本实用新型专利技术公开了一种晶圆双向移料装置，包括机架、设置在机架上的储料机构、设置在机架上的UV解胶机构以及设置在储料机构和UV解胶机构之间的中转机构和双头夹爪机构，所述储料机构的出料口与UV解胶机构的进料口对应，所述双头夹爪机构包括两端分别对应储料机构和双头夹爪机构的直线模组、设置在直线模组输出端的一号气缸、设置在一号气缸输出端的连接臂以及对称设置在连接臂末端的一号夹爪和二号夹爪，所述一号夹爪和二号夹爪结构相同，所述一号夹爪的夹持口方向朝向供料机构的出料口，所述二号夹爪的夹持口方向朝向UV解胶机构的进料口，所述直线模组设置在中转机构侧部。优点：整个设备集成度高、节约成本，有效的节约产品转移的时间。品转移的时间。品转移的时间。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆双向移料装置
[0001]本技术涉及晶圆加工设备领域，具体为一种晶圆双向移料装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
[0003]在晶圆的制造过程中，需要将晶圆贴附在安装有覆膜上，且覆膜贴附在钢环上。通过对钢环的转移完成晶圆在各个加工工位的转移。且在晶圆加工的最后一个步骤，需要对覆膜进行解胶，以方便后续贴片时晶圆能够脱离覆膜。现有的加工设备中，晶圆的储料机构与解胶机构分别为晶圆加工的首末两个工位，储料机构与解胶机构之间不相邻，晶圆不能在储料机构和解胶机构之间直接转移，使得晶圆的加工集成度低，设备复杂，成本较高。
[0004]鉴于此，有必要提供一种晶圆双向移料装置。
技术实现思路
[0005]本技术提供的一种晶圆双向移料装置，有效的解决了现有晶圆加工设备集成度低、设备复杂以及成本高的问题。
[0006]本技术所采用的技术方案是：一种晶圆双向移料装置，包括机架、设置在机架上的储料机构、设置在机架上的UV解胶机构以及设置在储料机构和UV解胶机构之间的中转机构和双头夹爪机构，所述储料机构的出料口与UV解胶机构的进料口对应，所述双头夹爪机构包括两端分别对应储料机构和双头夹爪机构的直线模组、设置在直线模组输出端的一号气缸、设置在一号气缸输出端的连接臂以及对称设置在连接臂末端的一号夹爪和二号夹爪，所述一号夹爪和二号夹爪结构相同，所述一号夹爪的夹持口方向朝向供料机构的出料口，所述二号夹爪的夹持口方向朝向UV解胶机构的进料口，所述直线模组设置在中转机构侧部。
[0007]进一步的是：所述储料机构包括供料架，所述供料架上设置有用于放置产品的弹夹以及用于驱动弹夹升降的一号伺服模组。
[0008]进一步的是：所述中转机构包括设置包括两条与直线模组平行的托举臂以及用于驱动两条托举臂相对运动的丝杆模组，两个所述托举臂可在丝杆模组的驱动下同向或反向运动。
[0009]进一步的是：两个所述托举臂相对一侧设置有用于承载产品的台阶。
[0010]进一步的是：所述一号夹爪的夹持口中轴线与储料机构的出料口中轴线对应，所述二号夹爪的夹持口中轴线与UV解胶机构的料口中轴线对应。
[0011]技术的有益效果：通过在储料机构和UV解胶机构之间设置双头夹爪机构，利用双头夹爪机构实现产品在储料机构和UV解胶机构之间的移动，使得产品在最后的UV解胶工序完成后能够被送回原有的储料架机构，整个设备集成度高、节约成本，有效的节约产品转移的时间。
附图说明
[0012]图1为本申请的实施例所提供的晶圆双向移料装置的整体示意图。
[0013]图2为本申请的实施例所提供的晶圆双向移料装置的中转机构的示意图。
[0014]图3为本申请的实施例所提供的晶圆双向移料装置所转移的产品的示意图。
[0015]图中标记为：1、机架；2、储料机构；3、中转机构；6、UV解胶机构；7、双头夹爪机构；21、供料架；22、弹夹；23、一号伺服模组；31、丝杆模组；32、托举臂；321、台阶；71、直线模组；72、一号气缸；73、连接臂；74、一号夹爪；75、二号夹爪；001、钢环；002、晶圆；003、覆膜。
具体实施方式
