球搭载用掩模及其制造方法技术

得到一种球搭载用掩模，其为了使掩模背面的膜厚较厚的凸部分离独立而在相邻的开口图案部之间形成膜厚较薄的槽，从而控制开口图案部的变形、松弛，并且实现作为掩模的耐久性和开口图案部的位置精度的提高。具备：掩模主体，其在纵向和横向上配置有多个有供导电性球通过开口图案部，与开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其在与被搭载物的电极对置的掩模主体背面的除了开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，分离独立的多个凸部比开口图案部及连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状。为带有圆角的圆弧形状。为带有圆角的圆弧形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】球搭载用掩模及其制造方法


[0001]本专利技术涉及用于搭载导电性球的球搭载用掩模及其制造方法。

技术介绍

[0002]在球搭载用掩模中，为了防止用于使设置于基板等被搭载对象物的电极上的导电性球固定的助焊剂等附着于掩模背面，使用了在掩模主体的背侧且开口图案周边形成有凹部的球搭载用掩模，其中，该开口图案形成有供导电性球通过的多个开口部。作为形成该凹部的方法，例如已知有在板厚较厚的掩模主体的背侧抑制包围开口图案的凹部的缘部的镀敷突出的掩模(例如，参照专利文献1)。另外，作为其他的球搭载用掩模，还使用了在掩模主体的背侧形成多个分离独立的圆柱形或椭圆形的突起部的方法，而不是在膜厚较厚的掩模主体的背侧形成凹部的方法(例如，参照专利文献2)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2010
‑
247500号公报
[0006]专利文献2：日本特开2017
‑
5023号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]在现有的专利文献1记载的球搭载用掩模中，以利用厚的镀膜完全包围开口图案周边的方式形成凹部，因此存在如下问题：在开口图案周边的凹部未施加水平方向的张力，在重要的开口图案部会产生挠曲、变形，容易产生搭载不良。另外，在该制造方法中，在工序中进行二次镀敷之前，为了形成凹部而需要将不需要的开口图案部的一次电沉积镀层去除的工序(舍弃镀敷去除工序)，但必须针对多个开口图案中的每一个将不需要的一次电沉积镀层去除，因此为了适应量产，有时会过于耗费工时，难以在量产中采用。另外，在专利文献2记载的球搭载用掩模中，在向版框进行安装时，当由网孔引起的张力施加于掩模主体时，分离独立的突起部能够向力的施加方向位移，因此在开口图案部也作用有张力，在开口图案部难以产生变形，具有在水平方向上维持了张力的优点，但另一方面，掩模主体的大部分成为较薄的构造，因此存在容易因作为掩模的耐久性、施加于掩模的张力而产生开口图案部的经时变形、位置精度的偏移的问题。
[0009]本专利技术是为了解决上述那样的课题而完成的，提供一种球搭载用掩模及其制造方法，该球搭载用掩模不用厚的镀膜完全包围开口图案部周边，而是为了使掩模背面的膜厚较厚的凸部分离独立以对开口图案部作用水平方向的张力而在相邻的开口图案部之间形成膜厚较薄的槽，从而控制开口图案部的变形、松弛，并且实现作为掩模的耐久性和开口图案部的位置精度的提高。
[0010]用于解决课题的手段
[0011]在本专利技术的球搭载用掩模中，具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向
上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案部之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在掩模主体的背面的除了开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的多个凸部比开口图案部及连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状。
[0012]分离独立的多个凸部包括内部凸部和外部凸部，内部凸部由第一镀层形成在不与被搭载物接触的一侧，且由突出的形状构成，外部凸部由与第一镀层不同的第二镀层以覆盖内部凸部的周侧面和被搭载物侧的下表面的方式一体地形成在内部凸部的表面，且成为与被搭载物的电极对置的一侧，分离独立的多个凸部比开口图案部及连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性。
[0013]另外，在本专利技术的球搭载用掩模的制造方法中，球搭载用掩模具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案部之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在掩模主体的背面的除了开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的多个凸部包括内部凸部和外部凸部，内部凸部由第一镀层形成在不与被搭载物接触的一侧，且由未被剥离而残留的残留镀敷部分构成，外部凸部由与第一镀层不同的第二镀层以覆盖内部凸部的周侧面和被搭载物侧的下表面的方式一体地形成在内部凸部的表面，且成为与被搭载物的电极对置的一侧，掩模主体通过第二镀层而与外部凸部一体地形成，第一镀层的残留镀敷部分与第二镀层重叠而形成的分离独立的多个凸部比开口图案部及连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状，球搭载用掩模的制造方法包括以下工序：在不锈钢母材上形成凸部形成用的抗蚀剂层；以使凸部成为规定的高度的方式在不锈钢母材上进行镀敷，由此形成一次镀层；在一次镀层的形成结束后，去除凸部形成用的抗蚀剂层；将除了由一次残留镀敷部分构成的内部凸部形成部分以外的、开口图案部和连结所有的开口图案部之间的连结槽的形成部分的一次镀层去除，在不锈钢母材上残留由一次残留镀层形成的内部凸部，其中，一次残留镀敷部分是由一次镀层形成且由未被剥离而残留的部分；在不锈钢母材上的内部凸部之间形成多个开口部形成用的抗蚀剂层；以使掩模主体成为指定的厚度的方式在不锈钢母材上以及内部凸部上进行镀敷，由此一体地形成由二次镀层形成的开口图案部、连结槽以及外部凸部；在二次镀层的形成结束后，去除多个开口部形成用的抗蚀剂层；以及将成为掩模主体的由一次镀层的残留镀敷部分构成的内部凸部、由二次镀层构成的外部凸部、所述开口图案部以及连结部从不锈钢母材剥离。
