一种气相沉积炉的炉盖密封结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种气相沉积炉的炉盖密封结构包括炉体和炉盖本体，所述炉盖本体位于炉体的上方，所述炉体的外壁固定连接有安装板，且安装板的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有发条弹簧，且发条弹簧的一端固定连接有连接件，所述连接件的一侧外壁固定连接有弹性密封带，所述安装板的顶部固定连接有限位杆，且限位杆的外壁与弹性密封带的外壁相接触，所述炉体的外壁固定连接有固定件，且弹性密封带的一端固定连接于固定件的一侧外壁，所述弹性密封带的内壁与炉体和炉盖本体的外壁相接触。本实用新型专利技术公开的气相沉积炉的炉盖密封结构具有提高装置使用时密封效果的作用，同时提高了产品的生产质量。同时提高了产品的生产质量。同时提高了产品的生产质量。

【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉的炉盖密封结构


[0001]本技术涉及沉积炉密封领域，尤其涉及一种气相沉积炉的炉盖密封结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
[0003]现有的化学气相沉积炉存在有不足之处：现有的气相沉积炉在使用的过程中往往会出现密封效果不足的现象，导致在使用时因密封性不足导致炉内压力不恒定，影响工艺过程，导致产品质量差，从而造成损失。

技术实现思路

[0004]本技术公开一种气相沉积炉的炉盖密封结构，旨在解决现有的气相沉积炉在使用的过程中往往会出现密封效果不足的现象，导致在使用时因密封性不足导致炉内压力不恒定，影响工艺过程，导致产品质量差，从而造成损失的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种气相沉积炉的炉盖密封结构，包括炉体和炉盖本体，所述炉盖本体位于炉体的上方，所述炉体的外壁固定连接有安装板，且安装板的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有发条弹簧，且发条弹簧的一端固定连接有连接件，所述连接件的一侧外壁固定连接有弹性密封带，所述安装板的顶部固定连接有限位杆，且限位杆的外壁与弹性密封带的外壁相接触，所述炉体的外壁固定连接有固定件，且弹性密封带的一端固定连接于固定件的一侧外壁，所述弹性密封带的内壁与炉体和炉盖本体的外壁相接触。
[0007]通过设置有安装板从而便于对装置进行安装固定，同时通过弹性密封带，使得在使用时可对炉体与炉盖本体之间的缝隙进行密封，从而便于加强气相沉积炉使用时的密封效果，且弹性密封带的一端与发条弹簧相连接，便于对其进行收卷，使得使用时可保持密封效果，而弹性密封带的另一端通过固定件固定，而固定件与炉体外壁相贴合，从而保证弹性密封带与炉体和炉盖本体的接触效果，便于增加装置使用时的密封效果。
[0008]在一个优选的方案中，所述炉盖本体的底部固定连接有固定板，固定板的外壁等距离固定连接有四个固定锁块，且炉盖本体的底部固定连接有连接环。
[0009]通过设置有四个固定锁块，从而便于对装置进行固定。
[0010]在一个优选的方案中，所述炉体的顶部外壁开设有环形槽，环形槽的底部内壁等距离固定连接有四个弹簧杆，且四个弹簧杆的顶部固定连接有同一个密封垫。
[0011]通过设置有四个弹簧杆和密封垫，从而便于增强装置密封效果。
[0012]在一个优选的方案中，所述炉体的内壁等距离固定连接有四个固定块，且四个固
定块的外壁分别与四个固定锁块的内壁相接触。
[0013]通过设置有四个固定块，从而便于固定使用。
[0014]在一个优选的方案中，所述连接环的外壁与环形槽的内壁相接触，且连接环的底部与密封垫的顶部相接触。
[0015]通过设置有连接环和环形槽，从而便于增强连接性。
[0016]在一个优选的方案中，所述炉体的底部固定连接有固定座，且固定座的外壁等距离固定连接有四个支撑腿。
[0017]通过设置有固定座和四个支撑腿，便于对炉体进行固定安装。
[0018]在一个优选的方案中，所述炉盖本体的顶部固定连接有两个把手
[0019]通过设置有两个把手，便于对装置进行固定。
