一种通用掩模量测容器制造技术

一种通用掩模量测容器，本体内壁开设有第一测量腔，第一测量腔成边长为15.3cm的正方形，每个第一测量腔的边长的中心设置有内凹的止挡角，止挡角为内凹直角，四个止挡角和对应面域的组合腔体形成第二测量腔，第二测量腔的边长为12.8cm，第一测量腔用于放置寸产品，第二测量腔用于放置寸产品，通过本体内的第一测量腔用于放置6寸产品，第二测量腔用于放置5寸产品，其能同时对5寸掩模、6寸掩模进行量测，使得量测设备的占用空间小、通用性好，通过注液孔和喷口解决了现有技术中普通的掩模设备大多没有自清洁结构，需要整体取下进行清理的问题，通过夹持边解决了普通的掩模设备大多没有辅助夹持结构，当需要夹持操作时易出现滑落的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种通用掩模量测容器


[0001]本技术涉及掩模检测
，具体涉及一种通用掩模量测容器。

技术介绍

[0002]掩模是半导体行业、IC(集成电路)制作时所需的一种模具，其是利用掩模(Mask)上的图形，经曝光制成将图形复制于晶圆(Wafer)。掩模厂依据客户设计的图形，将图形数据转换后，利用掩模曝光机曝光在一种感光的石英基板上，经过显影制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。掩模的制作必须经过曝光、显影、蚀刻、去胶量测、清洗等工艺流程。其中量测工艺机台都配备有掩模量测容器，不同尺寸的掩模版需配置不同的量测容器。
[0003]现有技术中普通的掩模设备夹盘是一一对应掩模尺寸的，5寸掩模对应5寸量测容器，6寸掩模对应6寸量测容器，量测不同尺寸的产品需要更换相对应的量测容器，操作时不便，同时现有技术中普通的掩模设备大多没有自清洁结构，需要整体取下进行清理，其次现有技术中普通的掩模设备大多没有辅助夹持结构，当需要夹持操作时易出现滑落的问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是：现有技术中普通的掩模设备夹盘是一一对应掩模尺寸的，5寸掩模对应5寸量测容器，6寸掩模对应6寸量测容器，量测不同尺寸的产品需要更换相对应的量测容器，操作时不便。
[0005]本技术解决技术问题采用的技术方案是：一种通用掩模量测容器，其包括：本体和第一测量腔，所述本体内壁开设有第一测量腔，所述第一测量腔成边长为15.3cm的正方形。
[0006]每个所述第一测量腔的边长的中心设置有内凹的止挡角，所述止挡角为内凹直角，四个所述止挡角和对应面域的组合腔体形成第二测量腔，所述第二测量腔的边长为12.8cm，所述第一测量腔用于放置寸产品，所述第二测量腔用于放置寸产品，所述第一测量腔、第二测量腔的中心同轴布置，能同时对5寸掩模、6寸掩模进行量测，使得量测设备的占用空间小、通用性好。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述第一测量腔的其中一条边的两侧外扩形成取放夹持腔，确保产品的取放方便，所述取放夹持腔内壁两侧均开设有喷口，所述本体一次外壁设有注液口，所述注液口与喷口相互联通，所述取放夹持腔相对一侧内壁开设有球槽，实现使用后便于清理。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述第一测量腔的整体高度为0.6cm，所述止挡角为本体的上表面下凹0.2cm深度，所述本体的整体厚度为1.2cm，所述本体外周轮呈正八边型。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述本体外壁一侧开设有插孔，所述插孔内壁插接有挡片，所述挡片外壁两侧均粘合连接有胶垫，两个所述胶垫相对一侧外壁均设
有卡球，所述本体底端外壁设有夹持边，所述挡片靠近本体一侧外壁一体注塑有销杆，所述销杆与插孔相互插接，实现使用时对喷口进行保护。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述本体的两个相邻侧边上分别设置有外凸的把手，分别为第一把手和第二把手，所述第一把手所对应侧边平行第一测量腔的对应端边布置，所述第二把手所对应的侧边平行于第二测量腔的对应短边布置。
