一种用于晶体生长炉的加热器组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶体生长炉的加热器组件，具体涉及晶体生长炉的加热器技术领域，包括若干个加热块，若干个加热块的底部均设置有电极板，且若干个加热块拼接形成圆形的加热器本体，其中每两个加热块之间设置有拼接结构，所述拼接结构包括插块，所述插块设置在加热块的一端，且加热块的另一端开设有插槽。本实用新型专利技术通过将多个加热块之间进行拼接，使其形成加热器本体，进而一旦加热器一处发生损坏后，只需更换其中一个加热块即可，无需更换整个加热器本体，减轻维修成本，而且每一个加热块单独工作并产生热量，实现多个加热块之间的热传导，避免加热器其中一处发生损坏，对晶体生长炉的工作造成影响。对晶体生长炉的工作造成影响。对晶体生长炉的工作造成影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的加热器组件


[0001]本技术涉及晶体生长炉的加热器
，更具体地说，本技术涉及一种用于晶体生长炉的加热器组件。

技术介绍

[0002]晶体生长炉是一种用于电子与通信
的工艺试验仪器，晶体在生长时，需要将硅材料放置在生长炉的内部，经过加热、长晶、退火等工艺使硅定向凝固，通过控制热场的温度变化形成单方向的热流，从而形成定向的柱状晶体，然而在对硅材料进行加热时，必须需要使用加热器对硅材料进行加热。
[0003]专利申请号CN201120023124.3的技术专利公开了一种多晶硅晶体生长炉加热装置，它包括由顶部加热器和侧部加热器，所述的顶部加热器设在晶体生长炉坩埚的顶部，顶部加热器连接顶部加热器电极，所述的侧部加热器设在坩埚的四周，侧部加热器连接侧部加热器电极，所述的顶部加热电极和侧部加热电极分别与变压器和控制器相连接。该结构通过顶部加热器和四周侧加热器组成两个独立控制的双热场，根据硅溶体在坩埚内的长晶过程中，上中下区域所需不同的温度，两个独立的功率控制器分别调整加热器功率的输出大小，并通过长晶器温度的调节，形成晶体生长的温度梯度和热壁效应，其温度梯度的调整范围大，排杂效果好，方便优化热场，有利于晶体的生长质量。
[0004]但是该结构在实际使用时，其安装在坩埚外部的侧部加热器为一个整体结构，一旦加热器其中一处发生碰撞发生损坏，就需要对整个加热器进行更换，提高维修成本，鉴于此，本技术提出一种用于晶体生长炉的加热器组件。

