一种单晶硅加热器制造技术

技术编号:37808303 阅读:23 留言:0更新日期:2023-06-09 09:38
本实用新型专利技术涉及一种单晶硅加热器,属于加热器技术领域。包括环形的主加热器、支脚;所述主加热器的外侧面上设有外连接平面,外连接平面上设有连接孔Ⅰ,支脚顶部设有与外连接平面相匹配的平面连接部,平面连接部上设有与连接孔Ⅰ位置相对应的连接孔Ⅱ,主加热器和支脚通过将螺栓穿过连接孔Ⅰ和连接孔Ⅱ后旋上螺母连接牢固。本实用新型专利技术通过将主加热器和支脚的接触面设置为平面,有效提高两者受力的均匀性,同时,采用螺栓螺母将主加热器和支脚连接牢固,杂质或者气体不容易进入到螺纹旋合或者配合间隙中,避免螺纹配合位置的烧结,导致难以拆装或者损坏螺纹,降低材料的使用寿命的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅加热器


[0001]本技术属于加热器
,具体的说,涉及一种单晶硅加热器。

技术介绍

[0002]现用的主加热器内侧面和支脚外侧面分别呈内弧形和外弧型,受力位置为非平行面导致受力不均,或用安装面过薄导致主加热器或者支脚断裂。
[0003]主加热器和支脚一般采用螺钉连接,支脚或主加热器上需要加工有4个螺纹孔,由于螺纹孔加工螺牙都较为尖锐,加工过程中会产生一定的崩边和应力集中,同时紧固螺栓8一般采用CC螺栓8,两者的膨胀系数不同,导致高温过程中CC螺栓8挤压螺纹孔导致螺纹位置出现隐裂或者直接断裂,从而损坏圆形主加热器或者支脚,提高生产成本和备件耗材成本。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题,本技术提出了一种单晶硅加热器。有效提高加热器的使用寿命,降低生产成本。
[0005]为达到上述目的,本技术按如下技术方案实施的:
[0006]一种单晶硅加热器,包括环形的主加热器1、支脚5;所述主加热器1的外侧面上设有外连接平面2,外连接平面2上设有连接孔Ⅰ4,支脚5顶部设有与外连接平面2相匹配的平面连接部6,平面连接部6上设有与连接孔Ⅰ4位置相对应的连接孔Ⅱ7,主加热器1和支脚5通过将螺栓8穿过连接孔Ⅰ4和连接孔Ⅱ7后旋上螺母9连接牢固。
[0007]优选的,所述主加热器1的内侧面上设有与外连接平面2位置相对应的内连接平面3。
[0008]优选的,所述的平面连接部6呈平板状。
[0009]优选的,所述的连接孔Ⅰ4设置有四个,呈矩形分布。
[0010]本技术的有益效果:
[0011]本技术通过将主加热器和支脚的接触面设置为平面,有效提高两者受力的均匀性,同时,采用螺栓螺母将主加热器和支脚连接牢固,杂质或者气体不容易进入到螺纹旋合或者配合间隙中,避免螺纹配合位置的烧结,导致难以拆装或者损坏螺纹,降低材料的使用寿命的问题。
附图说明
[0012]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本技术爆炸示意图;
[0014]图2是本技术内连接平面设置示意图;
[0015]图3是本技术支脚立体结构示意图;
[0016]图中,1

主加热器、2

外连接平面、3

内连接平面、4

连接孔Ⅰ、5

支脚、6

平面连接部、7

连接孔Ⅱ、8

螺栓、9

螺母。
具体实施方式
[0017]为了使本技术的目的、技术方案和有益效果更加清楚,下面将结合附图,对本技术的优选实施例进行详细的说明,以方便技术人员理解。
[0018]由图所示,一种单晶硅加热器,包括环形的主加热器1、支脚5;所述主加热器1的外侧面上设有外连接平面2,外连接平面2一般有两个,对称设置在主加热器1的两侧,从而使主加热器1受到的支撑力较为平衡,外连接平面2采用矩形平面,外连接平面2上设有连接孔Ⅰ4,连接孔Ⅰ4设置有四个,分别分布在矩形平面的四个角上,提高外连接平面2的受力均匀性,支脚5顶部设有与外连接平面2相匹配的平面连接部6,平面连接部6呈平板状,平面连接部6上设有与连接孔Ⅰ4位置相对应的连接孔Ⅱ7,安装时,将平面连接部6紧贴外连接平面2,然后将螺栓8穿过连接孔Ⅰ4和连接孔Ⅱ7后旋上螺母9,从而将主加热器1和支脚5通过将连接牢固,相比于采用弧形的主加热器1外侧面与弧形的支脚5侧面相连接的结构,螺栓8的受力点为平面,受力更加均匀,有效避免了应力集中导致的主加热器1或支脚5断裂的问题,有效提高加热器的使用寿命。同时,连接孔Ⅰ4、连接孔Ⅱ7均为通孔,且孔径略大于螺栓8的直径,给予螺栓8在受热后的膨胀预留一定的空间,相比与传统的螺纹连接形式,杂质或者气体不容易进入到螺纹旋合或者配合间隙中,避免螺纹配合位置的烧结,导致难以拆装或者损坏螺纹,降低材料的使用寿命的问题。
[0019]在本实施例中,所述主加热器1的内侧面上设有与外连接平面2位置相对应的内连接平面3,优化螺母9的受力面,避免在主加热器1的内侧面上产生集中应力,提高加热器的使用寿命。
[0020]本技术方案有益效果:
[0021](1)通过去除主加热器1上加工的螺纹孔,消除主加热器1上的应力集中,螺栓8和连接孔Ⅰ4、连接孔Ⅱ7之间的间隙配合,消除了螺栓8膨胀带来的胀裂,避免主加热器1和支脚5连接位置的频繁断裂或者螺纹处隐裂。
[0022](2)通过螺母9和螺栓8等紧固件之间的相互连接,以及主加热器1和支脚5之间紧固面的平面接触,加强主加热器1和支脚5间的紧固力和稳定性,避免两者之间的易松动引起的拉弧或者电流导通的异常问题。
[0023](3)紧固结构从原有的螺钉设计优化后,杂质或者气体不容易进入到螺纹旋合或者配合间隙中,避免螺纹配合位置的烧结,导致难以拆装或者损坏螺纹,降低材料的使用寿命的问题。
[0024]最后说明的是,以上优选实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制,尽管通过上述优选实施例已经对本技术进行了详细的描述,但本领域技术人员应当理解,可以在形式上和细节上对其做出各种各样的改变,而不偏离本技术权利要求书所限定的范围;附图尺寸与具体实物无关,实物尺寸可任意变换。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅加热器,其特征在于:包括环形的主加热器(1)、支脚(5);所述主加热器(1)的外侧面上设有外连接平面(2),外连接平面(2)上设有连接孔Ⅰ(4),支脚(5)顶部设有与外连接平面(2)相匹配的平面连接部(6),平面连接部(6)上设有与连接孔Ⅰ(4)位置相对应的连接孔Ⅱ(7),主加热器(1)和支脚(5)通过将螺栓(8)穿过连接孔Ⅰ(4)和连接孔Ⅱ(...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈志军陈伟许堃李安君吴超慧李永刚罗昌萍
申请(专利权)人:宇泽半导体云南有限公司
类型:新型
国别省市:

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