[0011]本技术具有以下优点：通过本体内的第一测量腔用于放置6寸产品，第二测量腔用于放置5寸产品，其能同时对5寸掩模、6寸掩模进行量测，使得量测设备的占用空间小、通用性好，通过注液孔和喷口解决了现有技术中普通的掩模设备大多没有自清洁结构，需要整体取下进行清理的问题，通过夹持边解决了普通的掩模设备大多没有辅助夹持结构，当需要夹持操作时易出现滑落的问题。
附图说明
[0012]图1是本技术一优选实施例的一种通用掩模量测容器的主体俯视剖视结构示意图；
[0013]图2是本技术一优选实施例的一种通用掩模量测容器的主体侧视结构示意图；
[0014]图3是本技术一优选实施例的一种通用掩模量测容器的挡片立体结构示意图。
[0015]附图标记说明：1、本体；2、第一测量腔；3、止挡角；4、第二测量腔；5、取放夹持腔；6、第一把手；7、第二把手；8、喷口；9、注液口；10、插孔；11、挡片；12、销杆；13、胶垫；14、卡球；15、夹持边。
具体实施方式
[0016]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0019]请结合参阅图1
‑
3，一种通用掩模量测容器，包括：本体1和第一测量腔2，本体1内壁开设有第一测量腔2，实现放置6寸产品，第一测量腔2成边长为15.3cm的正方形。
[0020]每个第一测量腔2的边长的中心设置有内凹的止挡角3，止挡角3为内凹直角，四个止挡角3和对应面域的组合腔体形成第二测量腔4，第二测量腔4的边长为12.8cm，第一测量
腔2用于放置6寸产品，第二测量腔4用于放置5寸产品，第一测量腔2、第二测量腔4的中心同轴布置。
[0021]其中，本体1的两个相邻侧边上分别设置有外凸的把手，分别为第一把手6和第二把手7，第一把手6所对应侧边平行第一测量腔2的对应端边布置，第二把手7所对应的侧边平行于第二测量腔4的对应短边布置，第一测量腔2的整体高度为0.6cm，止挡角3为本体1的上表面下凹0.2cm深度，本体1的整体厚度为1.2cm，本体1外周轮呈正八边型。
[0022]其中，本体1外壁一侧开设有插孔10，插孔10内壁插接有挡片11，实现隔离功能，挡片11外壁两侧均粘合连接有胶垫13，实现密封效果，两个胶垫13相对一侧外壁均设有卡球14，实现卡接功能，本体1底端外壁设有夹持边15，实现稳定夹持，挡片11靠近本体1一侧外壁一体注塑有销杆12，实现插接固定，销杆12与插孔10相互插接，第一测量腔2的其中一条边的两侧外扩形成取放夹持腔5，取放夹持腔5内壁两侧均开设有喷口8，实现清理功能，本体1一次外壁设有注液口9，实现注液功能，注液口9与喷口8相互联通，取放夹持腔5相对一侧内壁开设有球槽。
[0023]具体的，第一测量腔2的其中一条边的两侧外扩形成取放夹持腔5，确保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通用掩模量测容器，包括：本体(1)和第一测量腔(2)，其特征在于，所述本体(1)内壁开设有第一测量腔(2)，所述第一测量腔(2)成边长为15.3cm的正方形；每个所述第一测量腔(2)的边长的中心设置有内凹的止挡角(3)，所述止挡角(3)为内凹直角，四个所述止挡角(3)和对应面域的组合腔体形成第二测量腔(4)，所述第二测量腔(4)的边长为12.8cm，所述第一测量腔(2)用于放置6寸产品，所述第二测量腔(4)用于放置5寸产品，所述第一测量腔(2)、第二测量腔(4)的中心同轴布置。2.如权利要求1所述的一种通用掩模量测容器，其特征在于，所述第一测量腔(2)的其中一条边的两侧外扩形成取放夹持腔(5)，所述取放夹持腔(5)内壁两侧均开设有喷口(8)，所述本体(1)一次外壁设有注液口(9)，所述注液口(9)与喷口(8)相互联通，所述取放夹持腔(5)相对一侧内壁开设有球槽。3.如权利要求1所述的一种通用掩模量测容器，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：华卫群，尤春，刘维维，朱磊，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：新型
国别省市：