[0016]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0017]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0018]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0019]如图1和图2所示，本申请的实施例所提供的一种晶圆002双向移料装置，其结构包括机架1、设置在机架1上的储料机构2、设置在机架1上的UV解胶机构6以及设置在储料机构2和UV解胶机构6之间的中转机构3和双头夹爪机构7，所述储料机构2的出料口与UV解胶机构6的进料口对应，所述双头夹爪机构7包括两端分别对应储料机构2和双头夹爪机构7的直线模组71、设置在直线模组71输出端的一号气缸72、设置在一号气缸72输出端的连接臂73以及对称设置在连接臂73末端的一号夹爪74和二号夹爪75，所述一号夹爪74和二号夹爪75结构相同，所述一号夹爪74的夹持口方向朝向储料机构2的出料口，所述二号夹爪75的夹持口方向朝向UV解胶机构6的进料口，所述直线模组71设置在中转机构3侧部。
[0020]如图3所示，需说明的是，产品包括钢环001、设置在钢环001上的覆膜003和粘接在覆膜003上的晶圆002。
[0021]实际使用时，一号气缸72驱动一号夹爪74升降至其夹持口与储料机构2中待取的产品对应，随后直线模组71驱动一号气缸72向储料机构2一侧运动，使得随后一号夹爪74夹取产品，产品被一号夹爪74夹取后一号模组驱动一号气缸72向中转机构3运动，当产品运动至中转机构3正上方后，一号气缸72驱动一号夹爪74下移，将产品放置在中转机构3上。当产品被放置在中转机构3上后，一号气缸72驱动二号夹爪75上升，使得二号夹爪75的夹持口高于中转机构3中的产品，随后直线模组71驱动一号气缸72向储料机构2一侧运动，当运动至一号气缸72位于中转机构3和储料机构2之间时停止驱动，一号气缸72驱动二号夹爪75下移，使得二号夹爪75的夹持口与中转机构3中的产品对应，随后二号夹爪75夹持产品远离UV
解胶机构6一侧，直线模组71驱动一号气缸72向UV解胶机构6一侧运动，将产品送入UV解胶机构6中。当产品在UV解胶机构6中完成解胶后，二号夹爪75将产品从UV解胶机构6中取出放置在中转机构3中，随后一号气缸72驱动连接臂73上升，使得一号夹爪74和二号夹爪75上移，直线模组71驱动一号气缸72运动UV解胶机构6和中转机构3之间，随后一号气缸72驱动连接臂73下移，使得一号夹爪74的夹持口与产品对应，随后一号夹爪74夹持产品，直线模组71驱动一号气缸72向储料机构2一侧运动，将产品送入储料机构2。
[0022]上述设计中，通过在储料机构2和UV解胶机构6之间设置双头夹爪机构7，利用双头夹爪机构7实现产品在储料机构2和UV解胶机构6之间的移动，使得产品在最后的UV解胶工序完成后能够被送回原有的储料架本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆双向移料装置，包括机架(1)，其特征在于：还包括设置在机架(1)上的储料机构(2)、设置在机架(1)上的UV解胶机构(6)以及设置在储料机构(2)和UV解胶机构(6)之间的中转机构(3)和双头夹爪机构(7)，所述储料机构(2)的出料口与UV解胶机构(6)的进料口对应，所述双头夹爪机构(7)包括两端分别对应储料机构(2)和双头夹爪机构(7)的直线模组(71)、设置在直线模组(71)输出端的一号气缸(72)、设置在一号气缸(72)输出端的连接臂(73)以及对称设置在连接臂(73)末端的一号夹爪(74)、和二号夹爪(75)，所述一号夹爪(74)和二号夹爪(75)结构相同，所述一号夹爪(74)的夹持口方向朝向供料机构的出料口，所述二号夹爪(75)的夹持口方向朝向UV解胶机构(6)的进料口，所述直线模组(71)设置在中转机构(3)侧部。2.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶为银，蔡正道，乔赛赛，闫兴，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。