缘配置。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的泵，其特征在于，俯视下，在所述第二通气孔的周缘具备配置于比所述第一薄膜阀的配置位置靠近所述第二通气孔的位置的第二薄膜阀，在所述泵室内的所述中央区域的压力高于所述外缘区域的压力时，所述第二薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接。5.根据权利要求4所述的泵，其特征在于，所述第二薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，且使外端侧的区域能够变形。6.一种泵，其特征在于，具备：板状部件，其具备在一个主面配置有压电元件的振动板、支承板、以及将所述振动板与所述支承板连结并将所述振动板支承为能够沿主面方向振动的多个支承部件，且在所述多个支承部件间具备第一通气孔；流路形成部件，其与所述板状部件对置配置，且在与所述板状部件对置的区域具有第二通气孔；泵室，其由所述板状部件、所述流路形成部件以及与所述板状部件和所述流路形成部
件连接的侧壁部件围起而形成，且具有与所述第二通气孔连通的中央区域和与所述第一通气孔连通的外缘区域；以及第三薄膜阀，其配置于所述泵室内，在所述中央区域的压力高于所述外缘区域的压力时，所述第三薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接，所述第1薄膜阀是挠性的薄膜阀。7.根据权利要求6所述的泵，其特征在于，在俯视下，所述第三薄膜阀配置于使所述第二通气孔在被所述第三薄膜阀的外端围起的区域内的位置，所述第三薄膜阀固定于所述振动板或所述流路形成部件，并使中央侧的区域能够变形。8.根据权利要求7所述的泵，其特征在于，俯视下，所述振动板的中央区域具有从所述一方主面到另一个主面的厚度比所述振动板的外端厚的厚部，所述第三薄膜阀是环状，所述第三薄膜阀的环状的内端沿着所述厚部的外缘配置。9.根据权利要求6～8中的任一项所述的泵，其特征在于，俯视下，在所述第二通气孔的周缘具备配置于比所述第三薄膜阀的配置位置靠近所述第二通气孔的位置的第四薄膜阀，在所述泵室内的所述中央区域的压力低于所述外缘区域的压力时，所述第四薄膜阀与所述振动板、所述流路形成部件抵接。10.根据权利要求9所述的泵，其特征在于，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤崎雅章，田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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