[0020]由上可知，一种气相沉积炉的炉盖密封结构，包括炉体和炉盖本体，所述炉盖本体位于炉体的上方，所述炉体的外壁固定连接有安装板，且安装板的顶部固定连接有固定杆，所述固定杆的外壁固定连接有发条弹簧，且发条弹簧的一端固定连接有连接件，所述连接件的一侧外壁固定连接有弹性密封带，所述安装板的顶部固定连接有限位杆，且限位杆的外壁与弹性密封带的外壁相接触，所述炉体的外壁固定连接有固定件，且弹性密封带的一端固定连接于固定件的一侧外壁，所述弹性密封带的内壁与炉体和炉盖本体的外壁相接触。本技术提供的气相沉积炉的炉盖密封结构具有提高装置使用时密封效果的作用，保证装置不会因密封性不足导致炉内压力不恒定，提高了产品的生产质量。
附图说明
[0021]图1为本技术提出的一种气相沉积炉的炉盖密封结构的结构示意图。
[0022]图2为本技术提出的一种气相沉积炉的炉盖密封结构的结构剖视图。
[0023]图3为本技术提出的一种气相沉积炉的炉盖密封结构的炉盖本体和固定锁块组合结构示意图。
[0024]图4为本技术提出的一种气相沉积炉的炉盖密封结构的安装板和弹性密封带组合结构示意图。
[0025]图5为本技术提出的一种气相沉积炉的炉盖密封结构的密封垫和固定块组合结构示意图。
[0026]附图中：1、炉体；2、炉盖本体；3、把手；4、固定座；5、支撑腿；6、固定板；7、安装板；8、弹性密封带；9、固定件；10、连接件；11、发条弹簧；12、固定杆；13、固定锁块；14、连接环；15、弹簧杆；16、环形槽；17、密封垫；18、固定块；19、限位杆。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0028]参照图1
‑
图5，一种气相沉积炉的炉盖密封结构，包括炉体1和炉盖本体2，炉盖本体2位于炉体1的上方，炉体1的外壁固定连接有安装板7，且安装板7的顶部固定连接有固定杆12，固定杆12的外壁固定连接有发条弹簧11，且发条弹簧11的一端固定连接有连接件10，
连接件10的一侧外壁固定连接有弹性密封带8，安装板7的顶部固定连接有限位杆19，且限位杆19的外壁与弹性密封带8的外壁相接触，炉体1的外壁固定连接有固定件9，且弹性密封带8的一端固定连接于固定件9的一侧外壁，弹性密封带8的内壁与炉体1和炉盖本体2的外壁相接触，通过安装板7从而便于对装置进行安装固定，同时通过弹性密封带8，使得在使用时可对炉体1与炉盖本体2之间的缝隙进行密封，从而便于加强气相沉积炉使用时的密封效果，且弹性密封带8的一端与发条弹簧11相连接，便于对其进行收卷，使得使用时可保持密封效果，而弹性密封带8的另一端通过固定件9固定，而固定件9与炉体1外壁相贴合，从而保证弹性密封带8与炉体1和炉盖本体2的接触效果，便于增加装置使用时的密封效果同时限位杆19起到了限位调节作用。
[0029]参照图1和图3，在一个优选的实施方式中，炉盖本体2的底部固定连接有固定板6，固定板6的外壁等距离固定连接有四个固定锁块13，且炉盖本体2的底部固定连接有连接环14，使用时通过固定板6对四个固定锁块13起到固定作用，同时连接环14在使用时可增加炉盖本体2与炉体1的连接效果。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉的炉盖密封结构，包括炉体（1）和炉盖本体（2），其特征在于，所述炉盖本体（2）位于炉体（1）的上方，所述炉体（1）的外壁固定连接有安装板（7），且安装板（7）的顶部固定连接有固定杆（12），所述固定杆（12）的外壁固定连接有发条弹簧（11），且发条弹簧（11）的一端固定连接有连接件（10），所述连接件（10）的一侧外壁固定连接有弹性密封带（8），所述安装板（7）的顶部固定连接有限位杆（19），且限位杆（19）的外壁与弹性密封带（8）的外壁相接触，所述炉体（1）的外壁固定连接有固定件（9），且弹性密封带（8）的一端固定连接于固定件（9）的一侧外壁，所述弹性密封带（8）的内壁与炉体（1）和炉盖本体（2）的外壁相接触。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉的炉盖密封结构，其特征在于，所述炉盖本体（2）的底部固定连接有固定板（6），固定板（6）的外壁等距离固定连接有四个固定锁块（13），且炉盖本体（2）的底部固定连接有连接环（14）。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚衍罡，
申请(专利权)人：苏州冠岚新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：