技术实现思路

[0005]本技术技术方案针对现有技术解决方案过于单一的技术问题，提供了显著不同于现有技术的解决方案，为了克服现有技术的上述缺陷，本技术提供一种用于晶体生长炉的加热器组件，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶体生长炉的加热器组件，包括若干个加热块，若干个加热块的底部均设置有电极板，且若干个加热块拼接形成圆形的加热器本体，其中每两个加热块之间设置有拼接结构；
[0007]所述拼接结构包括插块，所述插块设置在加热块的一端，且加热块的另一端开设有插槽，所述加热器本体顶部设置有加固环，所述加固环和加热器的连接处均开设有多个螺纹孔，多个所述螺纹孔的内部均设置有螺栓。
[0008]优选地，若干个所述加热块均为弧形设置，且每一个加热块分别为波浪形设置，所述加热块和电极板均为石墨材质制成。
[0009]优选地，所述插块由碳钢材质制成，所述插块固定安装在加热块的一端，所述插块与插槽结构相匹配。
[0010]优选地，所述加固环的外径与加热器本体的外径大小一致，且加固环安装在加热
器本体顶部的表面。
[0011]优选地，所述螺纹孔和螺栓的数量设置为相同，且加固环通过螺栓和螺纹孔与加热器本体可拆卸连接。
[0012]本技术的技术效果和优点：
[0013]1、通过设置拼接结构，将其中一个加热块一端的插块插进另一个加热块所开设的插槽内部，实现加热器本体的快速拼装，并将紧固环安装在拼接后加热器本体的表面，通过螺栓和螺栓孔，将紧固环安装在拼接后加热器本体的表面，实现多个加热块之间的拼接和紧固，而且通过螺栓和螺纹孔，将紧固环与加热器本体进行拆分，并将插块从插槽的内部分离，即可实现多个加热块的分离，从而便于对加热器本体其中一个加热块进行更换，无需更换整个加热器本体，减少维修成本；
[0014]2、通过将多个加热块拼接成加热器，且每一个加热块的底部均设置有电极板，进而实现每一个加热块的单独工作并加热，及时一旦加热器其中一处发生损坏，也减少对生长炉的工作造成影响，而且多个呈波浪形加热块之间拼装后，实现每一个加热块的热传导，使生长炉内部坩埚能够受热均匀，且提高热传导的范围。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术的两个加热块连接结构示意图。
[0017]图3为本技术的图1中A处放大结构示意图。
[0018]图4为本技术的加固环表面结构示意图。
[0019]附图标记为：1、加热块；2、电极板；3、加热器本体；4、插块；5、插槽；6、加固环；7、螺纹孔；8、螺栓。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]如附图1
‑
4所示的一种用于晶体生长炉的加热器组件，包括若干个加热块1，若干个加热块1的底部均设置有电极板2，且若干个加热块1拼接形成圆形的加热器本体3，其中每两个加热块1之间设置有拼接结构；
[0022]所述拼接结构包括插块4，所述插块4设置在加热块1的一端，且加热块1的另一端开设有插槽5，所述加热器本体3顶部设置有加固环6，所述加固环6和加热器的连接处均开设有多个螺纹孔7，多个所述螺纹孔7的内部均设置有螺栓8。
[0023]上述结构在具体使用时，在将多个加热块1进行拼装时，将其中一个加热块1一端的插块4插进另一个加热块1所开设的插槽5内部，实现加热器本体3的快速拼装，并将紧固环安装在拼接后加热器本体3的表面，通过螺栓8和螺栓8孔，将紧固环安装在拼接后加热器本体3的表面，实现多个加热块1之间的拼接和紧固；
[0024]而一旦加热器本体3的其中一处发生损坏时，只需通过螺栓8和螺纹孔7，将紧固环
与加热器本体3进行拆分，并将插块4从插槽5的内部分离，即可实现多个加热块1的分离，从而便于对加热器本体3其中一个加热块1进行更换，无需更换整个加热器本体3，减少维修成本。
[0025]在一个优选实施例中，如附图1、2、3所示，若干个所述加热块1均为弧形设置，且每一个加热块1分别为波浪形设置，所述加热块1和电极板2均为石墨材质制成，以便于能够将多个弧形设置的加热环拼接成圆形的加热器本体3，进而能够将加热器本体3安装在晶体生产炉内部所属坩埚的外部，对晶体生长炉进行加热处理，同时，波浪设置的石墨加热块1，能够实现热传导并提高热量的传播范围，提高晶体生长炉的加热效率。
[0026]在一个优选实施例中，如附图1、2、3所示，所述插块4由碳钢材质制成，所述插块4固定安装在加热块1的一端，所述插块4与插槽5结构相匹配，以便于能够方便将其中一个加热块1一端的插块4插进另一个加热块1开设的插槽5内部，方便将多个加热块1之间拼接成加热器本体3结构，同时，一旦加热器本体3一处受到损坏，可通过更换其中一个加热块1即可，不需要更换整个加热器本体3，节省维修成本。
[0027]在一个优选实施例中，如附图1所示，所述加固环6的外径与加热器本体3的外径大小一致，且加固环6安装在加热器本体3顶部的表面，以便本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的加热器组件，包括若干个加热块(1)，其特征在于：若干个加热块(1)的底部均设置有电极板(2)，且若干个加热块(1)拼接形成圆形的加热器本体(3)，其中每两个加热块(1)之间设置有拼接结构；所述拼接结构包括插块(4)，所述插块(4)设置在加热块(1)的一端，且加热块(1)的另一端开设有插槽(5)，所述加热器本体(3)顶部设置有加固环(6)，所述加固环(6)和加热器本体(3)的连接处均开设有多个螺纹孔(7)，多个所述螺纹孔(7)的内部均设置有螺栓(8)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于：若干个所述加热块(1)均为弧形设置，且每一个加热块(1)分别为波...

【专利技术属性】
技术研发人员：华伟，陈伟，潘国庆，董永军，
申请(专利权)人：南京光宝晶体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：