[0014]另外，掩模主体通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与开口图案部相邻的上下或左右、或斜上下左右的任意开口图案部的一部分通过连结槽连结，包括以下工序：将除了由一次残留镀敷部分构成的内部凸部形成部分以外的、开口图案部和连结一部分的开口图案部之间
的连结槽的形成部分的一次镀层去除，在不锈钢母材上残留由一次残留镀层形成的内部凸部，其中，一次残留镀敷部分是由一次镀层形成且由未被剥离而残留的部分。
[0015]专利技术效果
[0016]根据本专利技术，不用厚的镀膜完全包围开口图案部周边，而是形成用于使掩模背面的膜厚较厚的凸部分离独立的膜厚较薄的槽，以使得在向版框进行安装时由网孔引起的水平方向的张力作用于开口图案部，从而能够控制开口图案部的变形、松弛，并且实现作为掩模的耐久性和开口图案部的位置精度的提高。
附图说明
[0017]图1是表示本专利技术的实施例1中的球搭载用掩模的俯视图。
[0018]图2是表示本专利技术的实施例1中的球搭载用掩模的沿着图1的A
‑
A线的剖视图。
[0019]图3是表示本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种球搭载用掩模，其特征在于，所述球搭载用掩模具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与所述开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案部之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在所述掩模主体的背面的除了所述开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，所述掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的所述多个凸部比所述开口图案部及所述连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的所述多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状。2.一种球搭载用掩模，其特征在于，所述球搭载用掩模具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与所述开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案部之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在所述掩模主体的背面的除了所述开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，所述掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的所述多个凸部包括内部凸部和外部凸部，所述内部凸部由第一镀层形成在不与所述被搭载物接触的一侧，且由突出的形状构成，所述外部凸部由与所述第一镀层不同的第二镀层以覆盖所述内部凸部的周侧面和所述被搭载物侧的下表面的方式一体地形成在所述内部凸部的表面，且成为与所述被搭载物的电极对置的一侧，所述掩模主体通过所述第二镀层而与所述外部凸部一体地形成，所述第一镀层的残留镀敷部分与第二镀层重叠而形成的分离独立的所述多个凸部比所述开口图案部及所述连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的所述多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状。3.一种球搭载用掩模，其特征在于，所述球搭载用掩模具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与所述开口图案部相邻的开口图案部的一部分通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在所述掩模主体的背面的除了所述开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，所述掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的所述多个凸部包括内部凸部和外部凸部，所述内部凸部由第一镀层形成在不与所述被搭载物接触的一侧，且由突出的部分构成，所述外部凸部由与所述第一镀层不同的第二镀层以覆盖所述内部凸部的周侧面和所述被搭载物侧的下表面的方式一体地形成在所述内部凸部的表面，且成为与所述被搭载物的电极对置的一侧，所述掩模主体通过所述第二镀层而与所述外部凸部一体地形成，所述第一镀层的残留镀敷部分与第二镀层重叠而形成的分离独立的所述多个凸部比所述开口图案部及所述连结槽的板厚更厚而提高了掩模主体的耐久性，分离独立的所述多个凸部的周缘边缘部形成为带有圆角的圆弧形状。4.一种球排列用掩模的制造方法，其特征在于，
所述球搭载用掩模具备：掩模主体，其通过镀敷而形成，在纵向和横向上配置有多个开口图案部，该开口图案部形成有供植入的导电性球通过的多个开口部，与所述开口图案部相邻的上下左右或斜上下左右、或者上下、左右、斜上下左右的一部分的任意开口图案部之间通过连结槽连结；以及多个凸部，其通过镀敷而形成，在所述掩模主体的背面的除了所述开口图案部以外的部分局部地突出，且相互分离独立，所述掩模主体的背面为与搭载导电性球的被搭载物的电极对置的一侧，而非植入导电性球的一侧，分离独立的所述多个凸部包括内部凸部和外部凸部，所述内部凸部由第一镀层形成在不与所述被搭...

【专利技术属性】
技术研发人员：小田聪丈，饭岛正心，
申请(专利权)人：奔马有限公司，
类型：发明
国别省市：